סיליקאָן קאַרביידאיז אַ שווערע קאַמפּאַונד וואָס כּולל סיליקאָן און קאַרבאָן, און ווערט געפֿונען אין נאַטור ווי דער גאָר זעלטענער מינעראַל מאָיסאַנייט. סיליקאָן קאַרבייד פּאַרטיקלען קענען זיין פֿאַרבונדן צוזאַמען דורך סינטערינג צו שאַפֿן זייער שווערע קעראַמיק, וואָס ווערן וויידלי געניצט אין אַפּליקאַציעס וואָס דאַרפֿן הויך געווער, ספּעציעל אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעסיע.
פיזישע סטרוקטור פון SiC
וואָס איז SiC קאָוטינג?
SiC קאָוטינג איז אַ געדיכט, טראָגן-קעגנשטעליק סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג מיט הויך קעראָוזשאַן און היץ קעגנשטעל און ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוויטי. די הויך-ריינקייט SiC קאָוטינג איז בפֿרט געניצט אין די האַלב-קאָנדוקטאָר און עלעקטראָניק ינדאַסטריז צו באַשיצן וועיפער טרעגער, באַזעס און הייצונג עלעמענטן פון קעראָוסיוו און רעאַקטיוו ינווייראַנמאַנץ. SiC קאָוטינג איז אויך פּאַסיק פֿאַר וואַקוום אויוון און מוסטער הייצונג אין הויך וואַקוום, רעאַקטיוו און זויערשטאָף ינווייראַנמאַנץ.
הויך ריינקייט SiC קאָוטינג ייבערפלאַך
וואָס איז דער SiC קאָוטינג פּראָצעס?
א דין שיכט פון סיליקאָן קאַרבייד ווערט אָפּגעלייגט אויף דער ייבערפלאַך פון דעם סאַבסטראַט ניצנדיקCVD (כעמישע פארע אפזעצונג)דעפאזיציע ווערט געווענליך דורכגעפירט ביי טעמפעראטורן פון 1200-1300°C און די טערמישע אויסברייטונגס-פארהאלטונג פון דעם סובסטראט מאטעריאל זאל זיין קאמפאטיבל מיט דער SiC באדעקן צו מינימיזירן טערמישן סטרעס.
CVD SIC קאָוטינג פילם קריסטאַל סטרוקטור
די פיזישע אייגנשאפטן פון SiC קאָוטינג זענען דער הויפּט רעפלעקטעד אין זיין הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, כאַרדנאַס, קעראָוזשאַן קעגנשטעל און טערמאַל קאַנדאַקטיוויטי.
טיפּישע פיזישע פּאַראַמעטערס זענען געוויינטלעך ווי גייט:
כאַרטקייטSiC קאָוטינג האָבן טיפּיש אַ וויקערס כאַרדנאַס אין די קייט פון 2000-2500 HV, וואָס גיט זיי גאָר הויך טראָגן און פּראַל קעגנשטעל אין ינדאַסטריאַל אַפּלאַקיישאַנז.
געדיכטקייטSiC קאָוטינגז האָבן טיפּיש אַ געדיכטקייט פון 3.1-3.2 ג/קמ³. די הויכע געדיכטקייט ביישטייערט צו דער מעכאַנישער שטאַרקייט און האַרטקייט פון דער קאָוטינג.
טערמישע קאַנדאַקטיוויטיSiC קאָוטינגז האָבן אַ הויך טערמישע קאַנדאַקטיוויטי, טיפּיש אין די קייט פון 120-200 W/mK (ביי 20°C). דאָס גיט עס גוטע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי אין הויך טעמפּעראַטור סביבות און מאכט עס ספּעציעל פּאַסיק פֿאַר היץ באַהאַנדלונג ויסריכט אין די האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע.
שמעלץ־פונקטסיליקאָן קאַרבייד האט אַ שמעלץ פונקט פון בעערעך 2730°C און האט ויסגעצייכנט טערמישע פעסטקייט ביי עקסטרעם טעמפּעראַטורן.
קאָעפיציענט פון טערמישער עקספּאַנשאַןSiC קאָוטינגז האָבן אַ נידעריק לינעאַר קאָעפיציענט פון טערמישער יקספּאַנשאַן (CTE), טיפּיש אין די קייט פון 4.0-4.5 µm/mK (אין די 25-1000 ℃). דאָס מיינט אַז זייער דימענסיאָנעל פעסטקייט איז ויסגעצייכנט איבער גרויסע טעמפּעראַטור דיפעראַנסיז.
קעראָוזשאַן קעגנשטעלSiC קאָוטינגז זענען גאָר קעגנשטעליק צו קעראָוזשאַן אין שטאַרקע זויער, אַלקאַלי און אָקסידירנדיקע סביבות, ספּעציעל ווען מען ניצט שטאַרקע זויערן (ווי HF אָדער HCl), זייער קעראָוזשאַן קעגנשטעל איז פיל העכער ווי די פון קאַנווענשאַנאַל מעטאַל מאַטעריאַלן.
SiC קאָוטינג אַפּלאַקיישאַן סאַבסטראַט
SiC קאָוטינג ווערט אָפט גענוצט צו פֿאַרבעסערן די קעראָוזשאַן קעגנשטעל, הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, און פּלאַזמע עראָוזשאַן קעגנשטעל פון די סאַבסטראַט. געוויינטלעכע אַפּליקאַציע סאַבסטראַטן אַרייַננעמען די פאלגענדע:
| סאַבסטראַט טיפּ | אַפּליקאַציע סיבה | טיפּישע נוצן |
| גראַפיט | - ליכט סטרוקטור, גוטע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי - אבער לייכט קאָראָדירט דורך פּלאַזמע, דאַרף SiC קאָוטינג שוץ | וואַקוום קאַמער טיילן, גראַפיט שיפן, פּלאַזמע עטשינג טאַץ, אאז"וו. |
| קוואַרץ (קוואַרץ/SiO₂) | - הויך ריינקייט אבער לייכט קעראָוד - קאָוטינג פֿאַרבעסערט פּלאַזמע עראָוזיע קעגנשטעל | CVD/PECVD קאַמער טיילן |
| קעראַמיק (אַזאַ ווי אַלומינאַ Al₂O₃) | - הויך שטאַרקייט און סטאַביל סטרוקטור - קאָוטינג פֿאַרבעסערט ייבערפלאַך קעראָוזשאַן קעגנשטעל | קאַמער ליינינג, פיקסטשערז, עטק. |
| מעטאַלן (אַזאַ ווי מאָליבדענום, טיטאַניום, אאז"וו) | - גוטע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי אָבער שלעכט קעראָוזשאַן קעגנשטעל - קאָוטינג פֿאַרבעסערט ייבערפלאַך פעסטקייט | ספּעציעלע פּראָצעס רעאַקציע קאָמפּאָנענטן |
| סיליקאָן קאַרבייד סינטערד גוף (SiC בולק) | - פֿאַר סביבות מיט הויכע באדערפענישן פֿאַר קאָמפּלעקסע אַרבעטס באַדינגונגען - קאָוטינג פֿאַרבעסערט ווייטער ריינקייט און קעראָוזשאַן קעגנשטעל | הויך-ענד CVD/ALD קאַמער קאָמפּאָנענטן |
SiC באדעקטע פּראָדוקטן ווערן אָפט געניצט אין די פאלגענדע האַלב-קאָנדוקטאָר געביטן
SiC קאָוטינג פּראָדוקטן ווערן ברייט גענוצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראַסעסינג, דער הויפּט אין הויך טעמפּעראַטור, הויך קעראָוזשאַן און שטאַרק פּלאַזמע סביבות. די פאלגענדע זענען עטלעכע הויפּט אַפּלאַקיישאַן פּראָצעסן אָדער פעלדער און קורצע באַשרייַבונגען:
| אַפּליקאַציע פּראָצעס/פעלד | קורצע באַשרייַבונג | סיליקאָן קאַרבייד קאָוטינג פונקציע |
| פּלאַזמע עטשינג (עטשינג) | ניצן פלאָרין אָדער קלאָרין-באַזירטע גאַזן פֿאַר מוסטער אַריבערפירן | קעגנשטעלן פּלאַזמע עראָוזיע און פאַרמייַדן פּאַרטיקל און מעטאַל קאַנטאַמאַניישאַן |
| כעמישע פארע דעפאזיציע (CVD/PECVD) | דעפּאַזישאַן פון אָקסייד, ניטריד און אַנדערע דין פילמען | קעגנשטעלן קעראָוסיוו פּריקערסאָר גאַזן און פאַרגרעסערן קאָמפּאָנענט לעבן |
| פיזישע פארע דעפאזיציע (PVD) קאמער | הויך-ענערגיע פּאַרטיקל באָמבאַרדירונג בעת דעם קאָוטינג פּראָצעס | פֿאַרבעסערן די עראָוזיע קעגנשטעל און היץ קעגנשטעל פון די רעאַקציע קאַמער |
| MOCVD פּראָצעס (אַזאַ ווי SiC עפּיטאַקסיאַל וווּקס) | לאַנג-טערמין רעאַקציע אונטער הויך טעמפּעראַטור און הויך הידראָגען קעראָוסיוו אַטמאָספער | האַלטן די פעסטקייט פון די עקוויפּמענט און פאַרהיטן קאַנטאַמאַניישאַן פון וואַקסנדיקע קריסטאַלן |
| היץ באַהאַנדלונג פּראָצעס (LPCVD, דיפוזיע, אַנילינג, אאז"ו ו) | געוויינטלעך דורכגעפירט ביי הויכער טעמפּעראַטור און וואַקוום/אַטמאָספער | באַשיצן גראַפיט שיפן און טאַץ פון אַקסאַדיישאַן אָדער קעראָוזשאַן |
| וואַפער טרעגער/טשאַק (וואַפער האַנדלינג) | גראַפיט באַזע פֿאַר וועיפער טראַנספער אָדער שטיצע | רעדוצירן פּאַרטיקל שאָדן און ויסמיידן קאָנטאַקט קאַנטאַמאַניישאַן |
| ALD קאַמער קאָמפּאָנענטן | ריפּיטידלי און אַקיעראַטלי קאָנטראָלירן אַטאָמישע שיכט דעפּאַזישאַן | די קאָוטינג האַלט די קאַמער ריין און האט הויך קעראָוזשאַן קעגנשטעל צו פּריקערסערז |
פארוואס קלייבן VET ענערגיע?
וועט ענערגיע איז א פירנדיקער פאבריקאנט, אינאוואטאר און פירער פון סיק קאָוטינג פּראָדוקטן אין כינע, די הויפּט סיק קאָוטינג פּראָדוקטן אַרייַננעמעןוועיפער טרעגער מיט SiC קאָוטינג, SiC באדעקטעפּיטאַקסיאַל סאַסעפּטאָר, SiC באדעקטע גראַפיט רינג, האַלב-לבנה טיילן מיט SiC קאָוטינג, SiC באדעקטע קאַרבאָן-קאַרבאָן קאָמפּאָזיט, SiC באדעקטע וועיפער שיפל, SiC באדעקטע כיטער, א.א.וו. וועט ענערגיע איז מחויב צו צושטעלן די האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע מיט די לעצטע טעכנאָלאָגיע און פּראָדוקט לייזונגען, און שטיצט קאַסטאַמייזיישאַן באַדינונגען. מיר קוקן ערלעך פאָרויס צו זיין אייער לאַנג-טערמין שוטעף אין כינע.
אויב איר האָט פֿראַגעס אָדער דאַרפֿט נאָך פרטים, ביטע צווייפֿלט נישט צו קאָנטאַקטירן אונדז.
ווהאַצאַפּפּ און וועטשאַט: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
פּאָסט צייט: 18טן אָקטאָבער 2024