Τι είναι η επίστρωση sic;

Καρβίδιο του πυριτίουείναι μια σκληρή ένωση που περιέχει πυρίτιο και άνθρακα και βρίσκεται στη φύση ως το εξαιρετικά σπάνιο ορυκτό μοϊσανίτης. Τα σωματίδια καρβιδίου του πυριτίου μπορούν να συνδεθούν μεταξύ τους με πυροσυσσωμάτωση για να σχηματίσουν πολύ σκληρά κεραμικά, τα οποία χρησιμοποιούνται ευρέως σε εφαρμογές που απαιτούν υψηλή ανθεκτικότητα, ειδικά στην επεξεργασία ημιαγωγών.

Φυσική δομή του SiC

Τι είναι η επίστρωση SiC;

Η επίστρωση SiC είναι μια πυκνή, ανθεκτική στη φθορά επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου με υψηλή αντοχή στη διάβρωση και τη θερμότητα και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα. Αυτή η επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας χρησιμοποιείται κυρίως στις βιομηχανίες ημιαγωγών και ηλεκτρονικών για την προστασία των φορέων πλακιδίων, των βάσεων και των θερμαντικών στοιχείων από διαβρωτικά και αντιδραστικά περιβάλλοντα. Η επίστρωση SiC είναι επίσης κατάλληλη για φούρνους κενού και θέρμανση δειγμάτων σε περιβάλλοντα υψηλού κενού, αντιδραστικών και οξυγόνου.

Επιφάνεια επικάλυψης SiC υψηλής καθαρότητας

Ποια είναι η διαδικασία επίστρωσης SiC;

Ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του πυριτίου εναποτίθεται στην επιφάνεια του υποστρώματος χρησιμοποιώνταςCVD (Εναπόθεση Χημικών Ατμών)Η εναπόθεση συνήθως πραγματοποιείται σε θερμοκρασίες 1200-1300°C και η συμπεριφορά θερμικής διαστολής του υλικού υποστρώματος θα πρέπει να είναι συμβατή με την επίστρωση SiC για την ελαχιστοποίηση της θερμικής καταπόνησης.

ΚΡΥΣΤΑΛΛΙΚΗ ΔΟΜΗ ΜΕ ΤΑΙΝΙΑ CVD SIC

ΚΡΥΣΤΑΛΛΙΚΗ ΔΟΜΗ ΜΕΜΒΡΑΝΗΣ ΕΠΙΚΑΛΥΨΗΣ CVD SIC

Οι φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης SiC αντικατοπτρίζονται κυρίως στην αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, τη σκληρότητα, την αντοχή στη διάβρωση και τη θερμική αγωγιμότητά της.

Οι τυπικές φυσικές παράμετροι είναι συνήθως οι εξής:

ΣκληρότηταΟι επιστρώσεις SiC έχουν συνήθως σκληρότητα Vickers στην περιοχή 2000-2500 HV, η οποία τους προσδίδει εξαιρετικά υψηλή αντοχή στη φθορά και την κρούση σε βιομηχανικές εφαρμογές.

ΠυκνότηταΟι επιστρώσεις SiC έχουν συνήθως πυκνότητα 3,1-3,2 g/cm³. Η υψηλή πυκνότητα συμβάλλει στη μηχανική αντοχή και την ανθεκτικότητα της επικάλυψης.

Θερμική αγωγιμότηταΟι επιστρώσεις SiC έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα, συνήθως στην περιοχή των 120-200 W/mK (στους 20°C). Αυτό τους προσδίδει καλή θερμική αγωγιμότητα σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και τις καθιστά ιδιαίτερα κατάλληλες για εξοπλισμό θερμικής επεξεργασίας στη βιομηχανία ημιαγωγών.

Σημείο τήξηςΤο καρβίδιο του πυριτίου έχει σημείο τήξης περίπου 2730°C και εξαιρετική θερμική σταθερότητα σε ακραίες θερμοκρασίες.

Συντελεστής θερμικής διαστολήςΟι επιστρώσεις SiC έχουν χαμηλό γραμμικό συντελεστή θερμικής διαστολής (CTE), συνήθως στην περιοχή των 4,0-4,5 µm/mK (στους 25-1000℃). Αυτό σημαίνει ότι η διαστατική τους σταθερότητα είναι εξαιρετική σε μεγάλες διαφορές θερμοκρασίας.

Αντοχή στη διάβρωσηΟι επιστρώσεις SiC είναι εξαιρετικά ανθεκτικές στη διάβρωση σε ισχυρά όξινα, αλκαλικά και οξειδωτικά περιβάλλοντα, ειδικά όταν χρησιμοποιούνται ισχυρά οξέα (όπως HF ή HCl), η αντοχή τους στη διάβρωση υπερβαίνει κατά πολύ αυτή των συμβατικών μεταλλικών υλικών.

Υπόστρωμα εφαρμογής επικάλυψης SiC

Η επίστρωση SiC χρησιμοποιείται συχνά για τη βελτίωση της αντοχής στη διάβρωση, της αντοχής σε υψηλές θερμοκρασίες και της αντοχής στη διάβρωση πλάσματος του υποστρώματος. Τα συνηθισμένα υποστρώματα εφαρμογής περιλαμβάνουν τα ακόλουθα:

Τύπος υποστρώματος	Λόγος αίτησης	Τυπική χρήση
Γραφίτης	- Ελαφριά δομή, καλή θερμική αγωγιμότητα - Αλλά διαβρώνεται εύκολα από το πλάσμα, απαιτεί προστασία από επίστρωση SiC	Μέρη θαλάμων κενού, σκάφη γραφίτη, δίσκοι χάραξης πλάσματος, κ.λπ.
Χαλαζίας (Quartz/SiO₂)	- Υψηλή καθαρότητα αλλά εύκολα διαβρώσιμη - Η επίστρωση ενισχύει την αντοχή στη διάβρωση πλάσματος	Μέρη θαλάμου CVD/PECVD
Κεραμικά (όπως αλουμίνα Al₂O₃)	- Υψηλής αντοχής και σταθερή δομή - Η επίστρωση βελτιώνει την αντοχή στη διάβρωση της επιφάνειας	Επένδυση θαλάμου, εξαρτήματα κ.λπ.
Μέταλλα (όπως μολυβδαίνιο, τιτάνιο κ.λπ.)	- Καλή θερμική αγωγιμότητα αλλά κακή αντοχή στη διάβρωση - Η επίστρωση βελτιώνει τη σταθερότητα της επιφάνειας	Εξαρτήματα αντίδρασης ειδικής διεργασίας
Σώμα από πυριτικό καρβίδιο (χύδην SiC)	- Για περιβάλλοντα με υψηλές απαιτήσεις για σύνθετες συνθήκες εργασίας - Η επίστρωση βελτιώνει περαιτέρω την καθαρότητα και την αντοχή στη διάβρωση	Εξαρτήματα θαλάμου καρδιαγγειακής νόσου/αλκοολικής υποβάθμισης υψηλής τεχνολογίας

Τα προϊόντα με επικάλυψη SiC χρησιμοποιούνται συνήθως στις ακόλουθες περιοχές ημιαγωγών

Τα προϊόντα επίστρωσης SiC χρησιμοποιούνται ευρέως στην επεξεργασία ημιαγωγών, κυρίως σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, υψηλής διάβρωσης και ισχυρού πλάσματος. Ακολουθούν ορισμένες κύριες διαδικασίες ή πεδία εφαρμογής και σύντομες περιγραφές:

Διαδικασία/πεδίο αίτησης	Σύντομη περιγραφή	Λειτουργία επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου
Χάραξη με πλάσμα (Χάραξη)	Χρησιμοποιήστε αέρια με βάση το φθόριο ή το χλώριο για τη μεταφορά μοτίβων	Αντισταθείτε στη διάβρωση πλάσματος και αποτρέψτε τη μόλυνση από σωματίδια και μέταλλα
Χημική εναπόθεση ατμών (CVD/PECVD)	Εναπόθεση οξειδίων, νιτριδίων και άλλων λεπτών μεμβρανών	Αντοχή σε διαβρωτικά πρόδρομα αέρια και αύξηση της διάρκειας ζωής των εξαρτημάτων
Θάλαμος φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD)	Βομβαρδισμός με σωματίδια υψηλής ενέργειας κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επικάλυψης	Βελτιώστε την αντοχή στη διάβρωση και την αντοχή στη θερμότητα του θαλάμου αντίδρασης
Διαδικασία MOCVD (όπως επιταξιακή ανάπτυξη SiC)	Μακροπρόθεσμη αντίδραση υπό υψηλή θερμοκρασία και υψηλή διαβρωτική ατμόσφαιρα υδρογόνου	Διατηρήστε τη σταθερότητα του εξοπλισμού και αποτρέψτε τη μόλυνση των αναπτυσσόμενων κρυστάλλων
Διαδικασία θερμικής επεξεργασίας (LPCVD, διάχυση, ανόπτηση, κ.λπ.)	Συνήθως πραγματοποιείται σε υψηλή θερμοκρασία και κενό/ατμόσφαιρα	Προστατέψτε τα σκάφη και τους δίσκους από γραφίτη από οξείδωση ή διάβρωση
Φορέας/τσοκ γκοφρέτας (Χειρισμός γκοφρέτας)	Βάση γραφίτη για μεταφορά ή υποστήριξη πλακιδίων	Μειώστε την αποβολή σωματιδίων και αποφύγετε τη μόλυνση από επαφή
Εξαρτήματα θαλάμου ALD	Επαναλαμβανόμενος και ακριβής έλεγχος της εναπόθεσης ατομικών στρωμάτων	Η επίστρωση διατηρεί τον θάλαμο καθαρό και έχει υψηλή αντοχή στη διάβρωση σε πρόδρομες ουσίες

Γιατί να επιλέξετε την VET Energy;

Η VET Energy είναι κορυφαίος κατασκευαστής, καινοτόμος και ηγέτης προϊόντων επίστρωσης SiC στην Κίνα, με κύρια προϊόντα επίστρωσης SiC να περιλαμβάνουνφορέας πλακιδίων με επίστρωση SiC, με επικάλυψη SiCεπιταξιακός υποδοχέας, Δακτύλιος γραφίτη με επικάλυψη SiC, Ημιφεγγαρένια μέρη με επίστρωση SiC, Σύνθετο υλικό άνθρακα-άνθρακα με επικάλυψη SiC, Σκάφος με επικάλυψη SiC, Θερμαντήρας με επικάλυψη SiC, κ.λπ. Η VET Energy έχει δεσμευτεί να παρέχει στη βιομηχανία ημιαγωγών τις κορυφαίες τεχνολογικές και προϊοντικές λύσεις και υποστηρίζει υπηρεσίες προσαρμογής. Ανυπομονούμε ειλικρινά να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.