O le a le sic coating?

Silicon Carbideose fa'aputuga malō o lo'o iai le silikoni ma le kaponi, ma e maua i le natura e pei o le moissanite minerale e seasea maua. Silicon carbide particles e mafai ona faʻapipiʻi faʻatasi e ala i le sintering e fausia ai ni ceramics faigata tele, lea e faʻaaogaina lautele i talosaga e manaʻomia ai le maualuga maualuga, aemaise i le semiconductor procession.

Fa'atulagaga fa'aletino o le SiC

O le a le SiC Coating?

O le SiC coating o se faʻapipiʻi carbide silikoni mafiafia, faʻafefeteina ma le maualuga o le pala ma le vevela ma le faʻaleleia lelei o le vevela. O lenei faʻamaʻi maualuga SiC faʻapipiʻi e faʻaaoga muamua i le semiconductor ma faʻaeletonika alamanuia e puipuia ai vaʻavaʻa, faʻavae ma elemene faʻavevela mai siosiomaga pala ma faʻafefe. SiC coating e talafeagai foi mo ogaumu gaogao ma faʻamafanafanaga faʻataʻitaʻiga i luga ole vacuum maualuga, faʻafefe ma siosiomaga okesene.

SiC mama maualuga pito i luga

O le a le fa'agasologa o le ufiufi SiC?

O se vaega manifinifi o le silicon carbide o loʻo teuina i luga o le mea e faʻaaogaina ai meaCVD (Fa'a'ofu'u ausa). E masani ona fa'atinoina le fa'aputuina i le vevela o le 1200-1300°C ma o le fa'alauteleina o le fa'amama o le mea fa'apipi'i e tatau ona fetaui ma le SiC fa'apipi'i e fa'aitiitia ai le mamafa o le vevela.

CVD SIC FILM FA'AVA'E KRISTAL

CVD SIC Coating FILM CRYSTAL STRUCTURE

O mea faʻaletino o le SiC coating e faʻaalia i lona maualuga maualuga o le vevela, maʻaʻaʻa, faʻafefeteina ma le vevela.

O fa'asologa fa'aletino masani e masani ona fa'apea:

Malosi: SiC coating e masani ona i ai le Vickers Hardness i le va o le 2000-2500 HV, lea e tuʻuina atu ai ia i latou le laʻei maualuga ma le aʻafiaga o le faʻaogaina i totonu o fale gaosi oloa.

Malosi: SiC coatings e masani ona iai le mamafa o le 3.1-3.2 g/cm³. O le maualuga maualuga e fesoasoani i le malosi faʻainisinia ma le tumau o le ufiufi.

Fa'avevela vevela: SiC coatings o loʻo i ai le maualuga o le faʻaogaina o le vevela, e masani lava i le va o le 120-200 W / mK (i le 20 ° C). O lenei mea e maua ai le lelei o le vevela i totonu o siosiomaga vevela maualuga ma faʻapitoa ai mo masini faʻafefe vevela i totonu ole alamanuia semiconductor.

Liu liusuavai: silicon carbide ei ai le mea liusuavai e tusa ma le 2730 ° C ma e sili ona lelei le mautu o le vevela i le vevela tele.

Coefficient o le fa'alauteleina o le vevela: SiC coatings o loʻo i ai se faʻasologa laina maualalo o le faʻalauteleina o le vevela (CTE), e masani lava i le va o le 4.0-4.5 µm / mK (i le 25-1000 ℃). O lona uiga e sili atu lona mautu i luga o le tele o eseesega o le vevela.

Tete'e a'a: SiC coatings e matua tete'e i le pala i le malosi o le acid, alkali ma oxidizing siosiomaga, aemaise lava pe a faaaogaina acids malosi (e pei o le HF po o le HCl), lo latou tetee a'a e sili mamao atu nai lo mea uamea masani.

SiC fa'apipi'i mea fa'aoga

SiC coating e masani ona faʻaaogaina e faʻaleleia ai le faʻafefeteina, maualuga le vevela, ma le plasma erosion resistance o le substrate. O mea fa'aoga masani e aofia ai mea nei:

Ituaiga palapala	Mafuaaga talosaga	Fa'aoga masani
kafite	- Fausia malamalama, conductivity vevela lelei - Ae faigofie ona pala e le plasma, e manaʻomia le puipuiga o le SiC	Vaega vacuum potu, vaa graphite, fata etching plasma, ma isi.
Kuase (Kuata/SiO₂)	- maualuga le mama ae faigofie ona pala - O le faʻapipiʻiina e faʻaleleia ai le faʻafefe o le plasma	Vaega o potu CVD/PECVD
Ceramic (e pei ole alumina Al₂O₃)	- Malosi maualuga ma fausaga mautu - Fa'apipi'i e fa'aleleia atili ai le fa'a'ele'ele	Lisi potu, mea fa'apipi'i, ma isi.
Metala (e pei o le molybdenum, titanium, ma isi)	- Lelei le fa'auluina o le vevela ae le lelei le fa'afefe - Fa'apipi'i fa'aleleia le mautu o luga	Fa'apitoa fa'agasologa o vaega fa'aalia
Silicon carbide sintered tino (SiC tele)	- Mo si'osi'omaga e maualuga mana'oga mo tulaga faigata o galuega - O le faʻapipiʻiina e faʻaleleia atili ai le mama ma le faʻafefe	Vaega maualuga CVD/ALD potu

O oloa faʻapipiʻiina SiC e masani ona faʻaaogaina i vaega semiconductor nei

O oloa faʻapipiʻi SiC e faʻaaogaina lautele i le gaosiga o le semiconductor, aemaise i le maualuga o le vevela, maualuga le pala ma le malosi o siosiomaga plasma. O lo'o taua i lalo le tele o faiga fa'aoga tetele po'o fanua ma fa'amatalaga pupuu:

Fa'asologa o talosaga / fanua	Fa'amatalaga puupuu	Silicon Carbide Coating galuega
Fa'a'ava (Etching)	Fa'aaogā kasa fa'atatau i le fluorine po'o le chlorine mo le fa'aliliuina o mamanu	Tetee le tafia o le plasma ma puipuia le faaleagaina o ni vaega ma u'amea
Tu'u ausa vaila'au (CVD/PECVD)	Fa'aputuina o le oxide, nitride ma isi ata manifinifi	Tetee kasa mua'i pala ma fa'ateleina le ola o vaega
Po'o ausa fa'aletino (PVD).	Fa'ato'a fa'ato'a fa'ato'a malosi i le taimi o le fa'auluina	Faʻaleleia le faʻafefe o le tafi ma le vevela o le potu tali
MOCVD faagasologa (pei o le SiC epitaxial tuputupu aʻe)	Tali umi i lalo o le vevela maualuga ma le maualuga o le hydrogen corrosive atemosifia	Tausia le mautu o meafaigaluega ma puipuia le faaleagaina o tioata tuputupu ae
Fa'agasologa o le vevela (LPCVD, fa'asalalauina, fa'ama'i, ma isi)	E masani ona faia i le maualuga o le vevela ma le vacuum/semosphere	Puipui vaa graphite ma fata mai faʻamaʻi poʻo le pala
U'u u'amea/chuck	Fa'avae graphite mo le fesiita'iga po'o le lagolago	Fa'aitiitia le fa'amaligiina o fasimea ma 'alofia le fa'afeso'ota'i
Vaega o potu ALD	Fa'aauau pea ma sa'o le fa'atonutonuina o le fa'aputuina o fa'aatomeki	O le faʻapipiʻiina e faʻatumauina ai le mama o le potu ma e maualuga le teteʻeina o meaʻai i mea muamua

Aisea e filifili ai le VET Energy?

VET Energy o se taʻutaʻua taʻutaʻua, faʻafouga ma taʻitaʻi o oloa faʻapipiʻi SiC i Saina, o oloa faʻapipiʻi SiC autu e aofia ai.fa'amomoli masi fa'atasi ma le SiC fa'apipi'i, SiC ufiufiepitaxial susceptor, SiC ua ufiufi mama graphite, Vaega o le afa masina ma le SiC faʻapipiʻi, SiC ua ufiufi carbon-carbon composite, SiC fa'apipi'i va'a wafer, SiC fa'avevela fa'avevela, ma isi. VET Energy ua tuuto atu i le tuʻuina atu o le semiconductor alamanuia faʻatasi ai ma tekinolosi sili ma fofo oloa, ma lagolagoina auaunaga faʻapitoa. Matou te tulimatai atu ma le faamaoni e avea ma au paaga umi i Saina.