સિક કોટિંગ શું છે? - ​​વેટ એનર્જી

સિલિકોન કાર્બાઇડસિલિકોન અને કાર્બન ધરાવતું કઠણ સંયોજન છે, અને તે પ્રકૃતિમાં અત્યંત દુર્લભ ખનિજ મોઇસાનાઇટ તરીકે જોવા મળે છે. સિલિકોન કાર્બાઇડ કણોને સિન્ટરિંગ દ્વારા એકસાથે જોડી શકાય છે જેથી ખૂબ જ કઠણ સિરામિક્સ બને, જેનો ઉપયોગ ઉચ્ચ ટકાઉપણું જરૂરી હોય તેવા કાર્યક્રમોમાં વ્યાપકપણે થાય છે, ખાસ કરીને સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસમાં.

SiC ની ભૌતિક રચના

SiC કોટિંગ શું છે?

SiC કોટિંગ એક ગાઢ, વસ્ત્રો-પ્રતિરોધક સિલિકોન કાર્બાઇડ કોટિંગ છે જેમાં ઉચ્ચ કાટ અને ગરમી પ્રતિકાર અને ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા છે. આ ઉચ્ચ-શુદ્ધતા SiC કોટિંગ મુખ્યત્વે સેમિકન્ડક્ટર અને ઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગોમાં વેફર કેરિયર્સ, બેઝ અને હીટિંગ તત્વોને કાટ લાગતા અને પ્રતિક્રિયાશીલ વાતાવરણથી બચાવવા માટે વપરાય છે. SiC કોટિંગ ઉચ્ચ વેક્યૂમ, પ્રતિક્રિયાશીલ અને ઓક્સિજન વાતાવરણમાં વેક્યૂમ ભઠ્ઠીઓ અને નમૂના ગરમી માટે પણ યોગ્ય છે.

ઉચ્ચ શુદ્ધતા SiC કોટિંગ સપાટી

SiC કોટિંગ પ્રક્રિયા શું છે?

સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર સિલિકોન કાર્બાઇડનો પાતળો પડ જમા થાય છે જેનો ઉપયોગ કરીનેસીવીડી (રાસાયણિક વરાળ નિક્ષેપ). ડિપોઝિશન સામાન્ય રીતે 1200-1300°C તાપમાને કરવામાં આવે છે અને થર્મલ તણાવ ઘટાડવા માટે સબસ્ટ્રેટ સામગ્રીનું થર્મલ વિસ્તરણ વર્તન SiC કોટિંગ સાથે સુસંગત હોવું જોઈએ.

સીવીડી એસઆઈસી કોટિંગ ફિલ્મ ક્રિસ્ટલ સ્ટ્રક્ચર

SiC કોટિંગના ભૌતિક ગુણધર્મો મુખ્યત્વે તેના ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, કઠિનતા, કાટ પ્રતિકાર અને થર્મલ વાહકતામાં પ્રતિબિંબિત થાય છે.

લાક્ષણિક ભૌતિક પરિમાણો સામાન્ય રીતે નીચે મુજબ હોય છે:

કઠિનતા: SiC કોટિંગમાં સામાન્ય રીતે 2000-2500 HV ની રેન્જમાં વિકર્સ હાર્ડનેસ હોય છે, જે તેમને ઔદ્યોગિક એપ્લિકેશનોમાં અત્યંત ઉચ્ચ ઘસારો અને અસર પ્રતિકાર આપે છે.

ઘનતા: SiC કોટિંગ્સની ઘનતા સામાન્ય રીતે 3.1-3.2 g/cm³ હોય છે. ઉચ્ચ ઘનતા કોટિંગની યાંત્રિક શક્તિ અને ટકાઉપણુંમાં ફાળો આપે છે.

થર્મલ વાહકતા: SiC કોટિંગ્સમાં ઉચ્ચ થર્મલ વાહકતા હોય છે, સામાન્ય રીતે 120-200 W/mK (20°C પર) ની રેન્જમાં. આ તેને ઉચ્ચ તાપમાન વાતાવરણમાં સારી થર્મલ વાહકતા આપે છે અને તેને સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં ગરમી સારવાર સાધનો માટે ખાસ કરીને યોગ્ય બનાવે છે.

ગલનબિંદુ: સિલિકોન કાર્બાઇડનું ગલનબિંદુ આશરે 2730°C છે અને તે આત્યંતિક તાપમાને ઉત્તમ થર્મલ સ્થિરતા ધરાવે છે.

થર્મલ વિસ્તરણનો ગુણાંક: SiC કોટિંગ્સમાં થર્મલ વિસ્તરણ (CTE) નો રેખીય ગુણાંક ઓછો હોય છે, જે સામાન્ય રીતે 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ માં) ની રેન્જમાં હોય છે. આનો અર્થ એ છે કે મોટા તાપમાન તફાવતો પર તેની પરિમાણીય સ્થિરતા ઉત્તમ છે.

કાટ પ્રતિકાર: SiC કોટિંગ્સ મજબૂત એસિડ, આલ્કલી અને ઓક્સિડાઇઝિંગ વાતાવરણમાં કાટ માટે અત્યંત પ્રતિરોધક હોય છે, ખાસ કરીને જ્યારે મજબૂત એસિડ (જેમ કે HF અથવા HCl) નો ઉપયોગ કરવામાં આવે છે, ત્યારે તેમનો કાટ પ્રતિકાર પરંપરાગત ધાતુ સામગ્રી કરતા ઘણો વધારે હોય છે.

SiC કોટિંગ એપ્લિકેશન સબસ્ટ્રેટ

SiC કોટિંગનો ઉપયોગ ઘણીવાર સબસ્ટ્રેટના કાટ પ્રતિકાર, ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર અને પ્લાઝ્મા ધોવાણ પ્રતિકારને સુધારવા માટે થાય છે. સામાન્ય એપ્લિકેશન સબસ્ટ્રેટમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે:

SiC કોટેડ ઉત્પાદનોનો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે નીચેના સેમિકન્ડક્ટર ક્ષેત્રોમાં થાય છે:

SiC કોટિંગ ઉત્પાદનોનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસિંગમાં વ્યાપકપણે થાય છે, મુખ્યત્વે ઉચ્ચ તાપમાન, ઉચ્ચ કાટ અને મજબૂત પ્લાઝ્મા વાતાવરણમાં. નીચે કેટલીક મુખ્ય એપ્લિકેશન પ્રક્રિયાઓ અથવા ક્ષેત્રો અને સંક્ષિપ્ત વર્ણનો છે:

VET એનર્જી શા માટે પસંદ કરવી?

VET એનર્જી ચીનમાં SiC કોટિંગ ઉત્પાદનોના અગ્રણી ઉત્પાદક, સંશોધક અને અગ્રણી છે, મુખ્ય SiC કોટિંગ ઉત્પાદનોમાં શામેલ છેSiC કોટિંગ સાથે વેફર કેરિયર, SiC કોટેડએપિટેક્સિયલ સસેપ્ટર, SiC કોટેડ ગ્રેફાઇટ રિંગ, SiC કોટિંગ સાથે અર્ધ-ચંદ્ર ભાગો, SiC કોટેડ કાર્બન-કાર્બન કમ્પોઝિટ, SiC કોટેડ વેફર બોટ, SiC કોટેડ હીટર, વગેરે. VET એનર્જી સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગને શ્રેષ્ઠ ટેકનોલોજી અને ઉત્પાદન ઉકેલો પૂરા પાડવા માટે પ્રતિબદ્ધ છે, અને કસ્ટમાઇઝેશન સેવાઓને સમર્થન આપે છે. અમે ચીનમાં તમારા લાંબા ગાળાના ભાગીદાર બનવા માટે નિષ્ઠાપૂર્વક આતુર છીએ.

જો તમને કોઈ પૂછપરછ હોય અથવા વધારાની વિગતોની જરૂર હોય, તો કૃપા કરીને અમારો સંપર્ક કરવામાં અચકાશો નહીં.

Whatsapp અને Wechat:+86-18069021720

Email: steven@china-vet.com