Kodi kupaka sic ndi chiyani?

Silicon Carbidendi gulu lolimba lomwe lili ndi silicon ndi kaboni, ndipo limapezeka mwachilengedwe ngati mchere wosowa kwambiri moissanite. Ma silicon carbide particles amatha kulumikizidwa palimodzi popanga sinter kuti apange zoumba zolimba kwambiri, zomwe zimagwiritsidwa ntchito kwambiri pamapulogalamu omwe amafunikira kulimba kwambiri, makamaka mumayendedwe a semiconductor.

Kapangidwe ka thupi la SiC

Kodi SiC Coating ndi chiyani?

Kupaka kwa SiC ndi zokutira wandiweyani, wosamva kuvala wa silicon carbide wokhala ndi dzimbiri komanso kukana kutentha komanso kusinthasintha kwabwino kwamafuta. Kupaka koyera kwambiri kwa SiC kumeneku kumagwiritsidwa ntchito makamaka m'mafakitale a semiconductor ndi zamagetsi kuti ateteze zonyamulira zopyapyala, zoyambira ndi zinthu zotenthetsera kumadera owononga komanso otakasuka. Kupaka kwa SiC ndikoyeneranso ng'anjo za vacuum ndi kutentha kwachitsanzo m'malo opanda vacuum, zotakataka komanso mpweya.

High chiyero SiC ❖ kuyanika pamwamba

Kodi njira yokutira ya SiC ndi yotani?

Gawo lochepa kwambiri la silicon carbide limayikidwa pamwamba pa gawo lapansi pogwiritsa ntchitoCVD (Chemical Vapor Deposition). Kuyika nthawi zambiri kumachitika pa kutentha kwa 1200-1300 ° C ndipo machitidwe owonjezera kutentha kwa gawo lapansi ayenera kugwirizana ndi zokutira za SiC kuti achepetse kupsinjika kwamafuta.

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SIC Coating FILM CRYSTAL STRUCTURE

Zowoneka bwino za zokutira za SiC zimawonekera makamaka pakukana kwake kutentha, kuuma, kukana dzimbiri komanso kusinthasintha kwamafuta.

Zodziwika bwino zakuthupi nthawi zambiri zimakhala motere:

Kuuma: Zovala za SiC nthawi zambiri zimakhala ndi Vickers Kuuma kwapakati pa 2000-2500 HV, zomwe zimawapatsa kuvala kwambiri komanso kukana kwamphamvu pamafakitale.

Kuchulukana: Zovala za SiC nthawi zambiri zimakhala ndi makulidwe a 3.1-3.2 g/cm³. Kuchulukana kwakukulu kumathandizira ku mphamvu zamakina komanso kulimba kwa zokutira.

Thermal conductivity: Zovala za SiC zimakhala ndi matenthedwe apamwamba kwambiri, omwe amakhala pamtunda wa 120-200 W / mK (pa 20 ° C). Izi zimapatsa matenthedwe abwino m'malo otentha kwambiri ndipo zimapangitsa kuti zikhale zoyenera kwambiri pazida zochizira kutentha mumakampani a semiconductor.

Malo osungunuka: silicon carbide imakhala ndi malo osungunuka pafupifupi 2730 ° C ndipo imakhala ndi kukhazikika kwabwino kwa kutentha pa kutentha kwambiri.

Coefficient of Thermal Expansion: Zopaka za SiC zimakhala ndi mzere wocheperako wocheperako wa kukula kwamafuta (CTE), nthawi zambiri mumitundu ya 4.0-4.5 µm/mK (mu 25-1000 ℃). Izi zikutanthauza kuti kukhazikika kwake kumakhala kopambana kusiyana ndi kutentha kwakukulu.

Kukana dzimbiri: Zovala za SiC zimagonjetsedwa kwambiri ndi dzimbiri m'malo a asidi amphamvu, alkali ndi oxidizing, makamaka pogwiritsa ntchito ma asidi amphamvu (monga HF kapena HCl), kukana kwawo kwa dzimbiri kumaposa kwambiri zida zachitsulo wamba.

SiC yokutira ntchito gawo lapansi

Kupaka kwa SiC nthawi zambiri kumagwiritsidwa ntchito kukonza kukana kwa dzimbiri, kukana kutentha kwambiri, komanso kukana kukokoloka kwa plasma kwa gawo lapansi. Magawo omwe amagwiritsidwa ntchito kawirikawiri ndi awa:

Mtundu wa gawo lapansi	Chifukwa chofunsira	Kugwiritsa ntchito mwachizolowezi
Graphite	- Mapangidwe opepuka, matenthedwe abwino amafuta - Koma mosavuta dzimbiri ndi plasma, amafuna SiC ❖ kuyanika chitetezo	Zigawo za chipinda cha vacuum, mabwato a graphite, ma trays a plasma etching, etc.
Quartz (Quartz/SiO₂)	- Kuyera kwambiri koma kung'onongeka mosavuta - Kupaka kumawonjezera kukana kukokoloka kwa plasma	Zigawo za chipinda cha CVD/PECVD
Ceramics (monga alumina Al₂O₃)	- Mphamvu zapamwamba komanso mawonekedwe okhazikika - Kupaka kumawonjezera kukana dzimbiri pamwamba	Zipinda zapanyumba, zosintha, etc.
Zitsulo (molybdenum, titaniyamu, etc.)	- Kutentha kwabwino kwa matenthedwe koma kusakana kwa dzimbiri - Kupaka kumapangitsa kuti pamwamba pakhale bata	Special ndondomeko anachita zigawo zikuluzikulu
Silicon carbide sintered thupi (SiC zambiri)	- Kwa madera omwe ali ndi zofunika kwambiri pazovuta zogwirira ntchito - Kupaka kumawonjezera kuyeretsa komanso kukana dzimbiri	Zigawo za chipinda cha CVD / ALD chapamwamba

Zovala zokutira za SiC zimagwiritsidwa ntchito kwambiri m'magawo otsatirawa a semiconductor

SiC ❖ kuyanika mankhwala chimagwiritsidwa ntchito semiconductor processing, makamaka kutentha kwambiri, dzimbiri ndi amphamvu plasma mapangidwe. Zotsatirazi ndi njira zingapo zazikulu zogwiritsira ntchito kapena magawo ndi mafotokozedwe achidule:

Njira yogwiritsira ntchito/munda	Kufotokozera mwachidule	Silicon Carbide Coating ntchito
Kuyika kwa plasma (kujambula)	Gwiritsani ntchito mpweya wa fluorine kapena klorini potengera chitsanzo	Pewani kukokoloka kwa plasma ndikuletsa kuipitsidwa kwa tinthu ndi zitsulo
Chemical vapor deposition (CVD/PECVD)	Kuyika kwa oxide, nitride ndi mafilimu ena owonda	Pewani mpweya wowononga wowononga ndikuwonjezera moyo wazinthu
Physical vapor deposition (PVD) chipinda	Mkulu-mphamvu tinthu bombardment pa ❖ kuyanika ndondomeko	Sinthani kukana kukokoloka ndi kutentha kukana kwa chipinda chochitiramo
Njira ya MOCVD (monga SiC epitaxial kukula)	Kuchita kwa nthawi yayitali pansi pa kutentha kwambiri komanso mpweya wochuluka wa hydrogen	Sungani zida zokhazikika ndikupewa kuipitsidwa kwa makhiristo omwe akukula
Njira yothandizira kutentha (LPCVD, diffusion, annealing, etc.)	Nthawi zambiri zimachitika pa kutentha kwambiri ndi vacuum / mumlengalenga	Tetezani mabwato a graphite ndi ma tray kuti asatenthedwe ndi oxidation kapena dzimbiri
Wonyamula Wafer / chuck (Kunyamula Wafer)	Mtsinje wa graphite wosinthira mkate kapena chithandizo	Chepetsani kukhetsa komanso kupewa kukhudzana ndi kuipitsidwa
Zigawo za chipinda cha ALD	Yesetsani mobwerezabwereza komanso molondola kuyika kwa masanjidwe a atomiki	Chophimbacho chimapangitsa kuti chipindacho chikhale choyera ndipo chimakhala ndi kukana kwa dzimbiri kwa ma precursors

Chifukwa chiyani musankhe VET Energy?

VET Energy ndi otsogola opanga, oyambitsa komanso mtsogoleri wa zinthu zokutira za SiC ku China, zida zazikulu zokutira za SiC zikuphatikiza.chonyamulira chopyapyala chokhala ndi zokutira za SiC, SiC yokutidwaepitaxial susceptor, SiC yokutidwa ndi mphete ya graphite, Zigawo za theka la mwezi zokhala ndi zokutira za SiC, SiC yokutidwa ndi carbon-carbon composite, SiC yokutidwa ndi bwato lophika, SiC yokutidwa ndi heater, etc. VET Energy yadzipereka kuti ipereke makampani opanga ma semiconductor ukadaulo womaliza ndi mayankho azinthu, ndikuthandizira ntchito zosintha mwamakonda. Tikuyembekezera moona mtima kukhala bwenzi lanu kwa nthawi yayitali ku China.