سلیکن کاربائیڈسلکان اور کاربن پر مشتمل ایک سخت مرکب ہے، اور فطرت میں انتہائی نایاب معدنی موئسانائٹ کے طور پر پایا جاتا ہے۔ سلیکون کاربائیڈ کے ذرات کو بہت سخت سیرامکس بنانے کے لیے sintering کے ذریعے آپس میں جوڑا جا سکتا ہے، جو بڑے پیمانے پر ایسی ایپلی کیشنز میں استعمال ہوتے ہیں جن میں اعلی پائیداری کی ضرورت ہوتی ہے، خاص طور پر سیمی کنڈکٹر جلوس میں۔
SiC کی جسمانی ساخت
SiC کوٹنگ کیا ہے؟
SiC کوٹنگ ایک گھنی، لباس مزاحم سلکان کاربائیڈ کوٹنگ ہے جس میں اعلی سنکنرن اور گرمی کی مزاحمت اور بہترین تھرمل چالکتا ہے۔ یہ اعلی پاکیزگی والی SiC کوٹنگ بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر اور الیکٹرانکس کی صنعتوں میں ویفر کیریئرز، بیسز اور حرارتی عناصر کو سنکنرن اور رد عمل والے ماحول سے بچانے کے لیے استعمال ہوتی ہے۔ SiC کوٹنگ ویکیوم فرنسز اور ہائی ویکیوم، ری ایکٹیو اور آکسیجن ماحول میں نمونے کو گرم کرنے کے لیے بھی موزوں ہے۔
اعلی طہارت SiC کوٹنگ کی سطح
SiC کوٹنگ کا عمل کیا ہے؟
سلکان کاربائیڈ کی ایک پتلی پرت کو استعمال کرتے ہوئے سبسٹریٹ کی سطح پر جمع کیا جاتا ہے۔CVD (کیمیائی بخارات جمع). جمع عام طور پر 1200-1300 ° C کے درجہ حرارت پر کیا جاتا ہے اور تھرمل تناؤ کو کم کرنے کے لیے سبسٹریٹ مواد کا تھرمل توسیعی رویہ SiC کوٹنگ کے ساتھ ہم آہنگ ہونا چاہیے۔

CVD SIC کوٹنگ فلم کرسٹل ڈھانچہ
SiC کوٹنگ کی جسمانی خصوصیات بنیادی طور پر اس کے اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، سختی، سنکنرن مزاحمت اور تھرمل چالکتا میں جھلکتی ہیں۔
عام جسمانی پیرامیٹرز عام طور پر مندرجہ ذیل ہیں:
سختی: SiC کوٹنگ میں عام طور پر 2000-2500 HV کی رینج میں Vickers Hardness ہوتی ہے، جو انہیں صنعتی ایپلی کیشنز میں انتہائی اعلی لباس اور اثر مزاحمت فراہم کرتی ہے۔
کثافت: SiC کوٹنگز میں عام طور پر 3.1-3.2 g/cm³ کی کثافت ہوتی ہے۔ اعلی کثافت کوٹنگ کی مکینیکل طاقت اور استحکام میں معاون ہے۔
تھرمل چالکتا: SiC کوٹنگز میں تھرمل چالکتا زیادہ ہوتی ہے، عام طور پر 120-200 W/mK (20°C پر)۔ یہ اسے اعلی درجہ حرارت والے ماحول میں اچھی تھرمل چالکتا فراہم کرتا ہے اور اسے سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں گرمی کے علاج کے آلات کے لیے خاص طور پر موزوں بناتا ہے۔
پگھلنے کا نقطہ: سلکان کاربائیڈ کا پگھلنے کا نقطہ تقریباً 2730°C ہے اور انتہائی درجہ حرارت پر بہترین تھرمل استحکام رکھتا ہے۔
تھرمل توسیع کا گتانک: SiC کوٹنگز میں تھرمل ایکسپینشن (CTE) کا کم لکیری گتانک ہوتا ہے، عام طور پر 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ میں)۔ اس کا مطلب یہ ہے کہ درجہ حرارت کے بڑے فرق پر اس کی جہتی استحکام بہترین ہے۔
سنکنرن مزاحمت: SiC کوٹنگز مضبوط تیزاب، الکلی اور آکسیڈائزنگ ماحول میں سنکنرن کے خلاف انتہائی مزاحم ہیں، خاص طور پر جب مضبوط تیزاب (جیسے HF یا HCl) کا استعمال کرتے ہوئے، ان کی سنکنرن مزاحمت روایتی دھاتی مواد سے کہیں زیادہ ہے۔
SiC کوٹنگ ایپلی کیشن سبسٹریٹ
SiC کوٹنگ کا استعمال اکثر سنکنرن مزاحمت، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، اور سبسٹریٹ کے پلازما کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کو بہتر بنانے کے لیے کیا جاتا ہے۔ عام ایپلی کیشن ذیلی ذخائر میں درج ذیل شامل ہیں:
| سبسٹریٹ کی قسم | درخواست کی وجہ | عام استعمال |
| گریفائٹ | - ہلکی ساخت، اچھی تھرمل چالکتا - لیکن پلازما سے آسانی سے corroded، SiC کوٹنگ کے تحفظ کی ضرورت ہوتی ہے۔ | ویکیوم چیمبر کے پرزے، گریفائٹ بوٹس، پلازما اینچنگ ٹرے وغیرہ۔ |
| کوارٹز (کوارٹز/SiO₂) | - اعلی طہارت لیکن آسانی سے corroded - کوٹنگ پلازما کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کو بڑھاتی ہے۔ | CVD/PECVD چیمبر پارٹس |
| سیرامکس (جیسے ایلومینا Al₂O₃) | - اعلی طاقت اور مستحکم ڈھانچہ - کوٹنگ سطح کی سنکنرن مزاحمت کو بہتر بناتی ہے۔ | چیمبر استر، فکسچر، وغیرہ |
| دھاتیں (جیسے مولبڈینم، ٹائٹینیم، وغیرہ) | - اچھی تھرمل چالکتا لیکن خراب سنکنرن مزاحمت - کوٹنگ سطح کے استحکام کو بہتر بناتی ہے۔ | خصوصی عمل کے رد عمل کے اجزاء |
| سلیکن کاربائیڈ سینٹرڈ باڈی (SiC بلک) | - پیچیدہ کام کے حالات کے لئے اعلی ضروریات کے ساتھ ماحول کے لئے - کوٹنگ مزید پاکیزگی اور سنکنرن مزاحمت کو بہتر بناتی ہے۔ | اعلی درجے کے CVD/ALD چیمبر کے اجزاء |
SiC لیپت مصنوعات عام طور پر درج ذیل سیمی کنڈکٹر علاقوں میں استعمال ہوتی ہیں۔
SiC کوٹنگ کی مصنوعات کو سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں بڑے پیمانے پر استعمال کیا جاتا ہے، بنیادی طور پر اعلی درجہ حرارت، اعلی سنکنرن اور مضبوط پلازما ماحول میں۔ درخواست کے کئی بڑے عمل یا فیلڈز اور مختصر تفصیل درج ذیل ہیں:
| درخواست کا عمل/ فیلڈ | مختصر تفصیل | سلیکن کاربائیڈ کوٹنگ فنکشن |
| پلازما اینچنگ (ایچنگ) | پیٹرن کی منتقلی کے لیے فلورین یا کلورین پر مبنی گیسوں کا استعمال کریں۔ | پلازما کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کریں اور ذرہ اور دھات کی آلودگی کو روکیں۔ |
| کیمیائی بخارات کا ذخیرہ (CVD/PECVD) | آکسائیڈ، نائٹرائڈ اور دیگر پتلی فلموں کا جمع ہونا | سنکنرن پیشگی گیسوں کے خلاف مزاحمت کریں اور اجزاء کی زندگی میں اضافہ کریں۔ |
| جسمانی بخارات جمع (PVD) چیمبر | کوٹنگ کے عمل کے دوران اعلی توانائی کے ذرہ بمباری | رد عمل کے چیمبر کی کٹاؤ مزاحمت اور گرمی کی مزاحمت کو بہتر بنائیں |
| MOCVD عمل (جیسے SiC epitaxial ترقی) | اعلی درجہ حرارت اور ہائی ہائیڈروجن سنکنرن ماحول کے تحت طویل مدتی رد عمل | سامان کے استحکام کو برقرار رکھیں اور بڑھتے ہوئے کرسٹل کی آلودگی کو روکیں۔ |
| حرارت کے علاج کا عمل (LPCVD، بازی، اینیلنگ، وغیرہ) | عام طور پر اعلی درجہ حرارت اور ویکیوم/ماحول میں کیا جاتا ہے۔ | گریفائٹ کی کشتیوں اور ٹرے کو آکسیکرن یا سنکنرن سے بچائیں۔ |
| ویفر کیریئر/چک (وفر ہینڈلنگ) | ویفر ٹرانسفر یا سپورٹ کے لیے گریفائٹ بیس | ذرات کے بہانے کو کم کریں اور رابطے کی آلودگی سے بچیں۔ |
| ALD چیمبر کے اجزاء | بار بار اور درست طریقے سے ایٹم پرت کے جمع کو کنٹرول کریں۔ | کوٹنگ چیمبر کو صاف رکھتی ہے اور پیشروؤں کے خلاف اعلی سنکنرن مزاحمت رکھتی ہے۔ |
VET توانائی کا انتخاب کیوں کریں؟
VET انرجی چین میں SiC کوٹنگ مصنوعات کا ایک سرکردہ کارخانہ دار، اختراعی اور رہنما ہے، جس میں اہم SiC کوٹنگ مصنوعات شامل ہیںSiC کوٹنگ کے ساتھ ویفر کیریئر، SiC لیپتepitaxial susceptor, SiC لیپت گریفائٹ انگوٹی, SiC کوٹنگ کے ساتھ نصف چاند کے حصے, SiC لیپت کاربن کاربن مرکب, SiC لیپت ویفر کشتی, SiC لیپت ہیٹروغیرہ۔ VET Energy سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کو حتمی ٹیکنالوجی اور مصنوعات کے حل فراہم کرنے کے لیے پرعزم ہے، اور حسب ضرورت خدمات کی حمایت کرتی ہے۔ ہم خلوص دل سے چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔
اگر آپ کی کوئی پوچھ گچھ ہے یا اضافی تفصیلات کی ضرورت ہے، تو براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں سنکوچ نہ کریں۔
واٹس ایپ اور وی چیٹ:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
پوسٹ ٹائم: اکتوبر 18-2024
