តើថ្នាំកូតស៊ីស៊ីគឺជាអ្វី?

ស៊ីលីកុនកាបូនគឺជាសមាសធាតុរឹងដែលមានស៊ីលីកុន និងកាបូន ហើយត្រូវបានរកឃើញនៅក្នុងធម្មជាតិជាសារធាតុ moissanite ដ៏កម្របំផុត។ ភាគល្អិត Silicon carbide អាចត្រូវបានភ្ជាប់ជាមួយគ្នាដោយការ sintering ដើម្បីបង្កើតជាសេរ៉ាមិចរឹងខ្លាំងណាស់ដែលត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងកម្មវិធីដែលទាមទារភាពធន់ខ្ពស់ជាពិសេសនៅក្នុងដំណើរការ semiconductor ។

រចនាសម្ព័ន្ធរូបវិទ្យានៃស៊ីស៊ី

តើ SiC Coating ជាអ្វី?

ថ្នាំកូត SiC គឺជាថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូនដែលធន់នឹងការពាក់ និងធន់នឹងការ corrosion និងធន់នឹងកំដៅខ្ពស់ និងចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ ថ្នាំកូត SiC ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នេះត្រូវបានប្រើជាចម្បងនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor និងអេឡិចត្រូនិក ដើម្បីការពារក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន wafer មូលដ្ឋាន និងធាតុកំដៅពីបរិស្ថានច្រេះ និងប្រតិកម្ម។ ថ្នាំកូត SiC ក៏សមរម្យសម្រាប់ចង្រ្កានបូមធូលី និងកំដៅគំរូនៅក្នុងបរិយាកាសទំនេរខ្ពស់ ប្រតិកម្ម និងអុកស៊ីសែន។

ផ្ទៃថ្នាំកូត SiC ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។

តើដំណើរការថ្នាំកូត SiC គឺជាអ្វី?

ស្រទាប់ស្តើងនៃស៊ីលីកុន carbide ត្រូវបានដាក់នៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដោយប្រើCVD (ការទម្លាក់ចំហាយគីមី). ការដាក់ប្រាក់ត្រូវបានអនុវត្តជាធម្មតានៅសីតុណ្ហភាព 1200-1300 ° C ហើយឥរិយាបទនៃការពង្រីកកំដៅនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមគួរតែត្រូវគ្នាជាមួយនឹងថ្នាំកូត SiC ដើម្បីកាត់បន្ថយភាពតានតឹងកម្ដៅ។

រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់ CVD SIC

រចនាសម្ព័នគ្រីស្តាល់ CVD SIC Coating FILM

លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តនៃថ្នាំកូត SiC ត្រូវបានឆ្លុះបញ្ចាំងជាចម្បងនៅក្នុងភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ភាពរឹង ធន់នឹងច្រេះ និងចរន្តកំដៅ។

ប៉ារ៉ាម៉ែត្ររាងកាយធម្មតាជាធម្មតាមានដូចខាងក្រោម:

រឹង៖ ថ្នាំកូត SiC ជាធម្មតាមាន Vickers Hardness ក្នុងចន្លោះពី 2000-2500 HV ដែលផ្តល់ឱ្យពួកគេនូវការពាក់ និងធន់នឹងផលប៉ះពាល់ខ្ពស់នៅក្នុងកម្មវិធីឧស្សាហកម្ម។

ដង់ស៊ីតេ៖ ថ្នាំកូត SiC ជាធម្មតាមានដង់ស៊ីតេ 3.1-3.2 ក្រាម/cm³។ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់រួមចំណែកដល់កម្លាំងមេកានិចនិងភាពធន់នៃថ្នាំកូត។

ចរន្តកំដៅ៖ ថ្នាំកូត SiC មានចរន្តកំដៅខ្ពស់ ជាធម្មតាក្នុងជួរ 120-200 W/mK (នៅ 20°C)។ នេះផ្តល់ឱ្យវានូវចរន្តកំដៅដ៏ល្អនៅក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងធ្វើឱ្យវាសមស្របជាពិសេសសម្រាប់ឧបករណ៍កំដៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor ។

ចំណុចរលាយ: ស៊ីលីកុនកាបូនមានចំណុចរលាយប្រហែល 2730°C និងមានស្ថេរភាពកម្ដៅដ៏ល្អនៅសីតុណ្ហភាពខ្លាំង។

មេគុណនៃការពង្រីកកំដៅ៖ ថ្នាំកូត SiC មានមេគុណលីនេអ៊ែរទាបនៃការពង្រីកកម្ដៅ (CTE) ជាធម្មតាក្នុងចន្លោះពី 4.0-4.5 µm/mK (ក្នុង 25-1000 ℃) ។ នេះមានន័យថាស្ថេរភាពវិមាត្ររបស់វាគឺល្អឥតខ្ចោះជាងភាពខុសគ្នានៃសីតុណ្ហភាពធំ។

ភាពធន់នឹងសំណឹក៖ ថ្នាំកូត SiC មានភាពធន់ទ្រាំខ្លាំងចំពោះការច្រេះនៅក្នុងបរិស្ថានអាស៊ីតខ្លាំង អាល់កាឡាំង និងអុកស៊ីតកម្ម ជាពិសេសនៅពេលប្រើអាស៊ីតខ្លាំង (ដូចជា HF ឬ HCl) ភាពធន់នឹងការច្រេះរបស់វាលើសពីវត្ថុធាតុដើមដែកធម្មតា។

ស្រទាប់ខាងក្រោមនៃការលាបថ្នាំ SiC

ថ្នាំកូត SiC ត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់ដើម្បីកែលម្អភាពធន់នឹងច្រេះ ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងធន់នឹងសំណឹកប្លាស្មានៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ ស្រទាប់ខាងក្រោមនៃកម្មវិធីទូទៅរួមមានដូចខាងក្រោម៖

ប្រភេទស្រទាប់ខាងក្រោម	ហេតុផលនៃការដាក់ពាក្យ	ការប្រើប្រាស់ធម្មតា។
ក្រាហ្វិច	- រចនាសម្ព័ន្ធពន្លឺ, ចរន្តកំដៅល្អ។ - ប៉ុន្តែងាយរលួយដោយប្លាស្មា ទាមទារការការពារថ្នាំកូត SiC	ផ្នែកបន្ទប់បូមធូលី ទូកក្រាហ្វិច ថាសដាក់ប្លាស្មា ជាដើម។
រ៉ែថ្មខៀវ (Quartz/SiO₂)	- ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ប៉ុន្តែងាយរលួយ - ថ្នាំកូតបង្កើនភាពធន់នឹងសំណឹកប្លាស្មា	ផ្នែក CVD / PECVD
សេរ៉ាមិច (ដូចជាអាលុយមីណា Al₂O₃)	- កម្លាំងខ្ពស់និងរចនាសម្ព័ន្ធមានស្ថេរភាព - ថ្នាំកូតធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពធន់នឹងការ corrosion ផ្ទៃ	ស្រទាប់ខាងក្នុងនៃអង្គជំនុំជម្រះ, ឧបករណ៍, ល។
លោហធាតុ (ដូចជា ម៉ូលីបដិន ទីតានីញ៉ូម ជាដើម)	- ចរន្តកំដៅល្អ ប៉ុន្តែធន់នឹងការ corrosion ខ្សោយ - ថ្នាំកូតធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវស្ថេរភាពផ្ទៃ	សមាសធាតុប្រតិកម្មនៃដំណើរការពិសេស
រាងកាយស៊ីលីកុនកាបូនឌីអុកស៊ីត (SiC ភាគច្រើន)	- សម្រាប់បរិស្ថានដែលមានតម្រូវការខ្ពស់សម្រាប់លក្ខខណ្ឌការងារស្មុគស្មាញ - ថ្នាំកូតបន្ថែមធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពបរិសុទ្ធ និងធន់នឹងច្រេះ	សមាសធាតុអង្គជំនុំជម្រះ CVD/ALD កម្រិតខ្ពស់

ផលិតផលដែលស្រោបដោយ SiC ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់ជាទូទៅនៅក្នុងតំបន់ semiconductor ខាងក្រោម

ផលិតផលថ្នាំកូត SiC ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងដំណើរការ semiconductor ជាចម្បងនៅក្នុងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ការ corrosion ខ្ពស់ និងបរិស្ថានប្លាស្មាខ្លាំង។ ខាងក្រោមនេះជាដំណើរការកម្មវិធី ឬវាលសំខាន់ៗមួយចំនួន និងការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

ដំណើរការកម្មវិធី/វាល	ការពិពណ៌នាសង្ខេប	មុខងារថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន
ការឆ្លាក់ប្លាស្មា (Etching)	ប្រើឧស្ម័នដែលមានមូលដ្ឋានលើ fluorine ឬក្លរីនសម្រាប់ការផ្ទេរលំនាំ	ទប់ទល់នឹងសំណឹកប្លាស្មា និងការពារការចម្លងរោគនៃភាគល្អិត និងលោហៈ
ការបញ្ចេញចំហាយគីមី (CVD/PECVD)	ការធ្លាក់ចុះនៃអុកស៊ីដ nitride និងខ្សែភាពយន្តស្តើងផ្សេងទៀត។	ទប់ទល់នឹងឧស្ម័នមុនដែលច្រេះ និងបង្កើនអាយុកាលសមាសធាតុ
អង្គជំនុំជម្រះការបំភាយចំហាយរាងកាយ (PVD)	ការទម្លាក់គ្រាប់បែកនៃភាគល្អិតថាមពលខ្ពស់កំឡុងពេលដំណើរការថ្នាំកូត	ធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវភាពធន់ទ្រាំសំណឹកនិងភាពធន់ទ្រាំកំដៅនៃអង្គជំនុំជម្រះប្រតិកម្ម
ដំណើរការ MOCVD (ដូចជាកំណើន SiC epitaxial)	ប្រតិកម្មរយៈពេលវែងក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងបរិយាកាសច្រេះអ៊ីដ្រូសែនខ្ពស់។	រក្សាស្ថេរភាពឧបករណ៍ និងការពារការចម្លងរោគនៃគ្រីស្តាល់ដែលកំពុងលូតលាស់
ដំណើរការព្យាបាលដោយកំដៅ (LPCVD, diffusion, annealing, etc.)	ជាធម្មតាត្រូវបានអនុវត្តនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់និងកន្លែងទំនេរ / បរិយាកាស	ការពារទូកក្រាហ្វិច និងថាសពីការកត់សុី ឬច្រេះ
ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន Wafer / chuck (ការគ្រប់គ្រង Wafer)	មូលដ្ឋានក្រាហ្វិចសម្រាប់ការផ្ទេរ wafer ឬការគាំទ្រ	កាត់បន្ថយការហូរចេញភាគល្អិត និងជៀសវាងការចម្លងរោគពីទំនាក់ទំនង
សមាសធាតុអង្គជំនុំជម្រះ ALD	ម្តងហើយម្តងទៀត និងត្រឹមត្រូវ គ្រប់គ្រងស្រទាប់អាតូមិក	ថ្នាំកូតរក្សាអង្គជំនុំជម្រះឱ្យស្អាត និងមានភាពធន់ទ្រាំ corrosion ខ្ពស់ចំពោះសារធាតុមុន។

ហេតុអ្វីត្រូវជ្រើសរើស VET Energy?

VET Energy គឺជាក្រុមហ៊ុនផលិត អ្នកបង្កើតថ្មី និងជាអ្នកដឹកនាំផលិតផលថ្នាំកូត SiC នៅក្នុងប្រទេសចិន ផលិតផលថ្នាំកូត SiC សំខាន់ៗរួមមានក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន wafer ជាមួយថ្នាំកូត SiC, SiC coatedអ្នកទទួល epitaxial, ចិញ្ចៀនក្រាហ្វិចស្រោប SiC, ផ្នែកពាក់កណ្តាលព្រះច័ន្ទជាមួយថ្នាំកូត SiC, SiC coated carbon-carbon composite, ទូក wafer ស្រោប SiC, ស៊ីស៊ីស៊ី កំដៅល។ VET Energy ប្តេជ្ញាផ្តល់ឧស្សាហកម្ម semiconductor ជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យាចុងក្រោយ និងដំណោះស្រាយផលិតផល និងគាំទ្រសេវាកម្មប្តូរតាមបំណង។ យើងទន្ទឹងរង់ចាំដោយស្មោះថានឹងក្លាយជាដៃគូរយៈពេលវែងរបស់អ្នកនៅក្នុងប្រទេសចិន។