Хімічне осадження з парової фази (серцево-судинних захворювань) стосується процесу нанесення твердої плівки на поверхню кремніювафляшляхом хімічної реакції газової суміші. Залежно від різних умов реакції (тиск, прекурсор), його можна розділити на різні моделі обладнання.
Для яких процесів використовуються ці два пристрої?
ПЕКВД(Плазмопокращене) обладнання є найчисленнішим і найчастіше використовуваним, застосовується в оксидних, нітридних, металевих затворах, аморфному вуглеці тощо; LPCVD (низька потужність) зазвичай використовується в нітридних, полімерних, TEOS- та інших сплавах.
У чому полягає принцип?
PECVD – це процес, який ідеально поєднує енергію плазми та CVD. Технологія PECVD використовує низькотемпературну плазму для індукування тліючого розряду на катоді технологічної камери (тобто лотка для зразків) під низьким тиском. Цей тліючий розряд або інший нагрівальний пристрій може підвищити температуру зразка до заданого рівня, а потім ввести контрольовану кількість технологічного газу. Цей газ проходить серію хімічних і плазмових реакцій і, зрештою, утворює тверду плівку на поверхні зразка.
LPCVD - Хімічне осадження з парової фази низького тиску (LPCVD) призначене для зниження робочого тиску реакційного газу в реакторі приблизно до 133 Па або менше.
Які характеристики кожного з них?
PECVD – процес, який ідеально поєднує енергію плазми та CVD: 1) Робота за низьких температур (уникнення пошкодження обладнання внаслідок високої температури); 2) Швидкий ріст плівки; 3) Невибагливий до матеріалів, можуть рости OX, нітриди, металеві затвори, аморфний вуглець; 4) Існує система моніторингу in-situ, яка може коригувати рецептуру за допомогою параметрів іонів, швидкості потоку газу, температури та товщини плівки.
LPCVD – Тонкі плівки, нанесені методом LPCVD, матимуть краще покриття ступеню, хороший контроль складу та структури, високу швидкість осадження та продуктивність. Крім того, LPCVD не потребує газу-носія, тому значно зменшує джерело забруднення частинками та широко використовується у напівпровідникових галузях з високою доданою вартістю для осадження тонких плівок.
Ласкаво просимо будь-яких клієнтів з усього світу відвідати нас для подальшого обговорення!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Час публікації: 24 липня 2024 р.