خىمىيىلىك پار چۆكمىسى (يۈرەك-قان تومۇر كېسەللىكلىرى) كرېمنىينىڭ يۈزىگە قاتتىق پەردە قويۇش جەريانىنى كۆرسىتىدۇварельگاز ئارىلاشمىسىنىڭ خىمىيىلىك رېئاكسىيەسى ئارقىلىق. ھەر خىل رېئاكسىيە شارائىتىغا (بېسىم، ئالدىنقى ماددا) ئاساسەن، ئۇنى ھەر خىل ئۈسكۈنە مودېللىرىغا بۆلۈشكە بولىدۇ.
بۇ ئىككى ئۈسكۈنە قانداق جەريانلار ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ؟
PECVD(Plasma Enhanced) ئۈسكۈنىلىرى ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغان ۋە ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغان ئۈسكۈنە بولۇپ، OX، نىترىد، مېتال دەرۋازا، ئامورف كاربون قاتارلىقلاردا ئىشلىتىلىدۇ؛ LPCVD (تۆۋەن قۇۋۋەتلىك) ئادەتتە نىترىد، پولى، TEOS قاتارلىقلاردا ئىشلىتىلىدۇ.
پرىنسىپ نېمە؟
PECVD - پلازما ئېنېرگىيەسى بىلەن CVD نى مۇكەممەل بىرلەشتۈرىدىغان بىر جەريان. PECVD تېخنىكىسى تۆۋەن تېمپېراتۇرىلىق پلازما ئارقىلىق جەريان كامېراسىنىڭ (يەنى ئۈلگە تەخسىسىنىڭ) كاتودىدا تۆۋەن بېسىم ئاستىدا پارقىراقلىق چىقىرىشنى پەيدا قىلىدۇ. بۇ پارقىراقلىق چىقىرىش ياكى باشقا قىزىتىش ئۈسكۈنىسى ئۈلگىنىڭ تېمپېراتۇرىسىنى بەلگىلەنگەن سەۋىيىگە كۆتۈرەلەيدۇ، ئاندىن كونترول قىلىنىدىغان مىقداردا جەريان گازىنى كىرگۈزەلەيدۇ. بۇ گاز بىر قاتار خىمىيىلىك ۋە پلازما رېئاكسىيەلىرىنى باشتىن كەچۈرىدۇ ۋە ئاخىرىدا ئۈلگىنىڭ يۈزىدە قاتتىق پەردە ھاسىل قىلىدۇ.
LPCVD - تۆۋەن بېسىملىق خىمىيىلىك پارغا چۆكمە قىلىش (LPCVD) رېئاكتوردىكى رېئاكسىيە گازىنىڭ خىزمەت بېسىمىنى تەخمىنەن 133Pa ياكى ئۇنىڭدىن تۆۋەنگە چۈشۈرۈش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن.
ھەر بىرىنىڭ قانداق ئالاھىدىلىكلىرى بار؟
PECVD - پلازما ئېنېرگىيەسى بىلەن CVD نى مۇكەممەل بىرلەشتۈرىدىغان جەريان: 1) تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا ئىشلەش (ئۈسكۈنىلەرنىڭ يۇقىرى تېمپېراتۇرا تەسىرىدىن ساقلىنىش)؛ 2) تېز پىلاستىنكا ئۆسۈشى؛ 3) ماتېرىياللارغا ئانچە دىققەت قىلماسلىق، OX، نىترىد، مېتال دەرۋازا، ئامورف كاربون قاتارلىقلارنىڭ ھەممىسى ئۆسۈشى مۇمكىن؛ 4) ئىئون پارامېتىرلىرى، گاز ئېقىمى سۈرئىتى، تېمپېراتۇرا ۋە پىلاستىنكا قېلىنلىقى ئارقىلىق رېتسېپنى تەڭشىيەلەيدىغان ئورۇن ئىچىدىكى كۆزىتىش سىستېمىسى بار.
LPCVD - LPCVD تەرىپىدىن قويۇلغان نېپىز پەردىلەرنىڭ قەۋەت قاپلاش نىسبىتى ياخشى، تەركىبى ۋە قۇرۇلمىسى ياخشى كونترول قىلىنىدۇ، چۆكۈش سۈرئىتى ۋە چىقىرىش مىقدارى يۇقىرى بولىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، LPCVD توشۇغۇچى گازنى تەلەپ قىلمايدۇ، شۇڭا ئۇ زەررىچە بۇلغىنىش مەنبەسىنى زور دەرىجىدە ئازايتىدۇ ھەمدە يۇقىرى قوشۇمچە قىممەتكە ئىگە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتىدە نېپىز پەردە چۆكۈش ئۈچۈن كەڭ قوللىنىلىدۇ.
دۇنيانىڭ ھەرقايسى جايلىرىدىكى خېرىدارلارنىڭ تېخىمۇ كۆپ مۇزاكىرە قىلىش ئۈچۈن بىزگە كېلىشىنى قارشى ئالىمىز!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 7-ئاينىڭ 24-كۈنى