Chemické nanášanie z pár (Kardiovaskulárne ochorenie (KVO)) sa vzťahuje na proces nanášania pevného filmu na povrch kremíkaoblátkachemickou reakciou zmesi plynov. Podľa rôznych reakčných podmienok (tlak, prekurzor) sa dá rozdeliť na rôzne modely zariadení.
Na aké procesy sa tieto dve zariadenia používajú?
PECVD(plazmovo vylepšené) zariadenie je najpočetnejšie a najčastejšie používané, používa sa v OX, nitridoch, kovových hradlách, amorfnom uhlíku atď.; LPCVD (nízky výkon) sa zvyčajne používa v nitridoch, polyméroch a TEOS.
Aký je princíp?
PECVD – proces, ktorý dokonale kombinuje energiu plazmy a CVD. Technológia PECVD využíva nízkoteplotnú plazmu na indukciu tlejúceho výboja na katóde procesnej komory (t. j. misky na vzorky) za nízkeho tlaku. Tento tlejúci výboj alebo iné vykurovacie zariadenie môže zvýšiť teplotu vzorky na vopred určenú úroveň a potom zaviesť kontrolované množstvo procesného plynu. Tento plyn prechádza sériou chemických a plazmových reakcií a nakoniec vytvorí pevný film na povrchu vzorky.
LPCVD - Nízkotlaková chemická depozícia z pár (LPCVD) je navrhnutá tak, aby znížila prevádzkový tlak reakčného plynu v reaktore na približne 133 Pa alebo menej.
Aké sú charakteristiky každého z nich?
PECVD – Proces, ktorý dokonale kombinuje energiu plazmy a CVD: 1) Prevádzka pri nízkych teplotách (zabráni sa poškodeniu zariadenia vysokými teplotami); 2) Rýchly rast filmu; 3) Nenáročný na materiály, OX, nitrid, kovová brána, amorfný uhlík – všetky môžu rásť; 4) Existuje monitorovací systém in situ, ktorý dokáže upraviť receptúru pomocou parametrov iónov, prietoku plynu, teploty a hrúbky filmu.
LPCVD – Tenké vrstvy nanesené metódou LPCVD majú lepšie pokrytie krokov, dobrú kontrolu zloženia a štruktúry, vysokú rýchlosť nanášania a výstup. Okrem toho LPCVD nevyžaduje nosný plyn, takže výrazne znižuje zdroj znečistenia časticami a je široko používaný v polovodičových odvetviach s vysokou pridanou hodnotou na nanášanie tenkých vrstiev.
Vítame všetkých zákazníkov z celého sveta, aby nás navštívili a mohli sa s nami podrobnejšie porozprávať!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Čas uverejnenia: 24. júla 2024