Kemično nanašanje s paro (KVB) se nanaša na postopek nanašanja trdne plasti na površino silicijaoblatis kemično reakcijo plinske mešanice. Glede na različne reakcijske pogoje (tlak, predhodnik) ga lahko razdelimo na različne modele opreme.
Za katere procese se uporabljata ti dve napravi?
PECVD(plazemsko izboljšana) oprema je najštevilčnejša in najpogosteje uporabljena, uporablja se pri OX, nitridu, kovinskih vratih, amorfnem ogljiku itd.; LPCVD (nizka poraba) se običajno uporablja pri nitridu, poliuretanu in TEOS.
Kakšno je načelo?
PECVD – postopek, ki odlično združuje energijo plazme in CVD. Tehnologija PECVD uporablja nizkotemperaturno plazmo za indukcijo sijajnega praznjenja na katodi procesne komore (tj. pladnja za vzorce) pod nizkim tlakom. Ta sijajni praznjenje ali druga grelna naprava lahko dvigne temperaturo vzorca na vnaprej določeno raven in nato vnese nadzorovano količino procesnega plina. Ta plin je podvržen vrsti kemičnih in plazemskih reakcij ter na koncu tvori trdno plast na površini vzorca.
LPCVD - Nizkotlačno kemično nanašanje s paro (LPCVD) je zasnovano za zmanjšanje delovnega tlaka reakcijskega plina v reaktorju na približno 133 Pa ali manj.
Kakšne so značilnosti vsakega od njih?
PECVD - Postopek, ki odlično združuje energijo plazme in CVD: 1) Delovanje pri nizki temperaturi (izogibanje poškodbam opreme zaradi visoke temperature); 2) Hitra rast filma; 3) Ni izbirčen glede materialov, lahko rastejo OX, nitrid, kovinski vhod, amorfni ogljik; 4) Obstaja sistem za spremljanje na mestu, ki lahko prilagodi recepturo z ionskimi parametri, pretokom plina, temperaturo in debelino filma.
LPCVD - Tanke plasti, nanesene z LPCVD, imajo boljšo pokritost stopenj, dober nadzor sestave in strukture, visoko hitrost nanašanja in izhod. Poleg tega LPCVD ne potrebuje nosilnega plina, zato močno zmanjša vir onesnaženja z delci in se pogosto uporablja v polprevodniški industriji z visoko dodano vrednostjo za nanašanje tankih plasti.
Vljudno vabljeni k sodelovanju vse stranke z vsega sveta, da nas obiščejo za nadaljnjo razpravo!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Čas objave: 24. julij 2024