Хімічнае асаджэнне з паравой фазы (ССЗ) адносіцца да працэсу нанясення цвёрдай плёнкі на паверхню крэмніювафляпраз хімічную рэакцыю газавай сумесі. У залежнасці ад розных умоў рэакцыі (ціск, папярэднік), яго можна падзяліць на розныя мадэлі абсталявання.
Для якіх працэсаў выкарыстоўваюцца гэтыя дзве прылады?
ПЭКВДАбсталяванне з плазменным узмацненнем з'яўляецца найбольш шматлікім і найбольш распаўсюджаным, ужываецца ў аксід-аксідах, нітрыдах, металічных затворах, аморфным вугляродзе і г.д.; LPCVD (нізкая магутнасць) звычайна выкарыстоўваецца ў нітрыдах, поліэтыленах і TEOS.
У чым прынцып?
PECVD — гэта працэс, які ідэальна спалучае энергію плазмы і CVD. Тэхналогія PECVD выкарыстоўвае нізкатэмпературную плазму для індукацыі тлеючага разраду на катодзе працэснай камеры (г.зн. латка для ўзораў) пад нізкім ціскам. Гэты тлеючы разрад або іншая награвальная прылада можа павысіць тэмпературу ўзору да зададзенага ўзроўню, а затым увесці кантраляваную колькасць працэснага газу. Гэты газ праходзіць праз шэраг хімічных і плазменных рэакцый і, нарэшце, утварае цвёрдую плёнку на паверхні ўзору.
LPCVD - хімічнае асаджэнне з паравой фазы пры нізкім ціску (LPCVD) прызначана для зніжэння працоўнага ціску рэакцыйнага газу ў рэактары прыкладна да 133 Па або менш.
Якія характарыстыкі кожнага з іх?
PECVD — працэс, які ідэальна спалучае энергію плазмы і CVD: 1) Нізкатэмпературная праца (пазбягае пашкоджання абсталявання высокай тэмпературай); 2) Хуткі рост плёнкі; 3) Непатрабавальны да матэрыялаў, могуць расці OX, нітрыды, металічныя затворы, аморфны вуглярод — усе яны; 4) Існуе сістэма маніторынгу на месцы, якая можа карэктаваць рэцэпт з дапамогай параметраў іонаў, хуткасці патоку газу, тэмпературы і таўшчыні плёнкі.
LPCVD — Тонкія плёнкі, атрыманыя метадам LPCVD, маюць лепшае пакрыццё ступені, добры кантроль складу і структуры, высокую хуткасць нанясення і прадукцыйнасць. Акрамя таго, LPCVD не патрабуе газу-носьбіта, таму значна памяншае крыніцу забруджвання часціцамі і шырока выкарыстоўваецца ў паўправадніковых галінах з высокай дабаўленай вартасцю для нанясення тонкіх плёнак.
Запрашаем кліентаў з усяго свету наведаць нас для далейшага абмеркавання!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Час публікацыі: 24 ліпеня 2024 г.