ڪيميائي بخارات جو جمع (سي وي ڊي) سلڪون جي مٿاڇري تي هڪ مضبوط فلم جمع ڪرڻ جي عمل کي ظاهر ڪري ٿوويفرگئس جي مرکب جي ڪيميائي رد عمل ذريعي. مختلف رد عمل جي حالتن (دٻاءُ، اڳواٽ) جي مطابق، ان کي مختلف سامان جي ماڊلز ۾ ورهائي سگهجي ٿو.
اهي ٻئي ڊوائيس ڪهڙي عمل لاءِ استعمال ٿين ٿا؟
پي اي سي وي ڊي(پلازما اينهانسڊ) سامان سڀ کان وڌيڪ ۽ عام طور تي استعمال ٿيندڙ آهي، جيڪو OX، نائٽرائڊ، ميٽل گيٽ، بيڪار ڪاربن، وغيره ۾ استعمال ٿيندو آهي؛ LPCVD (گهٽ پاور) عام طور تي نائٽرائڊ، پولي، TEOS ۾ استعمال ٿيندو آهي.
اصول ڇا آهي؟
PECVD - هڪ اهڙو عمل جيڪو پلازما توانائي ۽ CVD کي مڪمل طور تي گڏ ڪري ٿو. PECVD ٽيڪنالاجي گهٽ دٻاءُ هيٺ پروسيس چيمبر (يعني نموني ٽري) جي ڪيٿوڊ تي چمڪ خارج ڪرڻ لاءِ گهٽ درجه حرارت واري پلازما استعمال ڪري ٿي. هي چمڪ خارج ڪرڻ يا ٻيو گرم ڪرڻ وارو اوزار نموني جي گرمي پد کي هڪ مقرر ڪيل سطح تائين وڌائي سگهي ٿو، ۽ پوءِ پروسيس گئس جي ڪنٽرول ٿيل مقدار متعارف ڪرائي سگهي ٿو. هي گئس ڪيميائي ۽ پلازما رد عملن جي هڪ سلسلي مان گذري ٿي، ۽ آخرڪار نموني جي مٿاڇري تي هڪ مضبوط فلم ٺاهي ٿي.
LPCVD - گھٽ دٻاءُ واري ڪيميائي وانپ جمع (LPCVD) کي ري ايڪٽر ۾ رد عمل واري گئس جي آپريٽنگ دٻاءُ کي تقريباً 133Pa يا گهٽ ڪرڻ لاءِ ٺاهيو ويو آهي.
هر هڪ جون خاصيتون ڇا آهن؟
PECVD - هڪ اهڙو عمل جيڪو پلازما توانائي ۽ CVD کي مڪمل طور تي گڏ ڪري ٿو: 1) گهٽ درجه حرارت تي آپريشن (سامان کي تيز درجه حرارت جي نقصان کان بچڻ)؛ 2) تيز فلم جي واڌ؛ 3) مواد جي باري ۾ چنبڙيل نه هجڻ، OX، نائٽرائڊ، ڌاتو گيٽ، بي شڪل ڪاربان سڀ وڌي سگهن ٿا؛ 4) هڪ ان-سيٽو مانيٽرنگ سسٽم آهي، جيڪو آئن پيرا ميٽرز، گئس جي وهڪري جي شرح، گرمي پد ۽ فلم جي ٿلهي ذريعي ترڪيب کي ترتيب ڏئي سگهي ٿو.
LPCVD - LPCVD پاران جمع ڪيل پتلي فلمن ۾ بهتر قدم ڪوريج، سٺي ساخت ۽ ساخت جو ڪنٽرول، اعليٰ جمع ڪرڻ جي شرح ۽ پيداوار هوندي. ان کان علاوه، LPCVD کي ڪيريئر گيس جي ضرورت ناهي، تنهن ڪري اهو ذرڙن جي آلودگي جي ذريعن کي تمام گهڻو گهٽائي ٿو ۽ پتلي فلم جمع ڪرڻ لاءِ اعليٰ قدر شامل ڪيل سيمي ڪنڊڪٽر صنعتن ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندو آهي.
وڌيڪ بحث لاءِ اسان وٽ اچڻ لاءِ دنيا جي ڪنهن به گراهڪ کي ڀليڪار!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
پوسٽ جو وقت: جولاءِ-24-2024