ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ (ਸੀਵੀਡੀ) ਇੱਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇੱਕ ਠੋਸ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈਵੇਫਰਗੈਸ ਮਿਸ਼ਰਣ ਦੀ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਰਾਹੀਂ। ਵੱਖ-ਵੱਖ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਸਥਿਤੀਆਂ (ਦਬਾਅ, ਪੂਰਵਗਾਮੀ) ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ, ਇਸਨੂੰ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਉਪਕਰਣ ਮਾਡਲਾਂ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਇਹ ਦੋਵੇਂ ਯੰਤਰ ਕਿਹੜੀਆਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਲਈ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ?
ਪੀਈਸੀਵੀਡੀ(ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਨਹਾਂਸਡ) ਉਪਕਰਣ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਅਤੇ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ OX, ਨਾਈਟ੍ਰਾਈਡ, ਮੈਟਲ ਗੇਟ, ਅਮੋਰਫਸ ਕਾਰਬਨ, ਆਦਿ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ; LPCVD (ਘੱਟ ਪਾਵਰ) ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਨਾਈਟ੍ਰਾਈਡ, ਪੌਲੀ, TEOS ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਸਿਧਾਂਤ ਕੀ ਹੈ?
PECVD - ਇੱਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਜੋ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਊਰਜਾ ਅਤੇ CVD ਨੂੰ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਜੋੜਦੀ ਹੈ। PECVD ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਘੱਟ ਦਬਾਅ ਹੇਠ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਚੈਂਬਰ (ਭਾਵ, ਨਮੂਨਾ ਟ੍ਰੇ) ਦੇ ਕੈਥੋਡ 'ਤੇ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਨੂੰ ਪ੍ਰੇਰਿਤ ਕਰਨ ਲਈ ਘੱਟ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਜਾਂ ਹੋਰ ਹੀਟਿੰਗ ਡਿਵਾਈਸ ਨਮੂਨੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ ਇੱਕ ਪੂਰਵ-ਨਿਰਧਾਰਤ ਪੱਧਰ ਤੱਕ ਵਧਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗੈਸ ਦੀ ਇੱਕ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਮਾਤਰਾ ਨੂੰ ਪੇਸ਼ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਗੈਸ ਰਸਾਇਣਕ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਲੜੀ ਵਿੱਚੋਂ ਗੁਜ਼ਰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਅੰਤ ਵਿੱਚ ਨਮੂਨੇ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇੱਕ ਠੋਸ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।
LPCVD - ਘੱਟ-ਦਬਾਅ ਵਾਲਾ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ (LPCVD) ਰਿਐਕਟਰ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਦੇ ਸੰਚਾਲਨ ਦਬਾਅ ਨੂੰ ਲਗਭਗ 133Pa ਜਾਂ ਘੱਟ ਤੱਕ ਘਟਾਉਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ।
ਹਰੇਕ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਕੀ ਹਨ?
PECVD - ਇੱਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਜੋ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਊਰਜਾ ਅਤੇ CVD ਨੂੰ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਜੋੜਦੀ ਹੈ: 1) ਘੱਟ-ਤਾਪਮਾਨ ਦਾ ਸੰਚਾਲਨ (ਉਪਕਰਨਾਂ ਨੂੰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਤੋਂ ਬਚਣਾ); 2) ਤੇਜ਼ ਫਿਲਮ ਵਾਧਾ; 3) ਸਮੱਗਰੀ ਬਾਰੇ ਚੋਣਵੇਂ ਨਾ ਹੋਣ ਕਰਕੇ, OX, ਨਾਈਟ੍ਰਾਈਡ, ਧਾਤ ਦਾ ਗੇਟ, ਅਮੋਰਫਸ ਕਾਰਬਨ ਸਾਰੇ ਵਧ ਸਕਦੇ ਹਨ; 4) ਇੱਕ ਇਨ-ਸੀਟੂ ਨਿਗਰਾਨੀ ਪ੍ਰਣਾਲੀ ਹੈ, ਜੋ ਆਇਨ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ, ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ, ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਦੁਆਰਾ ਵਿਅੰਜਨ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।
LPCVD - LPCVD ਦੁਆਰਾ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤੀਆਂ ਗਈਆਂ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਵਿੱਚ ਬਿਹਤਰ ਸਟੈਪ ਕਵਰੇਜ, ਵਧੀਆ ਰਚਨਾ ਅਤੇ ਬਣਤਰ ਨਿਯੰਤਰਣ, ਉੱਚ ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ ਅਤੇ ਆਉਟਪੁੱਟ ਹੋਵੇਗਾ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, LPCVD ਨੂੰ ਕੈਰੀਅਰ ਗੈਸ ਦੀ ਲੋੜ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਇਹ ਕਣ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਦੇ ਸਰੋਤ ਨੂੰ ਬਹੁਤ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਲਈ ਉੱਚ ਮੁੱਲ-ਵਰਧਿਤ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਦੁਨੀਆ ਭਰ ਦੇ ਕਿਸੇ ਵੀ ਗਾਹਕ ਦਾ ਹੋਰ ਚਰਚਾ ਲਈ ਸਾਡੇ ਕੋਲ ਆਉਣ ਲਈ ਸਵਾਗਤ ਹੈ!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਜੁਲਾਈ-24-2024