रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) सिलिकॉन की सतह पर एक ठोस फिल्म जमा करने की प्रक्रिया को संदर्भित करता हैवफ़रगैस मिश्रण की रासायनिक प्रतिक्रिया के माध्यम से। विभिन्न प्रतिक्रिया स्थितियों (दबाव, अग्रदूत) के अनुसार, इसे विभिन्न उपकरण मॉडल में विभाजित किया जा सकता है।
इन दोनों उपकरणों का उपयोग किन प्रक्रियाओं के लिए किया जाता है?
पीईसीवीडी(प्लाज्मा संवर्धित) उपकरण सबसे अधिक संख्या में तथा सबसे अधिक प्रयोग में आने वाला उपकरण है, जिसका उपयोग ओएक्स, नाइट्राइड, मेटल गेट, अनाकार कार्बन आदि में किया जाता है; एलपीसीवीडी (निम्न शक्ति) का प्रयोग आमतौर पर नाइट्राइड, पॉली, टीईओएस में किया जाता है।
सिद्धांत क्या है?
PECVD- एक ऐसी प्रक्रिया जो प्लाज्मा ऊर्जा और CVD को पूरी तरह से जोड़ती है। PECVD तकनीक कम दबाव में प्रक्रिया कक्ष (यानी, नमूना ट्रे) के कैथोड पर चमक निर्वहन को प्रेरित करने के लिए कम तापमान वाले प्लाज्मा का उपयोग करती है। यह चमक निर्वहन या अन्य हीटिंग डिवाइस नमूने के तापमान को पूर्व निर्धारित स्तर तक बढ़ा सकता है, और फिर प्रक्रिया गैस की एक नियंत्रित मात्रा पेश कर सकता है। यह गैस रासायनिक और प्लाज्मा प्रतिक्रियाओं की एक श्रृंखला से गुजरती है, और अंत में नमूने की सतह पर एक ठोस फिल्म बनाती है।
एलपीसीवीडी - निम्न-दबाव रासायनिक वाष्प निक्षेपण (एलपीसीवीडी) को रिएक्टर में प्रतिक्रिया गैस के परिचालन दबाव को लगभग 133Pa या उससे कम करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।
प्रत्येक की विशेषताएँ क्या हैं?
पीईसीवीडी - एक प्रक्रिया जो प्लाज्मा ऊर्जा और सीवीडी को पूरी तरह से जोड़ती है: 1) कम तापमान संचालन (उपकरण को उच्च तापमान क्षति से बचाना); 2) तेजी से फिल्म विकास; 3) सामग्री के बारे में नहीं चुनना, ओएक्स, नाइट्राइड, धातु गेट, अनाकार कार्बन सभी बढ़ सकते हैं; 4) एक इन-सीटू निगरानी प्रणाली है, जो आयन मापदंडों, गैस प्रवाह दर, तापमान और फिल्म की मोटाई के माध्यम से नुस्खा को समायोजित कर सकती है।
एलपीसीवीडी - एलपीसीवीडी द्वारा जमा की गई पतली फिल्मों में बेहतर चरण कवरेज, अच्छी संरचना और संरचना नियंत्रण, उच्च जमाव दर और आउटपुट होगा। इसके अलावा, एलपीसीवीडी को वाहक गैस की आवश्यकता नहीं होती है, इसलिए यह कण प्रदूषण के स्रोत को बहुत कम कर देता है और पतली फिल्म जमाव के लिए उच्च मूल्य वर्धित अर्धचालक उद्योगों में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।
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पोस्ट करने का समय: जुलाई-24-2024