Gemyske dampôfsetting (CVD) ferwiist nei it proses fan it ôfsetten fan in fêste film op it oerflak fan in silisiumwafeltroch in gemyske reaksje fan in gasmingsel. Neffens de ferskillende reaksjebetingsten (druk, foarrinner) kin it wurde ferdield yn ferskate apparatuermodellen.
Foar hokker prosessen wurde dizze twa apparaten brûkt?
PECVD(Plasma Enhanced) apparatuer is it meast talryk en it meast brûkt, brûkt yn OX, nitride, metalen poarten, amorfe koalstof, ensfh.; LPCVD (Low Power) wurdt meast brûkt yn nitride, poly, TEOS.
Wat is it prinsipe?
PECVD - in proses dat plasma-enerzjy en CVD perfekt kombinearret. PECVD-technology brûkt leechtemperatuerplasma om gloei-ûntlading te indusearjen by de katode fan 'e proseskeamer (d.w.s. de stekproeflade) ûnder lege druk. Dizze gloei-ûntlading of oar ferwaarmingsapparaat kin de temperatuer fan it stekproef ferheegje nei in foarôf bepaald nivo, en dan in kontroleare hoemannichte prosesgas ynfiere. Dit gas ûndergiet in searje gemyske en plasmareaksjes, en foarmet úteinlik in fêste film op it oerflak fan it stekproef.
LPCVD - Leechdruk gemyske dampôfsetting (LPCVD) is ûntworpen om de wurkdruk fan it reaksjegas yn 'e reaktor te ferminderjen nei sawat 133 Pa of minder.
Wat binne de skaaimerken fan elk?
PECVD - In proses dat plasma-enerzjy en CVD perfekt kombinearret: 1) Leechtemperatueroperaasje (foarkomt skea oan 'e apparatuer troch hege temperatuer); 2) Snelle filmgroei; 3) Net kieskeurich oer materialen, OX, nitride, metalen poarte, amorfe koalstof kinne allegear groeie; 4) Der is in in-situ monitoringsysteem, dat it resept oanpasse kin fia ionparameters, gasstreamsnelheid, temperatuer en filmdikte.
LPCVD - Tinne films dy't troch LPCVD ôfset wurde, sille in bettere stapdekking hawwe, goede gearstalling en struktuerkontrôle, in hege ôfsettingssnelheid en útfier. Derneist hat LPCVD gjin dragergas nedich, sadat it de boarne fan dieltsjefersmoarging sterk ferminderet en in soad brûkt wurdt yn healgeleideryndustryen mei hege wearde-tafoege foar tinne filmôfsetting.
Wolkom alle klanten fan oer de hiele wrâld om ús te besykjen foar in fierdere diskusje!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Pleatsingstiid: 24 july 2024