Depozisyon chimik vapè (Maladi Kadyovaskilè (MKV)) refere a pwosesis pou depoze yon fim solid sou sifas yon silikonwaflètatravè yon reyaksyon chimik nan yon melanj gaz. Selon diferan kondisyon reyaksyon yo (presyon, prekisè), li ka divize an plizyè modèl ekipman.
Pou ki pwosesis yo itilize de aparèy sa yo?
PECVDEkipman (Plasma Enhanced) se pi anpil la epi pi souvan itilize a, yo itilize li nan OX, Nitride, pòtay metal, kabòn amorf, elatriye; LPCVD (Low Power) anjeneral yo itilize nan Nitride, poli, TEOS.
Ki prensip la?
PECVD - yon pwosesis ki konbine enèji plasma ak CVD parfe. Teknoloji PECVD a itilize plasma nan tanperati ki ba pou pwovoke yon egzeyat lumineux nan katod chanm pwosesis la (sa vle di, plato echantiyon an) anba yon presyon ki ba. Egzeyat lumineux sa a oswa lòt aparèy chofaj ka ogmante tanperati echantiyon an nan yon nivo predetèmine, epi answit entwodui yon kantite kontwole gaz pwosesis. Gaz sa a sibi yon seri reyaksyon chimik ak plasma, epi finalman fòme yon fim solid sou sifas echantiyon an.
LPCVD - Depozisyon chimik vapè anba presyon (LPCVD) fèt pou diminye presyon fonksyònman gaz reyaksyon an nan reaktè a a anviwon 133Pa oubyen mwens.
Ki karakteristik chak genyen?
PECVD - Yon pwosesis ki konbine enèji plasma ak CVD parfe: 1) Operasyon nan tanperati ki ba (pou evite domaj nan ekipman an akoz tanperati ki wo); 2) Kwasans fim rapid; 3) Pa gen chwa difisil sou materyèl yo, OX, nitrid, pòtay metal, kabòn amorf ka grandi; 4) Gen yon sistèm siveyans in-situ, ki ka ajiste resèt la atravè paramèt iyon, to koule gaz, tanperati ak epesè fim.
LPCVD - Fim mens ki depoze pa LPCVD yo pral gen pi bon kouvèti etap, bon kontwòl konpozisyon ak estrikti, gwo pousantaj depo ak pwodiksyon. Anplis de sa, LPCVD pa bezwen gaz transpòtè, kidonk li diminye anpil sous polisyon patikil epi li lajman itilize nan endistri semi-kondiktè ki gen gwo valè ajoute pou depo fim mens.
Byenveni nenpòt kliyan ki soti toupatou nan mond lan pou vizite nou pou yon diskisyon pi lwen!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Lè piblikasyon an: 24 Jiyè 2024