Cad é an difríocht idir PECVD agus LPCVD i dtrealamh CVD leathsheoltóra?

Taisceadh gaile ceimiceach (CVD) tagraíonn sé don phróiseas ina ndéantar scannán soladach a thaisceadh ar dhromchla sileacainvaiféaltrí imoibriú ceimiceach meascán gáis. De réir na ndálaí imoibrithe éagsúla (brú, réamhtheachtaí), is féidir é a roinnt ina mhúnlaí trealaimh éagsúla.

Cén próiseas a úsáidtear an dá fheiste seo ina leith?

PECVDIs é an trealamh (Feabhsaithe Plasma) an trealamh is líonmhaire agus is coitianta a úsáidtear, agus úsáidtear é in OX, níotráit, geata miotail, carbón éagruthach, etc.; úsáidtear LPCVD (Ísealchumhacht) de ghnáth i níotráit, polai, TEOS.
Cad é an prionsabal?
PECVD - próiseas a chomhcheanglaíonn fuinneamh plasma agus CVD go foirfe. Úsáideann teicneolaíocht PECVD plasma ísealteochta chun urscaoileadh lonrach a spreagadh ag catóid an tseomra phróisis (i.e., tráidire an tsampla) faoi bhrú íseal. Is féidir leis an urscaoileadh lonrach seo nó le gléas téimh eile teocht an tsampla a ardú go leibhéal réamhshocraithe, agus ansin méid rialaithe de ghás próisis a thabhairt isteach. Téann an gás seo faoi shraith imoibrithe ceimiceacha agus plasma, agus ar deireadh cruthaíonn sé scannán soladach ar dhromchla an tsampla.

LPCVD - Tá taisceadh gaile ceimiceach ísealbhrú (LPCVD) deartha chun brú oibriúcháin an gháis imoibrithe san imoibritheoir a laghdú go dtí thart ar 133Pa nó níos lú.

Cad iad tréithe gach ceann acu?

PECVD - Próiseas a chomhcheanglaíonn fuinneamh plasma agus CVD go foirfe: 1) Oibriú ísealteochta (ag seachaint damáiste ardteochta don trealamh); 2) Fás tapa scannáin; 3) Gan a bheith roghnach faoi ábhair, is féidir le OX, níotráit, geata miotail, agus carbón neamhchruthach fás; 4) Tá córas monatóireachta in-situ ann, ar féidir leis an oideas a choigeartú trí pharaiméadair ian, ráta sreafa gáis, teocht agus tiús scannáin.
LPCVD - Beidh clúdach céime níos fearr, rialú maith ar chomhdhéanamh agus struchtúr, ráta agus aschur ard taiscthe ag scannáin thanaí a thaisctear le LPCVD. Ina theannta sin, ní gá gás iompróra do LPCVD, mar sin laghdaíonn sé foinse truaillithe cáithníní go mór agus úsáidtear go forleathan é i dtionscail leathsheoltóra ardluacha le haghaidh taiscthe scannán tanaí.

 

Fáilte roimh aon chustaiméirí ó gach cearn den domhan cuairt a thabhairt orainn le haghaidh tuilleadh plé!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/