Déposisi uap kimiawi (CVD (Panyakit Jantung jeung Lambung)) nujul kana prosés neundeun pilem padet dina beungeut silikonwaferngaliwatan réaksi kimia campuran gas. Numutkeun kaayaan réaksi anu béda-béda (tekanan, prékursor), éta tiasa dibagi kana rupa-rupa modél peralatan.
Pikeun prosés naon waé dua alat ieu dianggo?
PECVDPakakas (Plasma Enhanced) nyaéta anu pang lobana sareng paling umum dianggo, dianggo dina OX, Nitrida, gerbang logam, karbon amorf, jsb.; LPCVD (Low Power) biasana dianggo dina Nitrida, poli, TEOS.
Naon prinsipna?
PECVD-prosés anu ngagabungkeun énergi plasma sareng CVD sacara sampurna. Téhnologi PECVD nganggo plasma suhu handap pikeun ngainduksi pelepasan cahaya dina katoda ruang prosés (nyaéta, baki sampel) dina tekanan handap. Pelepasan cahaya ieu atanapi alat pemanasan anu sanés tiasa naékkeun suhu sampel kana tingkat anu ditangtukeun, teras ngenalkeun jumlah gas prosés anu dikontrol. Gas ieu ngalaman runtuyan réaksi kimia sareng plasma, sareng pamustunganana ngabentuk pilem padet dina permukaan sampel.
LPCVD - Déposisi uap kimia tekanan rendah (LPCVD) dirancang pikeun ngirangan tekanan operasi gas réaksi dina réaktor janten sakitar 133Pa atanapi kirang.
Naon ciri-ciri masing-masing?
PECVD - Prosés anu ngagabungkeun énergi plasma sareng CVD sacara sampurna: 1) Operasi suhu rendah (ngahindarkeun karusakan alat tina suhu anu luhur); 2) Tumuwuhna pilem gancang; 3) Henteu pilih-pilih ngeunaan bahan, OX, Nitrida, gerbang logam, karbon amorf sadayana tiasa tumuh; 4) Aya sistem pemantauan in-situ, anu tiasa nyaluyukeun resep ngalangkungan parameter ion, laju aliran gas, suhu sareng ketebalan pilem.
LPCVD - Pilem ipis anu diendapkeun ku LPCVD bakal ngagaduhan panutup léngkah anu langkung saé, kontrol komposisi sareng struktur anu saé, laju déposisi sareng kaluaran anu luhur. Salian ti éta, LPCVD henteu meryogikeun gas pembawa, janten éta ngirangan pisan sumber polusi partikel sareng seueur dianggo dina industri semikonduktor nilai tambah anu luhur pikeun déposisi pilem ipis.
Wilujeng sumping ka para nasabah ti sakumna dunya pikeun nganjang ka kami kanggo diskusi salajengna!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Waktos posting: 24-Jul-2024