ಅರೆವಾಹಕ CVD ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ PECVD ಮತ್ತು LPCVD ನಡುವಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸವೇನು?

ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (ಸಿವಿಡಿ) ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈ ಮೇಲೆ ಘನ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆವೇಫರ್ಅನಿಲ ಮಿಶ್ರಣದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಯ ಮೂಲಕ. ವಿಭಿನ್ನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳ ಪ್ರಕಾರ (ಒತ್ತಡ, ಪೂರ್ವಗಾಮಿ), ಇದನ್ನು ವಿವಿಧ ಸಲಕರಣೆ ಮಾದರಿಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು.

ಈ ಎರಡು ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಯಾವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ?

ಪಿಇಸಿವಿಡಿ(ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವರ್ಧಿತ) ಉಪಕರಣಗಳು ಅತಿ ಹೆಚ್ಚು ಮತ್ತು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲ್ಪಡುತ್ತವೆ, ಇದನ್ನು OX, ನೈಟ್ರೈಡ್, ಲೋಹದ ಗೇಟ್, ಅಸ್ಫಾಟಿಕ ಇಂಗಾಲ, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ; LPCVD (ಕಡಿಮೆ ಶಕ್ತಿ) ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ನೈಟ್ರೈಡ್, ಪಾಲಿ, TEOS ನಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ತತ್ವವೇನು?
PECVD - ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು CVD ಯನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ. PECVD ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಕೊಠಡಿಯ ಕ್ಯಾಥೋಡ್‌ನಲ್ಲಿ (ಅಂದರೆ, ಮಾದರಿ ಟ್ರೇ) ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಅನ್ನು ಪ್ರೇರೇಪಿಸಲು ಕಡಿಮೆ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಈ ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಅಥವಾ ಇತರ ತಾಪನ ಸಾಧನವು ಮಾದರಿಯ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಪೂರ್ವನಿರ್ಧರಿತ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ನಂತರ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪ್ರಮಾಣದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅನಿಲವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಬಹುದು. ಈ ಅನಿಲವು ರಾಸಾಯನಿಕ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳ ಸರಣಿಗೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಮಾದರಿಯ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಘನ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ.

LPCVD - ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (LPCVD) ರಿಯಾಕ್ಟರ್‌ನಲ್ಲಿನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಅನಿಲದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಸುಮಾರು 133Pa ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ.

ಪ್ರತಿಯೊಂದರ ಲಕ್ಷಣಗಳು ಯಾವುವು?

PECVD - ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು CVD ಯನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ: 1) ಕಡಿಮೆ-ತಾಪಮಾನದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ (ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಹಾನಿಯನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುವುದು); 2) ವೇಗದ ಫಿಲ್ಮ್ ಬೆಳವಣಿಗೆ; 3) ವಸ್ತುಗಳ ಬಗ್ಗೆ ಸುಲಭವಾಗಿ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡದಿರುವುದು, OX, ನೈಟ್ರೈಡ್, ಲೋಹದ ಗೇಟ್, ಅಸ್ಫಾಟಿಕ ಇಂಗಾಲ ಎಲ್ಲವೂ ಬೆಳೆಯಬಹುದು; 4) ಅಯಾನು ನಿಯತಾಂಕಗಳು, ಅನಿಲ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ, ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪದ ಮೂಲಕ ಪಾಕವಿಧಾನವನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದಾದ ಇನ್-ಸಿಟು ಮಾನಿಟರಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆ ಇದೆ.
LPCVD - LPCVD ಯಿಂದ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲಾದ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು ಉತ್ತಮ ಹಂತದ ವ್ಯಾಪ್ತಿ, ಉತ್ತಮ ಸಂಯೋಜನೆ ಮತ್ತು ರಚನೆ ನಿಯಂತ್ರಣ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶೇಖರಣಾ ದರ ಮತ್ತು ಔಟ್‌ಪುಟ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, LPCVD ಗೆ ವಾಹಕ ಅನಿಲದ ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲ, ಆದ್ದರಿಂದ ಇದು ಕಣ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಮೂಲವನ್ನು ಬಹಳವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮೌಲ್ಯವರ್ಧಿತ ಅರೆವಾಹಕ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.