रासायनिक बाष्प निक्षेपण (सीव्हीडी) सिलिकॉनच्या पृष्ठभागावर एक घन थर जमा करण्याच्या प्रक्रियेला सूचित करतेवेफरवायू मिश्रणाच्या रासायनिक अभिक्रियेद्वारे. वेगवेगळ्या अभिक्रिया परिस्थितीनुसार (दाब, पूर्वगामी घटक), याला विविध उपकरण मॉडेल्समध्ये विभागले जाऊ शकते.
या दोन उपकरणांचा वापर कोणत्या प्रक्रियांसाठी केला जातो?
पीईसीव्हीडी(प्लाझ्मा एन्हांस्ड) उपकरणे ही सर्वात जास्त संख्येने आणि सामान्यतः वापरली जातात, जी OX, नायट्राइड, मेटल गेट, अमॉर्फस कार्बन इत्यादींमध्ये वापरली जातात; LPCVD (लो पॉवर) सहसा नायट्राइड, पॉली, TEOS मध्ये वापरले जाते.
तत्व काय आहे?
PECVD - प्लाझ्मा ऊर्जा आणि CVD यांचे उत्तम संयोजन करणारी एक प्रक्रिया. PECVD तंत्रज्ञानामध्ये, कमी दाबाखाली प्रक्रिया कक्षाच्या (म्हणजेच, सॅम्पल ट्रेच्या) कॅथोडवर कमी-तापमानाच्या प्लाझ्माद्वारे ग्लो डिस्चार्ज प्रेरित केला जातो. हा ग्लो डिस्चार्ज किंवा इतर उष्णता देणारे उपकरण नमुन्याचे तापमान एका पूर्वनिश्चित पातळीपर्यंत वाढवते आणि नंतर नियंत्रित प्रमाणात प्रक्रिया वायू आत सोडते. हा वायू अनेक रासायनिक आणि प्लाझ्मा अभिक्रियांमधून जातो आणि शेवटी नमुन्याच्या पृष्ठभागावर एक घन थर तयार करतो.
एलपीसीव्हीडी - कमी-दाबाचे रासायनिक बाष्प निक्षेपण (एलपीसीव्हीडी) हे रिॲक्टरमधील अभिक्रिया वायूचा कार्यकारी दाब सुमारे 133Pa किंवा त्याहून कमी करण्यासाठी तयार केले आहे.
प्रत्येकाची वैशिष्ट्ये कोणती आहेत?
PECVD - प्लाझ्मा ऊर्जा आणि CVD यांचे उत्तम संयोजन करणारी एक प्रक्रिया: १) कमी तापमानात कार्य (उपकरणांना उच्च तापमानामुळे होणारे नुकसान टाळते); २) फिल्मची जलद वाढ; ३) कोणत्याही विशिष्ट सामग्रीबद्दल निवडक नाही, OX, नायट्राइड, मेटल गेट, अमॉर्फस कार्बन या सर्वांवर वाढ होऊ शकते; ४) यात एक इन-सिटू मॉनिटरिंग सिस्टीम आहे, जी आयन पॅरामीटर्स, गॅस फ्लो रेट, तापमान आणि फिल्मच्या जाडीद्वारे रेसिपी समायोजित करू शकते.
एलपीसीव्हीडी - एलपीसीव्हीडीद्वारे जमा केलेल्या पातळ थरांमध्ये उत्तम स्टेप कव्हरेज, चांगले कंपोझिशन आणि स्ट्रक्चर नियंत्रण, उच्च डिपॉझिशन दर आणि आउटपुट असते. याव्यतिरिक्त, एलपीसीव्हीडीला कॅरियर गॅसची आवश्यकता नसते, त्यामुळे ते कण प्रदूषणाचा स्रोत मोठ्या प्रमाणात कमी करते आणि उच्च मूल्यवर्धित सेमीकंडक्टर उद्योगांमध्ये पातळ थर जमा करण्यासाठी याचा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो.
पुढील चर्चेसाठी जगभरातील सर्व ग्राहकांचे आमच्याकडे स्वागत आहे!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
पोस्ट करण्याची वेळ: जुलै-२४-२०२४