सेमीकंडक्टर सीव्हीडी उपकरणांमध्ये पीईसीव्हीडी आणि एलपीसीव्हीडीमध्ये काय फरक आहे?

रासायनिक बाष्प निक्षेपण (सीव्हीडी) म्हणजे सिलिकॉनच्या पृष्ठभागावर घन थर जमा होण्याची प्रक्रिया.वेफरवायू मिश्रणाच्या रासायनिक अभिक्रियेद्वारे. वेगवेगळ्या अभिक्रिया परिस्थितींनुसार (दाब, पूर्वसूचक), ते विविध उपकरण मॉडेल्समध्ये विभागले जाऊ शकते.

ही दोन्ही उपकरणे कोणत्या प्रक्रियांसाठी वापरली जातात?

पीईसीव्हीडी(प्लाझ्मा एन्हांस्ड) उपकरणे ही सर्वात जास्त आणि सामान्यतः वापरली जाणारी उपकरणे आहेत, जी OX, नायट्राइड, मेटल गेट, अमॉर्फस कार्बन इत्यादींमध्ये वापरली जातात; LPCVD (लो पॉवर) सहसा नायट्राइड, पॉली, TEOS मध्ये वापरली जाते.
तत्व काय आहे?
PECVD - प्लाझ्मा ऊर्जा आणि CVD ला परिपूर्णपणे एकत्रित करणारी प्रक्रिया. PECVD तंत्रज्ञान कमी दाबाने प्रक्रिया कक्षातील कॅथोडवर (म्हणजेच, नमुना ट्रे) ग्लो डिस्चार्ज प्रेरित करण्यासाठी कमी-तापमानाच्या प्लाझ्माचा वापर करते. हे ग्लो डिस्चार्ज किंवा इतर हीटिंग डिव्हाइस नमुन्याचे तापमान पूर्वनिर्धारित पातळीपर्यंत वाढवू शकते आणि नंतर नियंत्रित प्रमाणात प्रक्रिया वायू आणू शकते. हा वायू रासायनिक आणि प्लाझ्मा प्रतिक्रियांच्या मालिकेतून जातो आणि शेवटी नमुन्याच्या पृष्ठभागावर एक घन थर तयार करतो.

LPCVD - कमी दाबाचे रासायनिक वाष्प निक्षेपण (LPCVD) हे अणुभट्टीतील अभिक्रिया वायूचा ऑपरेटिंग दाब सुमारे १३३Pa किंवा त्यापेक्षा कमी करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे.

प्रत्येकाची वैशिष्ट्ये काय आहेत?

PECVD - प्लाझ्मा ऊर्जा आणि CVD यांना उत्तम प्रकारे एकत्रित करणारी प्रक्रिया: १) कमी-तापमानाचे ऑपरेशन (उपकरणांना उच्च तापमानाचे नुकसान टाळणे); २) जलद फिल्म वाढ; ३) पदार्थांबद्दल निवडक नसल्यामुळे, OX, नायट्राइड, मेटल गेट, अनाकार कार्बन हे सर्व वाढू शकतात; ४) एक इन-सीटू मॉनिटरिंग सिस्टम आहे, जी आयन पॅरामीटर्स, गॅस फ्लो रेट, तापमान आणि फिल्म जाडीद्वारे रेसिपी समायोजित करू शकते.
LPCVD - LPCVD द्वारे जमा केलेल्या पातळ फिल्म्समध्ये चांगले स्टेप कव्हरेज, चांगले रचना आणि संरचना नियंत्रण, उच्च निक्षेपण दर आणि आउटपुट असेल. याव्यतिरिक्त, LPCVD ला वाहक वायूची आवश्यकता नसते, म्हणून ते कण प्रदूषणाचे स्रोत मोठ्या प्रमाणात कमी करते आणि पातळ फिल्म निक्षेपणासाठी उच्च मूल्यवर्धित अर्धसंवाहक उद्योगांमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरले जाते.

 

पुढील चर्चेसाठी जगभरातील कोणत्याही ग्राहकांना आमच्याकडे येण्याचे स्वागत आहे!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/