Depożizzjoni kimika tal-fwar (CVD) tirreferi għall-proċess ta' depożitu ta' film solidu fuq il-wiċċ ta' silikonwejferpermezz ta' reazzjoni kimika ta' taħlita ta' gass. Skont il-kundizzjonijiet differenti ta' reazzjoni (pressjoni, prekursur), jista' jinqasam f'diversi mudelli ta' tagħmir.
Għal liema proċessi jintużaw dawn iż-żewġ apparati?
PECVDIt-tagħmir (Plasma Enhanced) huwa l-aktar numeruż u l-aktar użat komunement, użat f'OX, Nitrur, metal gate, karbonju amorfu, eċċ.; LPCVD (Low Power) ġeneralment jintuża f'Nitrur, poly, TEOS.
X'inhu l-prinċipju?
PECVD - proċess li jikkombina perfettament l-enerġija tal-plażma u s-CVD. It-teknoloġija PECVD tuża plażma f'temperatura baxxa biex tinduċi skariku tad-dawl fil-katodu tal-kamra tal-proċess (jiġifieri, it-trej tal-kampjun) taħt pressjoni baxxa. Dan l-iskariku tad-dawl jew apparat ieħor ta' tisħin jista' jgħolli t-temperatura tal-kampjun għal livell predeterminat, u mbagħad jintroduċi ammont ikkontrollat ta' gass tal-proċess. Dan il-gass jgħaddi minn serje ta' reazzjonijiet kimiċi u tal-plażma, u fl-aħħar jifforma film solidu fuq il-wiċċ tal-kampjun.
LPCVD - Id-depożizzjoni kimika tal-fwar bi pressjoni baxxa (LPCVD) hija mfassla biex tnaqqas il-pressjoni operattiva tal-gass tar-reazzjoni fir-reattur għal madwar 133Pa jew inqas.
X'inhuma l-karatteristiċi ta' kull wieħed?
PECVD - Proċess li jikkombina perfettament l-enerġija tal-plażma u s-CVD: 1) Tħaddim f'temperatura baxxa (li jevita ħsara lit-tagħmir minn temperatura għolja); 2) Tkabbir mgħaġġel tal-film; 3) Mhux selettiv dwar il-materjali, OX, Nitrur, metal gate, karbonju amorfu jistgħu jikbru kollha; 4) Hemm sistema ta' monitoraġġ in situ, li tista' taġġusta r-riċetta permezz ta' parametri tal-joni, rata tal-fluss tal-gass, temperatura u ħxuna tal-film.
LPCVD - Films irqaq depożitati permezz ta' LPCVD se jkollhom kopertura aħjar tal-passi, kontroll tajjeb tal-kompożizzjoni u l-istruttura, rata għolja ta' depożizzjoni u output. Barra minn hekk, LPCVD ma jeħtieġx gass trasportatur, għalhekk inaqqas ħafna s-sors tat-tniġġis tal-partiċelli u jintuża ħafna f'industriji tas-semikondutturi b'valur miżjud għoli għad-depożizzjoni ta' film irqaq.
Merħba lil kwalunkwe klijent minn madwar id-dinja biex iżurna għal aktar diskussjoni!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Ħin tal-posta: 24 ta' Lulju 2024