តើអ្វីជាភាពខុសគ្នារវាង PECVD និង LPCVD នៅក្នុងឧបករណ៍ CVD ពាក់កណ្តាលសៀគ្វី?

ការដាក់ចំហាយគីមី (ជំងឺ CVD) សំដៅលើដំណើរការនៃការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តរឹងមួយនៅលើផ្ទៃនៃស៊ីលីកុននំវ៉ាហ្វើរតាមរយៈប្រតិកម្មគីមីនៃល្បាយឧស្ម័ន។ យោងទៅតាមលក្ខខណ្ឌប្រតិកម្មផ្សេងៗគ្នា (សម្ពាធ សារធាតុបឋម) វាអាចបែងចែកជាម៉ូដែលឧបករណ៍ផ្សេងៗ។

តើឧបករណ៍ទាំងពីរនេះត្រូវបានប្រើសម្រាប់ដំណើរការអ្វីខ្លះ?

PECVDឧបករណ៍ (ប្លាស្មាដែលប្រសើរឡើង) គឺជាឧបករណ៍ដែលមានច្រើនបំផុត និងប្រើប្រាស់ជាទូទៅបំផុត ដែលប្រើក្នុង OX, Nitride, ច្រកទ្វារដែក, កាបូនអាម៉ូហ្វុស ជាដើម។ ល។ LPCVD (ថាមពលទាប) ជាធម្មតាត្រូវបានប្រើក្នុង Nitride, poly, TEOS។
តើគោលការណ៍ជាអ្វី?
PECVD - ដំណើរការមួយដែលរួមបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះនូវថាមពលប្លាស្មា និង CVD។ បច្ចេកវិទ្យា PECVD ប្រើប្រាស់ប្លាស្មាសីតុណ្ហភាពទាបដើម្បីបង្កើតការបញ្ចេញពន្លឺនៅកាតូតនៃបន្ទប់ដំណើរការ (ឧ. ថាសសំណាក) ក្រោមសម្ពាធទាប។ ការបញ្ចេញពន្លឺនេះ ឬឧបករណ៍កំដៅផ្សេងទៀតអាចបង្កើនសីតុណ្ហភាពនៃសំណាកដល់កម្រិតដែលបានកំណត់ទុកជាមុន ហើយបន្ទាប់មកបញ្ចូលបរិមាណឧស្ម័នដំណើរការដែលបានគ្រប់គ្រង។ ឧស្ម័ននេះឆ្លងកាត់ប្រតិកម្មគីមី និងប្លាស្មាជាបន្តបន្ទាប់ ហើយចុងក្រោយបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តរឹងមួយនៅលើផ្ទៃនៃសំណាក។

LPCVD - ការដាក់ចំហាយគីមីសម្ពាធទាប (LPCVD) ត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីកាត់បន្ថយសម្ពាធប្រតិបត្តិការនៃឧស្ម័នប្រតិកម្មនៅក្នុងរ៉េអាក់ទ័រដល់ប្រហែល 133Pa ឬតិចជាងនេះ។

តើលក្ខណៈពិសេសនីមួយៗមានអ្វីខ្លះ?

PECVD - ដំណើរការមួយដែលរួមបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះនូវថាមពលប្លាស្មា និង CVD៖ ១) ប្រតិបត្តិការសីតុណ្ហភាពទាប (ជៀសវាងការខូចខាតដល់ឧបករណ៍នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់); ២) ការលូតលាស់ខ្សែភាពយន្តលឿន; ៣) មិនរើសអើងលើសម្ភារៈទេ OX, Nitride, ច្រកទ្វារដែក កាបូនអាម៉ូហ្វូសអាចលូតលាស់បានទាំងអស់; ៤) មានប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យនៅនឹងកន្លែង ដែលអាចកែតម្រូវរូបមន្តតាមរយៈប៉ារ៉ាម៉ែត្រអ៊ីយ៉ុង អត្រាលំហូរឧស្ម័ន សីតុណ្ហភាព និងកម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត។
LPCVD - ខ្សែភាពយន្តស្តើងៗដែលដាក់ដោយ LPCVD នឹងមានការគ្របដណ្តប់ជំហានកាន់តែប្រសើរ ការគ្រប់គ្រងសមាសភាព និងរចនាសម្ព័ន្ធល្អ អត្រាដាក់ និងទិន្នផលខ្ពស់។ លើសពីនេះ LPCVD មិនតម្រូវឱ្យមានឧស្ម័នផ្ទុកទេ ដូច្នេះវាកាត់បន្ថយប្រភពនៃការបំពុលភាគល្អិតយ៉ាងច្រើន ហើយត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រដែលមានតម្លៃបន្ថែមខ្ពស់សម្រាប់ការដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង។