রাসায়নিক বাষ্প জমা (সিভিডি) বলতে সিলিকনের পৃষ্ঠে একটি কঠিন আবরণ জমা করার প্রক্রিয়াকে বোঝায়ওয়েফারএকটি গ্যাস মিশ্রণের রাসায়নিক বিক্রিয়ার মাধ্যমে। বিভিন্ন বিক্রিয়ার অবস্থা (চাপ, পূর্বসূরী) অনুসারে, এটিকে বিভিন্ন সরঞ্জাম মডেলে ভাগ করা যেতে পারে।
এই দুটি ডিভাইস কোন প্রক্রিয়ার জন্য ব্যবহৃত হয়?
পিইসিভিডি(প্লাজমা বর্ধিত) সরঞ্জামগুলি সর্বাধিক এবং সর্বাধিক ব্যবহৃত হয়, যা OX, নাইট্রাইড, ধাতব গেট, নিরাকার কার্বন ইত্যাদিতে ব্যবহৃত হয়; LPCVD (লো পাওয়ার) সাধারণত নাইট্রাইড, পলি, TEOS-এ ব্যবহৃত হয়।
নীতিটি কী?
PECVD - একটি প্রক্রিয়া যা প্লাজমা শক্তি এবং CVD কে নিখুঁতভাবে একত্রিত করে। PECVD প্রযুক্তি কম চাপে প্রক্রিয়া চেম্বারের (অর্থাৎ, নমুনা ট্রে) ক্যাথোডে গ্লো ডিসচার্জ প্ররোচিত করতে নিম্ন-তাপমাত্রার প্লাজমা ব্যবহার করে। এই গ্লো ডিসচার্জ বা অন্যান্য গরম করার যন্ত্র নমুনার তাপমাত্রাকে একটি পূর্বনির্ধারিত স্তরে বাড়িয়ে দিতে পারে এবং তারপর একটি নিয়ন্ত্রিত পরিমাণে প্রক্রিয়া গ্যাস প্রবর্তন করতে পারে। এই গ্যাসটি রাসায়নিক এবং প্লাজমা বিক্রিয়ার একটি সিরিজের মধ্য দিয়ে যায় এবং অবশেষে নমুনার পৃষ্ঠে একটি কঠিন আবরণ তৈরি করে।
LPCVD - নিম্ন-চাপের রাসায়নিক বাষ্প জমা (LPCVD) চুল্লিতে বিক্রিয়া গ্যাসের অপারেটিং চাপকে প্রায় 133Pa বা তার কম করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
প্রতিটির বৈশিষ্ট্য কী?
PECVD - একটি প্রক্রিয়া যা প্লাজমা শক্তি এবং CVD কে নিখুঁতভাবে একত্রিত করে: 1) নিম্ন-তাপমাত্রার অপারেশন (উচ্চ তাপমাত্রার সরঞ্জামের ক্ষতি এড়ানো); 2) দ্রুত ফিল্ম বৃদ্ধি; 3) উপকরণ সম্পর্কে পছন্দসই নয়, OX, নাইট্রাইড, ধাতব গেট, নিরাকার কার্বন সবই বৃদ্ধি পেতে পারে; 4) একটি ইন-সিটু মনিটরিং সিস্টেম রয়েছে, যা আয়ন পরামিতি, গ্যাস প্রবাহ হার, তাপমাত্রা এবং ফিল্ম বেধের মাধ্যমে রেসিপিটি সামঞ্জস্য করতে পারে।
LPCVD - LPCVD দ্বারা জমা করা পাতলা ফিল্মগুলির ধাপের কভারেজ আরও ভালো হবে, গঠন এবং কাঠামো নিয়ন্ত্রণ ভালো হবে, জমার হার বেশি হবে এবং আউটপুটও বেশি হবে। এছাড়াও, LPCVD-তে ক্যারিয়ার গ্যাসের প্রয়োজন হয় না, তাই এটি কণা দূষণের উৎসকে ব্যাপকভাবে হ্রাস করে এবং পাতলা ফিল্ম জমার জন্য উচ্চ মূল্য সংযোজিত সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
আরও আলোচনার জন্য আমাদের সাথে দেখা করতে বিশ্বজুড়ে যেকোনো গ্রাহককে স্বাগতম!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
পোস্টের সময়: জুলাই-২৪-২০২৪