ka waiho ʻana o ka mahu kemika (CVD) e pili ana i ke kaʻina hana o ke kau ʻana i kahi ʻili paʻa ma luna o ka ʻili o kahi siliconwaferma o kahi hopena kemika o kahi hui kinoea. Wahi a nā kūlana hopena like ʻole (kaomi, ka mea mua), hiki ke hoʻokaʻawale ʻia i nā ʻano lako like ʻole.
He aha nā kaʻina hana e hoʻohana ʻia ai kēia mau mea hana ʻelua?
PECVDʻO nā lako (Plasma Enhanced) ka mea nui loa a hoʻohana pinepine ʻia, hoʻohana ʻia ma OX, Nitride, metal gate, amorphous carbon, etc.; Hoʻohana pinepine ʻia ka LPCVD (Low Power) ma Nitride, poly, TEOS.
He aha ke kumumanaʻo?
ʻO PECVD-kahi hana e hoʻohui pono ana i ka ikehu plasma a me CVD. Hoʻohana ka ʻenehana PECVD i ka plasma haʻahaʻa haʻahaʻa e hoʻoulu i ka hoʻokuʻu ʻana o ka glow ma ka cathode o ke keʻena hana (ʻo ia hoʻi, ka pā laʻana) ma lalo o ke kaomi haʻahaʻa. Hiki i kēia hoʻokuʻu ʻana o ka glow a i ʻole kekahi mea hoʻomehana ʻē aʻe ke hoʻokiʻekiʻe i ka mahana o ka laʻana i kahi pae i hoʻoholo mua ʻia, a laila hoʻokomo i kahi nui o ke kinoea hana i kāohi ʻia. Ke hele nei kēia kinoea i kahi moʻo o nā hopena kemika a me ka plasma, a ma ka hope loa e hana i kahi ʻili paʻa ma ka ʻili o ka laʻana.
LPCVD - Ua hoʻolālā ʻia ka hoʻokaʻawale ʻana o ka mahu kemika haʻahaʻa (LPCVD) e hōʻemi i ke kaomi hana o ke kinoea hopena i loko o ka reactor i kahi o 133Pa a i ʻole ka emi mai.
He aha nā ʻano o kēlā me kēia?
PECVD - He hana e hoʻohui pono ana i ka ikehu plasma a me CVD: 1) Hana haʻahaʻa wela (e pale ana i ka hōʻino ʻana o ka mahana kiʻekiʻe i nā lako); 2) Ulu wikiwiki o ka ʻiliʻili; 3) ʻAʻole koho e pili ana i nā mea hana, hiki i ka OX, Nitride, ka puka hao, ke kalapona amorphous ke ulu; 4) Aia kahi ʻōnaehana nānā in-situ, hiki ke hoʻoponopono i ke ʻano hana ma o nā ʻano ion, ka nui o ke kahe kinoea, ka mahana a me ka mānoanoa o ka ʻiliʻili.
LPCVD - ʻO nā ʻili lahilahi i waiho ʻia e LPCVD e loaʻa ka uhi ʻanuʻu maikaʻi aʻe, ka hoʻonohonoho maikaʻi a me ka kaohi ʻana i ke ʻano, ka nui o ka waiho ʻana a me ka hopena. Eia kekahi, ʻaʻole pono ʻo LPCVD i ke kinoea lawe, no laila e hōʻemi nui ia i ke kumu o ka haumia o nā ʻāpana a hoʻohana nui ʻia i nā ʻoihana semiconductor waiwai nui no ka waiho ʻana o ka ʻili lahilahi.
Hoʻokipa i nā mea kūʻai mai nā wahi a puni o ka honua e kipa mai iā mākou no kahi kūkākūkā hou aku!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Ka manawa hoʻouna: Iulai-24-2024