Kimyoviy bug'lanish (Yurak-qon tomir kasalliklari) kremniy yuzasiga qattiq plyonka qo'yish jarayonini anglatadigofretgaz aralashmasining kimyoviy reaksiyasi orqali. Turli reaksiya sharoitlariga (bosim, prekursor) ko'ra, uni turli xil uskunalar modellariga bo'lish mumkin.
Ushbu ikkita qurilma qanday jarayonlar uchun ishlatiladi?
PECVD(Plazma Enhanced) uskunasi eng ko'p ishlatiladigan va eng ko'p ishlatiladigan uskuna bo'lib, OX, Nitrid, Metall Darvoza, Amorf Uglerod va boshqalarda qo'llaniladi; LPCVD (Past Quvvat) odatda Nitrid, Polimer, TEOSda qo'llaniladi.
Printsip nima?
PECVD - plazma energiyasi va CVD ni mukammal birlashtirgan jarayon. PECVD texnologiyasi past bosim ostida jarayon kamerasining katodida (ya'ni, namuna patnisida) porlash zaryadini hosil qilish uchun past haroratli plazmadan foydalanadi. Ushbu porlash zaryadi yoki boshqa isitish moslamasi namunaning haroratini oldindan belgilangan darajaga ko'tarishi va keyin nazorat qilinadigan miqdorda jarayon gazini kiritishi mumkin. Bu gaz bir qator kimyoviy va plazma reaksiyalaridan o'tadi va nihoyat namuna yuzasida qattiq plyonka hosil qiladi.
LPCVD - Past bosimli kimyoviy bug' cho'ktirish (LPCVD) reaktordagi reaksiya gazining ish bosimini taxminan 133Pa yoki undan kamroqqa tushirish uchun mo'ljallangan.
Har birining xususiyatlari qanday?
PECVD - Plazma energiyasi va CVD ni mukammal birlashtirgan jarayon: 1) Past haroratli ishlash (uskunaning yuqori haroratli shikastlanishidan qochish); 2) Tez plyonka o'sishi; 3) Materiallarga nisbatan talabchan emas, OX, Nitrid, metall darvoza, amorf uglerodning barchasi o'sishi mumkin; 4) Ion parametrlari, gaz oqimi tezligi, harorat va plyonka qalinligi orqali retseptni sozlashi mumkin bo'lgan in-situ monitoring tizimi mavjud.
LPCVD - LPCVD tomonidan qo'yilgan yupqa plyonkalar yaxshiroq pog'onali qoplamaga, yaxshi tarkib va tuzilish nazoratiga, yuqori cho'kish tezligiga va chiqishiga ega bo'ladi. Bundan tashqari, LPCVD tashuvchi gazni talab qilmaydi, shuning uchun u zarrachalar ifloslanishining manbasini sezilarli darajada kamaytiradi va yupqa plyonkalarni qo'yish uchun yuqori qo'shimcha qiymatga ega yarimo'tkazgich sanoatida keng qo'llaniladi.
Dunyo bo'ylab mijozlarni keyingi muhokama uchun bizga tashrif buyurishga taklif qilamiz!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Nashr vaqti: 2024-yil 24-iyul