Depokirina buhara kîmyewî (Nexweşiyên dil û damaran) behsa pêvajoya danîna fîlmek hişk li ser rûyê silîkonê dike.waferbi rêya reaksiyoneke kîmyayî ya tevliheviyeke gazê. Li gorî şert û mercên reaksiyonê yên cuda (zext, pêşeng), ew dikare li ser modelên alavan ên cûrbecûr were dabeş kirin.
Ev her du cîhaz ji bo çi pêvajoyan têne bikar anîn?
PECVDAmûrên (Plazma Enhanced) yên herî pir û herî zêde têne bikar anîn in, di OX, Nîtrîd, deriyê metal, karbona amorf, û hwd. de têne bikar anîn; LPCVD (Hêza Kêm) bi gelemperî di Nîtrîd, polî, TEOS de tê bikar anîn.
Prensîb çi ye?
PECVD - pêvajoyek e ku enerjiya plazmayê û CVD-ê bi awayekî bêkêmasî bi hev re dike yek. Teknolojiya PECVD plazmaya germahiya nizm bikar tîne da ku di katoda odeya pêvajoyê (ango, tepsiya nimûneyê) de di bin zexta nizm de derxistina şewqê çêbike. Ev derxistina şewqê an cîhaza din a germkirinê dikare germahiya nimûneyê bigihîne astek diyarkirî, û dûv re mîqdarek kontrolkirî ya gaza pêvajoyê bide nasîn. Ev gaz rêze reaksiyonên kîmyewî û plazmayê derbas dike, û di dawiyê de fîlimek hişk li ser rûyê nimûneyê çêdike.
LPCVD - Depokirina buxara kîmyewî ya bi zexta nizm (LPCVD) ji bo kêmkirina zexta xebitandinê ya gaza reaksiyonê di reaktorê de heya dora 133Pa an kêmtir hatî çêkirin.
Taybetmendiyên her yekê çi ne?
PECVD - Pêvajoyek ku enerjiya plazmayê û CVD-ê bi awayekî bêkêmasî bi hev re dike yek: 1) Xebata di germahiya nizm de (ji zirara germahiya bilind a alavan dûr dikeve); 2) Mezinbûna bilez a fîlmê; 3) Di derbarê materyalan de ne hilbijêr e, OX, Nîtrîd, deriyê metal, karbona amorf hemî dikarin mezin bibin; 4) Sîstemek çavdêriya di cîh de heye, ku dikare reçeteyê bi rêya parametreyên iyon, rêjeya herikîna gazê, germahî û stûriya fîlmê rast bike.
LPCVD - Fîlmên tenik ên ku ji hêla LPCVD ve têne razandin dê xwedî vegirtinek çêtir a gavê, kontrolkirina pêkhate û avahiyê ya baş, rêjeyek razandinê û derana bilind bin. Wekî din, LPCVD hewceyê gaza hilgir nake, ji ber vê yekê ew çavkaniya qirêjiya perçeyan pir kêm dike û di pîşesaziyên nîvconductor ên bi nirxa zêdekirî ya bilind de ji bo razandina fîlmên tenik bi berfirehî tê bikar anîn.
Ji bo nîqaşek din, hûn bi xêr hatin her xerîdarek ji çar aliyên cîhanê ku serdana me bikin!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Dema weşandinê: 24ê Tîrmehê, 2024