Qhov txawv ntawm PECVD thiab LPCVD hauv cov khoom siv semiconductor CVD yog dab tsi?

Kev tso pa tshuaj lom neeg (CVD) hais txog cov txheej txheem ntawm kev tso ib zaj duab xis khov kho rau ntawm qhov chaw ntawm siliconncuav mog qab ziblos ntawm kev tshuaj lom neeg ntawm cov roj sib tov. Raws li cov xwm txheej sib txawv (siab, precursor), nws tuaj yeem faib ua ntau yam qauv khoom siv.

Ob lub cuab yeej no siv rau cov txheej txheem twg?

PECVD(Plasma Enhanced) cov khoom siv yog qhov ntau tshaj plaws thiab siv ntau tshaj plaws, siv hauv OX, Nitride, hlau rooj vag, amorphous carbon, thiab lwm yam.; LPCVD (Lub zog qis) feem ntau yog siv hauv Nitride, poly, TEOS.
Lub hauv paus ntsiab lus yog dab tsi?
PECVD - ib qho txheej txheem uas sib xyaw ua ke lub zog plasma thiab CVD zoo kawg nkaus. PECVD thev naus laus zis siv cov plasma kub qis los ua kom muaj kev tawm ntawm lub teeb ntawm lub cathode ntawm lub chamber txheej txheem (piv txwv li, lub tais qauv) nyob rau hauv qhov siab qis. Qhov kev tawm ntawm lub teeb lossis lwm yam khoom siv cua sov no tuaj yeem ua kom qhov kub ntawm cov qauv mus rau qib uas tau teem tseg, thiab tom qab ntawd qhia txog cov roj txheej txheem tswj tau. Cov roj no dhau los ntawm ntau yam tshuaj lom neeg thiab plasma, thiab thaum kawg tsim ib daim zaj duab xis khov kho rau ntawm qhov chaw ntawm cov qauv.

LPCVD - Kev tso pa tshuaj lom neeg qis (LPCVD) yog tsim los txo qhov siab ua haujlwm ntawm cov roj tshuaj hauv lub reactor kom txog li 133Pa lossis tsawg dua.

Cov yam ntxwv ntawm txhua tus yog dab tsi?

PECVD - Ib qho txheej txheem uas sib xyaw ua ke lub zog plasma thiab CVD zoo kawg nkaus: 1) Kev ua haujlwm kub qis (zam kev puas tsuaj rau cov khoom siv kub siab); 2) Zaj duab xis loj hlob sai; 3) Tsis xaiv cov ntaub ntawv, OX, Nitride, rooj vag hlau, amorphous carbon tuaj yeem loj hlob; 4) Muaj ib qho system saib xyuas hauv qhov chaw, uas tuaj yeem kho cov zaub mov los ntawm cov ion parameters, roj ntws tus nqi, kub thiab zaj duab xis tuab.
LPCVD - Cov yeeb yaj kiab nyias nyias uas LPCVD tso rau hauv yuav muaj cov kauj ruam zoo dua, kev tswj cov khoom zoo thiab cov qauv, qhov nrawm thiab cov zis siab. Tsis tas li ntawd, LPCVD tsis xav tau cov roj thauj khoom, yog li nws txo qhov chaw ntawm cov khoom me me thiab siv dav hauv kev lag luam semiconductor uas muaj nqi ntxiv rau kev tso cov yeeb yaj kiab nyias nyias.

 

Txais tos cov neeg siv khoom los ntawm thoob plaws lub ntiaj teb tuaj xyuas peb rau kev sib tham ntxiv!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/