Hver er munurinn á PECVD og LPCVD í hálfleiðara CVD búnaði?

Efnafræðileg gufuútfelling (Hjarta- og æðasjúkdómur) vísar til ferlisins þar sem fast filma er sett á yfirborð kísils.oblátameð efnahvörfum gasblöndu. Samkvæmt mismunandi hvarfskilyrðum (þrýstingi, forvera) er hægt að skipta því í ýmsar gerðir búnaðar.

Í hvaða ferlum eru þessi tvö tæki notuð?

PECVDPlasma-enhanced (plasma-enhanced) búnaður er fjölmennastur og algengastur, notaður í OX, nítríð, málmhlið, ókristölluðu kolefni o.s.frv.; LPCVD (low Power) er venjulega notaður í nítríð, pólý og TEOS.
Hver er meginreglan?
PECVD - ferli sem sameinar plasmaorku og CVD á fullkominn hátt. PECVD tækni notar lághitaplasma til að framkalla glóútfellingu við bakskaut vinnsluhólfsins (þ.e. sýnishornsbakkans) undir lágum þrýstingi. Þessi glóútfelling eða önnur hitunarbúnaður getur hækkað hitastig sýnisins upp í fyrirfram ákveðið stig og síðan bætt við stýrðu magni af vinnslugasi. Þetta gas gengst undir röð efna- og plasmaviðbragða og myndar að lokum fasta filmu á yfirborði sýnisins.

LPCVD - Lágþrýstings efnagufuútfelling (LPCVD) er hönnuð til að lækka rekstrarþrýsting hvarfgassins í hvarfinu niður í um 133 Pa eða minna.

Hver eru einkenni hvers og eins?

PECVD - Ferli sem sameinar plasmaorku og CVD fullkomlega: 1) Lághitastig (forðast skemmdir á búnaðinum við háan hita); 2) Hraður filmuvöxtur; 3) Ekki vandlátt með efni, OX, nítríð, málmhlið, ókristallað kolefni geta öll vaxið; 4) Til er eftirlitskerfi á staðnum sem getur aðlagað uppskriftina með jónabreytum, gasflæðishraða, hitastigi og filmuþykkt.
LPCVD - Þunnfilmur sem eru settar á með LPCVD hafa betri þrepaþekju, góða stjórn á samsetningu og uppbyggingu, hátt útfellingarhraða og afköst. Að auki þarfnast LPCVD ekki burðargass, þannig að það dregur verulega úr uppsprettu agnamengunar og er mikið notað í hálfleiðaraiðnaði með miklum virðisaukandi efnum fyrir útfellingu þunnfilma.

 

Velkomin öllum viðskiptavinum frá öllum heimshornum til að heimsækja okkur til frekari umræðu!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/