Pemendapan wap kimia (CVD) merujuk kepada proses mendapan filem pepejal pada permukaan silikonwafermelalui tindak balas kimia campuran gas. Mengikut keadaan tindak balas yang berbeza (tekanan, prekursor), ia boleh dibahagikan kepada pelbagai model peralatan.
Apakah proses yang digunakan oleh kedua-dua peranti ini?
PECVDPeralatan (Plasma Enhanced) adalah yang paling banyak dan paling biasa digunakan, digunakan dalam OX, Nitrida, pintu logam, karbon amorfus, dan sebagainya; LPCVD (Kuasa Rendah) biasanya digunakan dalam Nitrida, poli, TEOS.
Apakah prinsipnya?
PECVD - satu proses yang menggabungkan tenaga plasma dan CVD dengan sempurna. Teknologi PECVD menggunakan plasma suhu rendah untuk mendorong nyahcas cahaya di katod ruang proses (iaitu, dulang sampel) di bawah tekanan rendah. Nyahcas cahaya atau peranti pemanasan lain ini boleh meningkatkan suhu sampel ke tahap yang telah ditetapkan, dan kemudian memperkenalkan jumlah gas proses yang terkawal. Gas ini menjalani satu siri tindak balas kimia dan plasma, dan akhirnya membentuk filem pepejal pada permukaan sampel.
LPCVD - Pemendapan wap kimia tekanan rendah (LPCVD) direka bentuk untuk mengurangkan tekanan operasi gas tindak balas dalam reaktor kepada kira-kira 133Pa atau kurang.
Apakah ciri-ciri setiap satu?
PECVD - Satu proses yang menggabungkan tenaga plasma dan CVD dengan sempurna: 1) Operasi suhu rendah (mengelakkan kerosakan suhu tinggi pada peralatan); 2) Pertumbuhan filem yang cepat; 3) Tidak cerewet tentang bahan, OX, Nitrida, pintu logam, karbon amorfus semuanya boleh tumbuh; 4) Terdapat sistem pemantauan in-situ, yang boleh melaraskan resipi melalui parameter ion, kadar aliran gas, suhu dan ketebalan filem.
LPCVD - Filem nipis yang dimendapkan oleh LPCVD akan mempunyai liputan langkah yang lebih baik, kawalan komposisi dan struktur yang baik, kadar dan output pemendapan yang tinggi. Di samping itu, LPCVD tidak memerlukan gas pembawa, jadi ia dapat mengurangkan sumber pencemaran zarah dengan ketara dan digunakan secara meluas dalam industri semikonduktor bernilai tambah tinggi untuk pemendapan filem nipis.
Mengalu-alukan mana-mana pelanggan dari seluruh dunia untuk melawat kami untuk perbincangan lanjut!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Masa siaran: 24 Julai 2024