כעמישע פארע דעפאזיציע (קאַרדיאָוואַסקולאַרע קרענק (CVD)) באַציט זיך צום פּראָצעס פון אַוועקלייגן אַ האַרטן פילם אויף דער ייבערפלאַך פון אַ סיליקאָןוועיפערדורך אַ כעמישע רעאַקציע פֿון אַ גאַז־מישונג. לויט די פֿאַרשידענע רעאַקציע־באַדינגונגען (דרוק, פֿאָרגייער), קען מען עס צעטיילן אין פֿאַרשידענע מאָדעלן פֿון עקוויפּמענט.
פֿאַר וואָסערע פּראָצעסן ווערן די צוויי דעוויסעס גענוצט?
פּעקווד(פּלאַזמע ענהאַנסט) עקוויפּמענט איז די מערסטע צאָלרייכע און מערסט אָפט געניצטע, געניצט אין OX, ניטריד, מעטאַל גייט, אַמאָרפֿישער קאַרבאָן, אאז"ו ו; LPCVD (נידעריק פּאָווער) ווערט געוויינטלעך געניצט אין ניטריד, פּאָלי, TEOS.
וואָס איז דער פּרינציפּ?
PECVD - א פּראָצעס וואָס קאָמבינירט פּלאַזמע ענערגיע און CVD אויף אַ פּערפֿעקטן אופן. PECVD טעכנאָלאָגיע ניצט נידעריק-טעמפּעראַטור פּלאַזמע צו אינדוצירן גלאָו דיסטשאַרדזש ביי דער קאַטאָדע פון דער פּראָצעס קאַמער (ד"ה, מוסטער טאַץ) אונטער נידעריקן דרוק. די גלאָו דיסטשאַרדזש אָדער אַנדערע הייצונג מיטל קען הייבן די טעמפּעראַטור פון דער מוסטער צו אַ פאָרבעשטימטן לעוועל, און דערנאָך אַרײַנפֿירן אַ קאָנטראָלירטע מאָס פּראָצעס גאַז. דער גאַז גייט דורך אַ סעריע כעמישע און פּלאַזמע רעאַקציעס, און לעסאָף פאָרמירט אַ האַרטן פֿילם אויף דער ייבערפֿלאַך פון דער מוסטער.
LPCVD - נידעריק-דרוק כעמישע פארע דעפאזיציע (LPCVD) איז דיזיינט צו רעדוצירן דעם אפערירן דרוק פון דעם רעאקציע גאז אין דעם רעאקטאר צו בערך 133Pa אדער ווייניגער.
וואָס זענען די כאַראַקטעריסטיקס פון יעדן?
PECVD - א פּראָצעס וואָס קאָמבינירט פּערפֿעקט פּלאַזמע ענערגיע און CVD: 1) נידעריק-טעמפּעראַטור אָפּעראַציע (פֿאַרמייַדן הויך טעמפּעראַטור שאָדן צו די ויסריכט); 2) שנעל פֿילם וווּקס; 3) נישט קאַפּריזיק וועגן מאַטעריאַלן, OX, ניטריד, מעטאַל גייט, אַמאָרפֿישער קאַרבאָן קענען אַלע וואַקסן; 4) עס איז אַן אין-סיטו מאָניטאָרינג סיסטעם, וואָס קען סטרויערן די רעצעפּט דורך יאָן פּאַראַמעטערס, גאַז לויפן קורס, טעמפּעראַטור און פֿילם גרעב.
LPCVD - דין פילמען וואָס ווערן אַוועקגעלייגט דורך LPCVD וועלן האָבן בעסערע שריט קאַווערידזש, גוטע קאָנטראָל איבער קאָמפּאָזיציע און סטרוקטור, הויך אַוועקלייגונג קורס און רעזולטאַט. דערצו, LPCVD דאַרף נישט קיין טרעגער גאַז, אַזוי עס רעדוצירט שטאַרק די מקור פון פּאַרטיקל פאַרפּעסטיקונג און ווערט וויידלי געניצט אין הויך ווערט-צוגעגעבענע האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריעס פֿאַר דין פילם אַוועקלייגונג.
באַגריסן קיין קאַסטאַמערז פון אַלע איבער דער וועלט צו באַזוכן אונדז פֿאַר אַ ווייטערדיקע דיסקוסיע!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
פּאָסט צייט: 24סטן יולי 2024