Ярымүткәргеч CVD җиһазларында PECVD һәм LPCVD арасында нинди аерма бар?

Химик пар утырту (йөрәк-кан тамырлары авырулары) кремний өслегенә каты пленка урнаштыру процессын аңлатавафлигаз катнашмасының химик реакциясе аша. Төрле реакция шартларына (басым, прекурсор) карап, аны төрле җиһаз модельләренә бүләргә мөмкин.

Бу ике җайланма нинди процесслар өчен кулланыла?

PECVD(Plasma Enhanced) җиһазлары иң күп кулланыла торган һәм иң еш кулланыла торган җиһазлар арасында OX, нитрид, металл капка, аморф углерод һ.б. җиһазларда кулланыла; LPCVD (Түбән Көчлелек) гадәттә нитрид, полиэтилен, TEOS җиһазларында кулланыла.
Принцип нәрсәдән гыйбарәт?
PECVD - плазма энергиясен һәм CVDны камил рәвештә берләштерә торган процесс. PECVD технологиясе түбән температуралы плазманы кулланып, процесс камерасының катодында (ягъни, үрнәк табагында) түбән басым астында ялтыравык разрядкасын китереп чыгара. Бу ялтыравык разряд яки башка җылыту җайланмасы үрнәкнең температурасын билгеләнгән дәрәҗәгә күтәрә, аннары контрольдә тотылган күләмдә процесс газын кертә ала. Бу газ берничә химик һәм плазма реакциясен кичерә һәм, ниһаять, үрнәк өслегендә каты пленка барлыкка китерә.

LPCVD - Түбән басымлы химик пар утырту (LPCVD) реактордагы реакция газының эш басымын якынча 133Pa яки аннан да кимрәккә кадәр киметү өчен эшләнгән.

Һәрберсенең үзенчәлекләре нинди?

PECVD - Плазма энергиясен һәм CVDны камил рәвештә берләштерә торган процесс: 1) Түбән температурада эшләү (җиһазларның югары температурадан зыян күрүен булдырмау); 2) Пленканың тиз үсүе; 3) Материалларга карата таләпчән түгел, OX, нитрид, металл капка, аморф углерод барысы да үсә ала; 4) Рецептны ион параметрлары, газ агымы тизлеге, температура һәм пленка калынлыгы аша көйли алырлык in-situ мониторинг системасы бар.
LPCVD - LPCVD белән урнаштырылган юка пленкалар яхшырак баскыч каплавына, яхшы состав һәм структура контроленә, югары утыру тизлегенә һәм чыгышына ия булачак. Моннан тыш, LPCVD өчен ташучы газ кирәк түгел, шуңа күрә ул кисәкчәләр пычрану чыганагын шактый киметә һәм югары өстәмә кыйммәткә ия ярымүткәргеч сәнәгатьләрендә юка пленка утырту өчен киң кулланыла.

 

Дөньяның төрле почмакларыннан килгән теләсә нинди клиентларны безгә өстәмә фикер алышу өчен рәхим итегез!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/