Kini iyatọ laarin PECVD ati LPCVD ninu awọn ohun elo CVD semiconductor?

Ìfipamọ́ èéfín kẹ́míkà (CVD) tọ́ka sí ìlànà fífi fíìmù líle kan sí ojú ohun èlò silikoniwafernípasẹ̀ ìṣe kẹ́míkà ti àdàpọ̀ gáàsì kan. Gẹ́gẹ́ bí àwọn ipò ìṣesí tó yàtọ̀ síra (títẹ̀, ohun tó ń ṣáájú), a lè pín in sí oríṣiríṣi àwọn àpẹẹrẹ ẹ̀rọ.

Àwọn ìlànà wo ni a ń lò fún àwọn ẹ̀rọ méjì yìí?

PECVDOhun èlò (Plasma Enhanced) ni ó pọ̀ jùlọ tí a sì sábà máa ń lò jùlọ, tí a ń lò nínú OX, Nitride, metal gate, amorphous carbon, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ; LPCVD (Low Power) ni a sábà máa ń lò nínú Nitride, poly, àti TEOS.
Kí ni ìlànà náà?
PECVD-ìlànà kan tí ó so agbára plasma àti CVD pọ̀ dáadáa. Ìmọ̀-ẹ̀rọ PECVD ń lo plasma tí ó ní ìwọ̀n otútù díẹ̀ láti fa ìtújáde ìmọ́lẹ̀ ní cathode ti yàrá iṣẹ́ (ìyẹn, àtẹ àpẹẹrẹ) lábẹ́ ìfúnpá kékeré. Ìtújáde ìmọ́lẹ̀ yìí tàbí ẹ̀rọ ìgbóná mìíràn lè gbé ìwọ̀n otútù àpẹẹrẹ náà sókè sí ìpele tí a ti pinnu tẹ́lẹ̀, lẹ́yìn náà ó lè fi ìwọ̀n gaasi iṣẹ́ tí a ṣàkóso hàn. Gáàsì yìí ń gba oríṣiríṣi àwọn ìṣesí kẹ́míkà àti plasma, ó sì ń ṣe fíìmù líle lórí ojú àpẹẹrẹ náà.

LPCVD - A ṣe apẹrẹ idasilo eefin kemikali ti titẹ kekere (LPCVD) lati dinku titẹ iṣiṣẹ ti gaasi iṣiṣẹ ninu riakito naa si bii 133Pa tabi kere si.

Kí ni àwọn ànímọ́ ọ̀kọ̀ọ̀kan?

PECVD - Ilana kan ti o so agbara plasma ati CVD pọ ni pipe: 1) Iṣiṣẹ iwọn otutu kekere (yiyago fun ibajẹ iwọn otutu giga si ẹrọ naa); 2) Idagbasoke fiimu yarayara; 3) Ko yan nipa awọn ohun elo, OX, Nitride, ẹnu-ọna irin, erogba amorphous gbogbo le dagba; 4) Eto abojuto in-situ wa, eyiti o le ṣatunṣe ohunelo nipasẹ awọn paramita ion, oṣuwọn sisan gaasi, iwọn otutu ati sisanra fiimu.
LPCVD - Àwọn fíìmù fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ tí LPCVD fi pamọ́ yóò ní ààbò ìgbésẹ̀ tó dára jù, ìṣàkóso ìṣètò àti ìṣètò tó dára, ìwọ̀n ìfipamọ́ gíga àti ìjáde. Ní àfikún, LPCVD kò nílò gaasi amúlétutù, nítorí náà ó dín orísun ìbàjẹ́ pàtákì kù gidigidi, a sì ń lò ó ní àwọn ilé iṣẹ́ semiconductor tí a fi kún iye owó rẹ̀ fún ìfipamọ́ fíìmù fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́.

 

Ẹ kí àwọn oníbàárà láti gbogbo àgbáyé káàbọ̀ láti wá bẹ̀ wá wò fún ìjíròrò síwájú síi!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/