குறைக்கடத்தி CVD உபகரணங்களில் PECVD மற்றும் LPCVD-க்கு இடையே உள்ள வேறுபாடு என்ன?

வேதியியல் ஆவிப் படிவு (சிவிடி) என்பது ஒரு சிலிக்கான் மேற்பரப்பில் ஒரு திடமான படலத்தைப் படியவைக்கும் செயல்முறையைக் குறிக்கிறது.வேஃபர்வாயுக்கலவையின் வேதிவினை மூலம். வெவ்வேறு வினை நிலைமைகளின்படி (அழுத்தம், முன்னோடிப்பொருள்), இதனைப் பல்வேறு உபகரண மாதிரிகளாகப் பிரிக்கலாம்.

இந்த இரண்டு சாதனங்களும் என்ன செயல்முறைகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன?

PECVD(பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட) உபகரணங்கள் எண்ணிக்கையில் மிகவும் அதிகமானவை மற்றும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுபவை ஆகும்; இவை OX, நைட்ரைடு, மெட்டல் கேட், அமார்பஸ் கார்பன் போன்றவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LPCVD (குறைந்த ஆற்றல்) பொதுவாக நைட்ரைடு, பாலி, TEOS ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
கொள்கை என்ன?
PECVD என்பது பிளாஸ்மா ஆற்றலையும் CVD-யையும் கச்சிதமாக இணைக்கும் ஒரு செயல்முறையாகும். PECVD தொழில்நுட்பம், குறைந்த அழுத்தத்தில் செயல்முறை அறையின் (அதாவது, மாதிரித் தட்டு) எதிர்மின்வாயில் ஒளிர்வு வெளியேற்றத்தைத் தூண்டுவதற்கு குறைந்த வெப்பநிலை பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த ஒளிர்வு வெளியேற்றம் அல்லது பிற வெப்பமூட்டும் சாதனம், மாதிரியின் வெப்பநிலையை முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட ஒரு நிலைக்கு உயர்த்த முடியும், பின்னர் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட அளவு செயல்முறை வாயுவை உள்ளிடுகிறது. இந்த வாயு தொடர்ச்சியான வேதியியல் மற்றும் பிளாஸ்மா வினைகளுக்கு உட்பட்டு, இறுதியாக மாதிரியின் மேற்பரப்பில் ஒரு திடமான படலத்தை உருவாக்குகிறது.

LPCVD - குறைந்த அழுத்த வேதி ஆவிப் படிவு (LPCVD) என்பது, வினைக்கலனில் உள்ள வினை வாயுவின் இயக்க அழுத்தத்தை சுமார் 133Pa அல்லது அதற்கும் குறைவாகக் குறைப்பதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

ஒவ்வொன்றின் பண்புகள் என்னென்ன?

PECVD - பிளாஸ்மா ஆற்றலையும் CVD-யையும் கச்சிதமாக இணைக்கும் ஒரு செயல்முறை: 1) குறைந்த வெப்பநிலை செயல்பாடு (அதிக வெப்பநிலையால் உபகரணங்களுக்கு ஏற்படும் சேதத்தைத் தவிர்க்கிறது); 2) வேகமான படல வளர்ச்சி; 3) மூலப்பொருட்களைப் பற்றிக் கவலைப்படுவதில்லை, OX, நைட்ரைடு, மெட்டல் கேட், உருவமற்ற கார்பன் என அனைத்திலும் வளரக்கூடியது; 4) இதில் ஒரு நிகழ்விடக் கண்காணிப்பு அமைப்பு உள்ளது, இது அயனி அளவுருக்கள், வாயு ஓட்ட விகிதம், வெப்பநிலை மற்றும் படலத் தடிமன் ஆகியவற்றின் மூலம் செய்முறையைச் சரிசெய்ய முடியும்.
LPCVD - LPCVD முறையில் படியவைக்கப்படும் மென்படலங்கள், சிறந்த படிநிலை பரவல், நல்ல கலவை மற்றும் கட்டமைப்பு கட்டுப்பாடு, அதிகப் படிவு வீதம் மற்றும் வெளியீடு ஆகியவற்றைக் கொண்டிருக்கும். மேலும், LPCVD முறைக்குக் கடத்தி வாயு தேவையில்லை, எனவே இது துகள் மாசுபாட்டின் மூலத்தைப் பெருமளவில் குறைக்கிறது. இதனால், அதிக மதிப்புக்கூட்டப்பட்ட குறைக்கடத்தித் தொழில்களில் மென்படலப் படிவுக்காக இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.