Fa'aputuga o le ausa kemikolo (CVD) e faasino i le faagasologa o le teuina o se ata mafiafia i luga o le fogāeleele o se siliconfalaoa manifinifie ala i se tali fa'akemikolo o se paluga kasa. E tusa ai ma tulaga eseese o le tali (mamafa, mea muamua), e mafai ona vaevaeina i ni fa'ata'ita'iga eseese o meafaigaluega.
O a ni faiga e fa'aaogaina ai nei masini e lua?
PECVDO meafaigaluega (Plasma Enhanced) e sili ona tele ma e masani ona faʻaaogaina, e faʻaaogaina i le OX, Nitride, metal gate, amorphous carbon, ma isi; O le LPCVD (Low Power) e masani ona faʻaaogaina i le Nitride, poly, TEOS.
O le ā le mataupu silisili?
PECVD-o se faiga e tu'ufa'atasia atoatoa ai le malosiaga o le plasma ma le CVD. O le tekinolosi PECVD e fa'aogaina le plasma maualalo le vevela e fa'aosofia ai le fa'asalalauina o le malamalama i le cathode o le potu fa'agasolo (e pei o le fata fa'ata'ita'iga) i lalo o le mamafa maualalo. O lenei fa'asalalauina o le malamalama po'o se isi masini fa'avevela e mafai ona si'itia le vevela o le fa'ata'ita'iga i se tulaga ua uma ona fuafuaina, ona fa'aofi lea o se aofa'i fa'atonutonu o le kesi fa'agasolo. O lenei kesi e ui atu i se fa'asologa o tali fa'akemikolo ma le plasma, ma iu ai ina fausia se ata mafiafia i luga o le fa'ata'ita'iga.
LPCVD - O le Low-pressure chemical vapor deposition (LPCVD) ua mamanuina e faʻaitiitia ai le mamafa o le gaioiga o le kesi tali i totonu o le reactor i le tusa ma le 133Pa pe itiiti ifo.
O a uiga o ia mea taʻitasi?
PECVD - O se faiga e tu'ufa'atasia atoatoa ai le malosiaga o le plasma ma le CVD: 1) Fa'agaioiga i le vevela maualalo ('alo'ese mai le fa'aleagaina o masini ona o le vevela maualuga); 2) Vave le tuputupu a'e o le ata tifaga; 3) E le fa'apitoa i meafaitino, e mafai ona tuputupu a'e uma le OX, Nitride, u'amea u'amea, ma le amorphous carbon; 4) E iai se faiga e mata'ituina ai i totonu, lea e mafai ona fetu'una'i le fua e ala i fa'asologa o ion, fua fa'atatau o le tafe o le kesi, vevela ma le mafiafia o le ata tifaga.
LPCVD - O ata manifinifi e teuina e le LPCVD o le a sili atu le ufiufi o la'asaga, lelei le puleaina o le tuufaatasiga ma le fausaga, maualuga le fua faatatau o le teuina ma le gaosiga. E le gata i lea, e le mana'omia e le LPCVD le kesi feavea'i, o lea e matua fa'aitiitia ai le puna o le fa'aleagaina o vaega ma e fa'aaogaina lautele i alamanuia semiconductor e maualuga le taua mo le teuina o ata manifinifi.
Talia soʻo se tagata faʻatau mai le lalolagi atoa e asiasi mai ia i matou mo nisi talanoaga!
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Taimi na lafoina ai: Iulai-24-2024