Apa bedane PECVD lan LPCVD ing peralatan CVD semikonduktor?

Deposisi uap kimia (CVD (Kerusakan Jantung)) nuduhake proses deposit film padat ing permukaan silikonwaferliwat reaksi kimia saka campuran gas. Miturut kahanan reaksi sing beda-beda (tekanan, prekursor), bisa dipérang dadi macem-macem model peralatan.

Kanggo proses apa rong piranti iki digunakake?

PECVDPeralatan (Plasma Enhanced) minangka sing paling akeh lan paling umum digunakake, digunakake ing OX, Nitrida, gerbang logam, karbon amorf, lan liya-liyane; LPCVD (Low Power) biasane digunakake ing Nitrida, poli, TEOS.
Apa prinsipé?
PECVD-proses sing nggabungake energi plasma lan CVD kanthi sampurna. Teknologi PECVD nggunakake plasma suhu rendah kanggo nyebabake pelepasan cahya ing katoda ruang proses (yaiku, tray sampel) ing tekanan rendah. Pelepasan cahya utawa piranti pemanas liyane iki bisa ngunggahake suhu sampel menyang tingkat sing wis ditemtokake, banjur ngenalake jumlah gas proses sing dikontrol. Gas iki ngalami serangkaian reaksi kimia lan plasma, lan pungkasane mbentuk film padat ing permukaan sampel.

LPCVD - Deposisi uap kimia tekanan rendah (LPCVD) dirancang kanggo nyuda tekanan operasi gas reaksi ing reaktor dadi udakara 133Pa utawa kurang.

Apa ciri-cirine saben-saben?

PECVD - Proses sing nggabungake energi plasma lan CVD kanthi sampurna: 1) Operasi suhu rendah (nyingkiri kerusakan suhu dhuwur ing peralatan); 2) Pertumbuhan film sing cepet; 3) Ora pilih-pilih babagan bahan, OX, Nitrida, gerbang logam, karbon amorf kabeh bisa tuwuh; 4) Ana sistem pemantauan in-situ, sing bisa nyetel resep liwat parameter ion, laju aliran gas, suhu lan kekandelan film.
LPCVD - Film tipis sing diendapke dening LPCVD bakal duwe jangkoan langkah sing luwih apik, kontrol komposisi lan struktur sing apik, tingkat lan output deposisi sing dhuwur. Kajaba iku, LPCVD ora mbutuhake gas pembawa, saengga bisa nyuda sumber polusi partikel lan digunakake sacara wiyar ing industri semikonduktor kanthi nilai tambah dhuwur kanggo deposisi film tipis.

 

Sugeng rawuh para pelanggan saka sak ndonya kanggo ngunjungi kita kanggo diskusi luwih lanjut!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/