Kimyasal buhar biriktirme (CVD(Bu terim, silikon yüzeyine katı bir film tabakası biriktirme sürecini ifade eder.)gofretGaz karışımının kimyasal reaksiyonu yoluyla gerçekleşir. Farklı reaksiyon koşullarına (basınç, öncü madde) göre çeşitli ekipman modellerine ayrılabilir.
Bu iki cihaz hangi işlemler için kullanılır?
PECVD(Plazma Destekli) ekipman en çok sayıda ve en yaygın kullanılanıdır ve OX, Nitrür, metal kapı, amorf karbon vb. alanlarda kullanılır; LPCVD (Düşük Güçlü) ise genellikle Nitrür, poli, TEOS alanlarında kullanılır.
İlke nedir?
PECVD, plazma enerjisi ve CVD'yi mükemmel bir şekilde birleştiren bir işlemdir. PECVD teknolojisi, düşük basınç altında işlem odasının (yani numune tepsisinin) katodunda parıldayan deşarjı indüklemek için düşük sıcaklıklı plazma kullanır. Bu parıldayan deşarj veya diğer ısıtma cihazı, numunenin sıcaklığını önceden belirlenmiş bir seviyeye yükseltebilir ve ardından kontrollü miktarda işlem gazı verilebilir. Bu gaz, bir dizi kimyasal ve plazma reaksiyonuna girer ve sonunda numunenin yüzeyinde katı bir film oluşturur.
LPCVD - Düşük basınçlı kimyasal buhar biriktirme (LPCVD), reaktördeki reaksiyon gazının çalışma basıncını yaklaşık 133 Pa veya daha düşük bir değere düşürmek için tasarlanmıştır.
Her birinin özellikleri nelerdir?
PECVD - Plazma enerjisi ve CVD'yi mükemmel bir şekilde birleştiren bir işlem: 1) Düşük sıcaklıkta çalışma (ekipmana yüksek sıcaklık hasarını önler); 2) Hızlı film büyümesi; 3) Malzeme konusunda seçici değil, OX, nitrür, metal kapı, amorf karbon hepsi büyütülebilir; 4) İyon parametreleri, gaz akış hızı, sıcaklık ve film kalınlığı yoluyla reçeteyi ayarlayabilen yerinde bir izleme sistemi mevcuttur.
LPCVD yöntemiyle biriktirilen ince filmler, daha iyi katman kaplaması, iyi bileşim ve yapı kontrolü, yüksek biriktirme hızı ve verim sağlar. Ayrıca, LPCVD taşıyıcı gaz gerektirmediği için partikül kirliliğinin kaynağını büyük ölçüde azaltır ve yüksek katma değerli yarı iletken endüstrilerinde ince film biriktirme için yaygın olarak kullanılır.
Dünyanın her yerinden gelen müşterilerimizi daha detaylı görüşmek üzere bizi ziyaret etmeye davet ediyoruz!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Yayın tarihi: 24 Temmuz 2024