Kimyasal buhar biriktirme (CVD) bir silikonun yüzeyine katı bir film biriktirme sürecini ifade edergofretbir gaz karışımının kimyasal reaksiyonu yoluyla. Farklı reaksiyon koşullarına (basınç, öncül) göre çeşitli ekipman modellerine ayrılabilir.
Bu iki cihaz hangi işlemlerde kullanılıyor?
PECVD(Plazma Destekli) ekipmanlar en çok kullanılan ve en yaygın kullanılanlardır, OX, Nitrür, metal kapı, amorf karbon vb.'de kullanılırlar; LPCVD (Düşük Güç) genellikle Nitrür, poli, TEOS'da kullanılır.
Prensip nedir?
PECVD-plazma enerjisi ve CVD'yi mükemmel bir şekilde birleştiren bir işlem. PECVD teknolojisi, düşük basınç altında işlem odasının (yani numune tepsisi) katodunda kızdırma deşarjı başlatmak için düşük sıcaklıklı plazma kullanır. Bu kızdırma deşarjı veya diğer ısıtma cihazı, numunenin sıcaklığını önceden belirlenmiş bir seviyeye yükseltebilir ve ardından kontrollü miktarda işlem gazı verebilir. Bu gaz bir dizi kimyasal ve plazma reaksiyonundan geçer ve sonunda numunenin yüzeyinde katı bir film oluşturur.
LPCVD - Düşük basınçlı kimyasal buhar biriktirme (LPCVD), reaktördeki reaksiyon gazının çalışma basıncını yaklaşık 133Pa veya daha aza düşürmek için tasarlanmıştır.
Her birinin özellikleri nelerdir?
PECVD - Plazma enerjisi ile CVD'yi mükemmel şekilde birleştiren bir işlem: 1) Düşük sıcaklıkta çalışma (ekipmanda yüksek sıcaklık hasarını önler); 2) Hızlı film büyümesi; 3) Malzeme konusunda seçici olmama, OX, Nitrür, metal geçit, amorf karbonun hepsi büyüyebilir; 4) İyon parametreleri, gaz akış hızı, sıcaklık ve film kalınlığı aracılığıyla reçeteyi ayarlayabilen bir yerinde izleme sistemi vardır.
LPCVD - LPCVD ile biriktirilen ince filmler daha iyi adım kapsamına, iyi bileşim ve yapı kontrolüne, yüksek biriktirme oranına ve çıktıya sahip olacaktır. Ayrıca, LPCVD taşıyıcı gaz gerektirmez, bu nedenle parçacık kirliliğinin kaynağını büyük ölçüde azaltır ve yüksek katma değerli yarı iletken endüstrilerinde ince film biriktirme için yaygın olarak kullanılır.
Dünyanın her yerinden müşterilerimizi daha detaylı görüşmek üzere bizi ziyaret etmeye davet ediyoruz!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-kaplama/
https://www.vet-china.com/silisyum-karbür-sic-seramik/
Gönderi zamanı: 24-Tem-2024