lắng đọng hơi hóa học (Bệnh tim mạch(Nó) đề cập đến quá trình lắng đọng một lớp màng rắn trên bề mặt silicon.tấm waferThông qua phản ứng hóa học của hỗn hợp khí. Tùy thuộc vào các điều kiện phản ứng khác nhau (áp suất, chất phản ứng), nó có thể được chia thành nhiều mô hình thiết bị khác nhau.
Hai thiết bị này được sử dụng cho những quy trình nào?
PECVDThiết bị (Plasma Enhanced) là loại phổ biến nhất và được sử dụng rộng rãi nhất, dùng trong các lớp OX, Nitride, cổng kim loại, carbon vô định hình, v.v.; LPCVD (Low Power) thường được sử dụng trong các lớp Nitride, poly, TEOS.
Nguyên tắc là gì?
PECVD - một quy trình kết hợp hoàn hảo giữa năng lượng plasma và CVD. Công nghệ PECVD sử dụng plasma nhiệt độ thấp để tạo ra sự phóng điện phát sáng tại cực âm của buồng xử lý (tức là khay đựng mẫu) dưới áp suất thấp. Sự phóng điện phát sáng này hoặc thiết bị gia nhiệt khác có thể nâng nhiệt độ của mẫu lên mức đã định trước, sau đó đưa vào một lượng khí xử lý được kiểm soát. Khí này trải qua một loạt các phản ứng hóa học và plasma, cuối cùng tạo thành một lớp màng rắn trên bề mặt mẫu.
LPCVD - Phương pháp lắng đọng hơi hóa học áp suất thấp (LPCVD) được thiết kế để giảm áp suất hoạt động của khí phản ứng trong lò phản ứng xuống khoảng 133 Pa hoặc thấp hơn.
Mỗi loại có những đặc điểm gì?
PECVD - Một quy trình kết hợp hoàn hảo giữa năng lượng plasma và CVD: 1) Hoạt động ở nhiệt độ thấp (tránh gây hư hại thiết bị do nhiệt độ cao); 2) Tăng trưởng màng nhanh; 3) Không kén chọn vật liệu, có thể sử dụng OX, Nitride, cổng kim loại, carbon vô định hình; 4) Có hệ thống giám sát tại chỗ, có thể điều chỉnh công thức thông qua các thông số ion, tốc độ dòng khí, nhiệt độ và độ dày màng.
LPCVD - Màng mỏng được lắng đọng bằng phương pháp LPCVD sẽ có độ phủ bề mặt tốt hơn, kiểm soát thành phần và cấu trúc tốt, tốc độ lắng đọng và sản lượng cao. Ngoài ra, LPCVD không cần khí mang, do đó giảm đáng kể nguồn gây ô nhiễm hạt và được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp bán dẫn có giá trị gia tăng cao để lắng đọng màng mỏng.
Chào mừng quý khách hàng từ khắp nơi trên thế giới đến thăm và trao đổi thêm với chúng tôi!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Thời gian đăng bài: 24/7/2024