Fametrahana etona simika (CVD) dia manondro ny dingan'ny fametrahana sarimihetsika mivaingana eo amin'ny velaran'ny silikôninamofo manifyamin'ny alalan'ny fihetsika simika ataon'ny fangaroan-gazy. Arakaraka ny toe-javatra samihafa amin'ny fihetsika (tsindry, mpialoha lalana), dia azo zaraina ho modely fitaovana isan-karazany izany.
Inona avy ireo dingana ampiasana ireo fitaovana roa ireo?
PECVDNy fitaovana (Plasma Enhanced) no betsaka indrindra ary ampiasaina matetika indrindra, ampiasaina amin'ny OX, Nitride, vavahady metaly, karbônina amorphous, sns.; Ny LPCVD (Low Power) dia matetika ampiasaina amin'ny Nitride, poly, TEOS.
Inona no foto-kevitra?
PECVD - dingana iray izay mampifangaro tsara ny angovon'ny plasma sy ny CVD. Ny teknolojia PECVD dia mampiasa plasma amin'ny mari-pana ambany mba hiteraka famoahana hazavana ao amin'ny katôda ao amin'ny efitrano fanodinana (ohatra, lovia santionany) eo ambanin'ny tsindry ambany. Ity famoahana hazavana na fitaovana fanafanana hafa ity dia afaka mampiakatra ny mari-pana ao amin'ny santionany amin'ny ambaratonga voafaritra mialoha, ary avy eo dia mampiditra entona fanodinana voafehy. Ity entona ity dia mandalo andiana fihetsika simika sy plasma, ary amin'ny farany dia mamorona sarimihetsika matevina eo amin'ny velaran'ny santionany.
LPCVD - Ny fametrahana etona simika amin'ny tsindry ambany (LPCVD) dia natao hampihenana ny tsindrin'ny fiasan'ny entona mihetsika ao amin'ny reaktora ho eo amin'ny 133Pa na latsaka.
Inona avy ireo toetran'ny tsirairay?
PECVD - Dingana iray izay mampifangaro tsara ny angovon'ny plasma sy ny CVD: 1) Fampiasana amin'ny mari-pana ambany (fisorohana ny fahasimban'ny fitaovana amin'ny mari-pana avo); 2) Fitomboan'ny sarimihetsika haingana; 3) Tsy mifidy fitaovana, ny OX, Nitride, vavahady metaly, karbônina amorphous dia mety hitombo avokoa; 4) Misy rafitra fanaraha-maso eo an-toerana, izay afaka manitsy ny fomba fahandro amin'ny alàlan'ny masontsivana ion, ny tahan'ny fikorianan'ny entona, ny mari-pana ary ny hatevin'ny sarimihetsika.
LPCVD - Ireo sarimihetsika manify napetraky ny LPCVD dia hanana fandrakofana dingana tsara kokoa, fifehezana tsara ny firafitra sy ny rafitra, tahan'ny fametrahana sy ny vokatra avo lenta. Ankoatra izany, ny LPCVD dia tsy mila entona mpitatitra, noho izany dia mampihena be ny loharanon'ny fandotoana poti-javatra ary ampiasaina betsaka amin'ny indostrian'ny semiconductor izay manana lanja ambony ho an'ny fametrahana sarimihetsika manify.
Tongasoa eto amin'ny mpanjifa rehetra avy amin'ny lafivalon'izao tontolo izao hitsidika anay mba hiresaka bebe kokoa!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Fotoana fandefasana: 24 Jolay 2024