Фарқи байни PECVD ва LPCVD дар таҷҳизоти нимноқилҳои CVD чист?

Таҳшиншавии буғи кимиёвӣ (дилу раг) ба раванди гузоштани плёнкаи сахт дар сатҳи кремний ишора мекунадвафлитавассути реаксияи кимиёвии омехтаи газ. Вобаста ба шароити гуногуни реаксия (фишор, прекурсор), онро ба моделҳои гуногуни таҷҳизот тақсим кардан мумкин аст.

Ин ду дастгоҳ барои кадом равандҳо истифода мешаванд?

PECVDТаҷҳизоти (Plasma Enhanced) сершумортарин ва маъмултарин таҷҳизот буда, дар OX, нитрид, дарвозаи металлӣ, карбони аморфӣ ва ғайра истифода мешавад; LPCVD (Power Low) одатан дар нитрид, полимерӣ, TEOS истифода мешавад.
Принсип чист?
PECVD - раванде, ки энергияи плазма ва CVD-ро комилан муттаҳид мекунад. Технологияи PECVD аз плазмаи ҳарорати паст истифода мебарад, то дар катоди камераи коркард (яъне, табақи намуна) зери фишори паст разрядшавии дурахшонро ба вуҷуд орад. Ин разрядшавии дурахшон ё дигар дастгоҳи гармидиҳӣ метавонад ҳарорати намунаро то сатҳи муайяншуда баланд бардорад ва сипас миқдори назоратшавандаи гази коркардро ворид кунад. Ин газ як қатор реаксияҳои кимиёвӣ ва плазмаро аз сар мегузаронад ва дар ниҳоят дар сатҳи намуна плёнкаи сахтро ташкил медиҳад.

LPCVD - Буғгузории кимиёвии фишори паст (LPCVD) барои коҳиш додани фишори кории гази реактивӣ дар реактор то тақрибан 133Pa ё камтар аз он пешбинӣ шудааст.

Хусусиятҳои ҳар яки онҳо кадомҳоянд?

PECVD - Раванде, ки энергияи плазма ва CVD-ро комилан муттаҳид мекунад: 1) Кор дар ҳарорати паст (пешгирӣ аз осеби ҳарорати баланд ба таҷҳизот); 2) Афзоиши босуръати плёнка; 3) Дар маводҳо серталаб набудан, OX, нитрид, дарвозаи металлӣ, карбони аморфӣ метавонанд афзоиш ёбанд; 4) Системаи мониторинги in-situ мавҷуд аст, ки метавонад дорухатро тавассути параметрҳои ион, суръати ҷараёни газ, ҳарорат ва ғафсии плёнка танзим кунад.
LPCVD - Плёнкаҳои тунуке, ки аз ҷониби LPCVD гузошта мешаванд, пӯшиши беҳтари зинапоя, назорати хуби таркиб ва сохтор, суръати баланди ҷойгиршавӣ ва баромад доранд. Илова бар ин, LPCVD ба гази интиқолдиҳанда ниёз надорад, аз ин рӯ он манбаи ифлосшавии зарраҳоро хеле кам мекунад ва дар саноати нимноқилҳои дорои арзиши иловашудаи баланд барои ҷойгиркунии плёнкаҳои тунук васеъ истифода мешавад.

 

Аз ҳама муштариён аз тамоми ҷаҳон истиқбол мекунем, то барои муҳокимаи минбаъда ба мо ташриф оранд!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/