રાસાયણિક વરાળ નિક્ષેપ (સીવીડી) સિલિકોનની સપાટી પર ઘન ફિલ્મ જમા કરવાની પ્રક્રિયાનો ઉલ્લેખ કરે છેવેફરગેસ મિશ્રણની રાસાયણિક પ્રતિક્રિયા દ્વારા. વિવિધ પ્રતિક્રિયા પરિસ્થિતિઓ (દબાણ, પુરોગામી) અનુસાર, તેને વિવિધ સાધનો મોડેલોમાં વિભાજિત કરી શકાય છે.
આ બે ઉપકરણો કઈ પ્રક્રિયાઓ માટે વપરાય છે?
પીઈસીવીડી(પ્લાઝ્મા એન્હાન્સ્ડ) સાધનો સૌથી વધુ અને સૌથી વધુ ઉપયોગમાં લેવાય છે, જેનો ઉપયોગ OX, નાઇટ્રાઇડ, મેટલ ગેટ, આકારહીન કાર્બન, વગેરેમાં થાય છે; LPCVD (લો પાવર) નો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે નાઇટ્રાઇડ, પોલી, TEOS માં થાય છે.
સિદ્ધાંત શું છે?
PECVD - એક પ્રક્રિયા જે પ્લાઝ્મા ઉર્જા અને CVD ને સંપૂર્ણ રીતે જોડે છે. PECVD ટેકનોલોજી ઓછા દબાણ હેઠળ પ્રક્રિયા ચેમ્બર (એટલે કે, નમૂના ટ્રે) ના કેથોડ પર ગ્લો ડિસ્ચાર્જ પ્રેરિત કરવા માટે ઓછા તાપમાનના પ્લાઝ્માનો ઉપયોગ કરે છે. આ ગ્લો ડિસ્ચાર્જ અથવા અન્ય હીટિંગ ડિવાઇસ નમૂનાનું તાપમાન પૂર્વનિર્ધારિત સ્તર સુધી વધારી શકે છે, અને પછી નિયંત્રિત માત્રામાં પ્રક્રિયા ગેસ દાખલ કરી શકે છે. આ ગેસ રાસાયણિક અને પ્લાઝ્મા પ્રતિક્રિયાઓની શ્રેણીમાંથી પસાર થાય છે, અને અંતે નમૂનાની સપાટી પર એક ઘન ફિલ્મ બનાવે છે.
LPCVD - લો-પ્રેશર કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (LPCVD) રિએક્ટરમાં રિએક્શન ગેસના ઓપરેટિંગ પ્રેશરને લગભગ 133Pa અથવા તેનાથી ઓછા સુધી ઘટાડવા માટે રચાયેલ છે.
દરેકની વિશેષતાઓ શું છે?
PECVD - એક પ્રક્રિયા જે પ્લાઝ્મા ઉર્જા અને CVD ને સંપૂર્ણ રીતે જોડે છે: 1) નીચા-તાપમાનનું સંચાલન (ઉપકરણોને ઉચ્ચ તાપમાનના નુકસાનને ટાળવું); 2) ઝડપી ફિલ્મ વૃદ્ધિ; 3) સામગ્રી વિશે પસંદગીયુક્ત નહીં, OX, નાઇટ્રાઇડ, મેટલ ગેટ, આકારહીન કાર્બન બધા વિકાસ કરી શકે છે; 4) એક ઇન-સીટુ મોનિટરિંગ સિસ્ટમ છે, જે આયન પરિમાણો, ગેસ પ્રવાહ દર, તાપમાન અને ફિલ્મ જાડાઈ દ્વારા રેસીપીને સમાયોજિત કરી શકે છે.
LPCVD - LPCVD દ્વારા જમા કરાયેલી પાતળી ફિલ્મોમાં વધુ સારું સ્ટેપ કવરેજ, સારી રચના અને માળખું નિયંત્રણ, ઉચ્ચ ડિપોઝિશન રેટ અને આઉટપુટ હશે. વધુમાં, LPCVD ને વાહક ગેસની જરૂર નથી, તેથી તે કણોના પ્રદૂષણના સ્ત્રોતને મોટા પ્રમાણમાં ઘટાડે છે અને પાતળા ફિલ્મ ડિપોઝિશન માટે ઉચ્ચ મૂલ્યવર્ધિત સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગોમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે.
વધુ ચર્ચા માટે અમારી મુલાકાત લેવા માટે વિશ્વભરના કોઈપણ ગ્રાહકોનું સ્વાગત છે!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
પોસ્ટ સમય: જુલાઈ-૨૪-૨૦૨૪