Phapang ke efe pakeng tsa PECVD le LPCVD lisebelisoa tsa CVD tsa semiconductor?

Ho kenngoa ha mouoane ka lik'hemik'hale (CVD) e bolela ts'ebetso ea ho beha filimi e tiileng holim'a siliconsejana sa bohobeka karabelo ea lik'hemik'hale ea motsoako oa khase. Ho ea ka maemo a fapaneng a karabelo (khatello, selelekela), e ka aroloa ka mehlala e fapaneng ea lisebelisoa.

Lisebelisoa tsena tse peli li sebelisetsoa mekhoa efe?

PECVDLisebelisoa tsa (Plasma Enhanced) ke tse ngata ka ho fetisisa le tse sebelisoang haholo, tse sebelisoang ho OX, Nitride, heke ea tšepe, khabone e sa fetoheng, jj.; LPCVD (Matla a Tlase) hangata e sebelisoa ho Nitride, poly, TEOS.
Molao-motheo ke ofe?
PECVD - ts'ebetso e kopanyang ka botlalo matla a plasma le CVD. Theknoloji ea PECVD e sebelisa plasma ea mocheso o tlase ho hlahisa ho ntšoa ha khanya ka har'a cathode ea kamore ea ts'ebetso (ke hore, terei ea sampole) tlas'a khatello e tlase. Ho ntšoa ha khanya ena kapa sesebelisoa se seng sa ho futhumatsa se ka phahamisa mocheso oa sampole ho ea boemong bo reriloeng esale pele, ebe se hlahisa bongata bo laoloang ba khase ea ts'ebetso. Khase ena e feta letotong la lik'hemik'hale le plasma, 'me qetellong e etsa filimi e tiileng holim'a sampole.

LPCVD - Ho beoa ha mouoane oa lik'hemik'hale ka khatello e tlase (LPCVD) ho etselitsoe ho fokotsa khatello ea ts'ebetso ea khase ea karabelo ka har'a reactor ho isa ho hoo e ka bang 133Pa kapa ka tlase ho moo.

Litšobotsi tsa e 'ngoe le e 'ngoe ke life?

PECVD - Ts'ebetso e kopanyang ka botlalo matla a plasma le CVD: 1) Ts'ebetso ea mocheso o tlase (ho qoba tšenyo e phahameng ea lisebelisoa mochesong); 2) Kholo e potlakileng ea filimi; 3) Ho se khethe ka thepa, OX, Nitride, heke ea tšepe, khabone e sa fetoheng kaofela li ka hola; 4) Ho na le sistimi ea ho lekola ka har'a sebaka, e ka fetolang risepe ka liparamente tsa ion, sekhahla sa phallo ea khase, mocheso le botenya ba filimi.
LPCVD - Lifilimi tse tšesaane tse beiloeng ke LPCVD li tla ba le tšireletso e betere ea mehato, taolo e ntle ea sebopeho le sebopeho, sekhahla se phahameng sa ho beoa le tlhahiso. Ho feta moo, LPCVD ha e hloke khase e tsamaisang, kahoo e fokotsa haholo mohloli oa tšilafalo ea likaroloana 'me e sebelisoa haholo indastering ea semiconductor e nang le boleng bo holimo bakeng sa ho beoa ha filimi e tšesaane.

 

Amohela bareki ba tsoang lefats'eng lohle ho re etela bakeng sa puisano e 'ngoe!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/