Deposisi uap kimia (Penyakit kardiovaskular(Medialisis) mengacu pada proses pengendapan lapisan padat pada permukaan silikon.kue wafermelalui reaksi kimia campuran gas. Berdasarkan kondisi reaksi yang berbeda (tekanan, prekursor), dapat dibagi menjadi berbagai model peralatan.
Untuk proses apa kedua perangkat ini digunakan?
PECVDPeralatan (Plasma Enhanced) adalah yang paling banyak dan paling umum digunakan, dipakai dalam OX, Nitrida, gerbang logam, karbon amorf, dll.; LPCVD (Low Power) biasanya digunakan dalam Nitrida, poli, TEOS.
Apa prinsipnya?
PECVD adalah proses yang menggabungkan energi plasma dan CVD secara sempurna. Teknologi PECVD menggunakan plasma suhu rendah untuk menginduksi lucutan pijar pada katoda ruang proses (yaitu, baki sampel) di bawah tekanan rendah. Lucutan pijar ini atau perangkat pemanas lainnya dapat menaikkan suhu sampel ke tingkat yang telah ditentukan, dan kemudian memasukkan sejumlah gas proses yang terkontrol. Gas ini mengalami serangkaian reaksi kimia dan plasma, dan akhirnya membentuk lapisan padat pada permukaan sampel.
LPCVD - Low-pressure chemical vapor deposition (LPCVD) dirancang untuk mengurangi tekanan operasi gas reaksi dalam reaktor hingga sekitar 133 Pa atau kurang.
Apa saja karakteristik masing-masing?
PECVD - Sebuah proses yang menggabungkan energi plasma dan CVD secara sempurna: 1) Operasi suhu rendah (menghindari kerusakan suhu tinggi pada peralatan); 2) Pertumbuhan film yang cepat; 3) Tidak pilih-pilih material, OX, Nitrida, gerbang logam, karbon amorf semuanya dapat tumbuh; 4) Terdapat sistem pemantauan in-situ, yang dapat menyesuaikan resep melalui parameter ion, laju aliran gas, suhu, dan ketebalan film.
LPCVD - Lapisan tipis yang diendapkan dengan LPCVD akan memiliki cakupan langkah yang lebih baik, kontrol komposisi dan struktur yang baik, laju pengendapan dan hasil yang tinggi. Selain itu, LPCVD tidak memerlukan gas pembawa, sehingga sangat mengurangi sumber polusi partikel dan banyak digunakan dalam industri semikonduktor bernilai tambah tinggi untuk pengendapan lapisan tipis.
Kami menyambut semua pelanggan dari seluruh dunia untuk mengunjungi kami guna diskusi lebih lanjut!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silikon-karbida-sic-keramik/
Waktu posting: 24 Juli 2024