Beth yw'r gwahaniaeth rhwng PECVD ac LPCVD mewn offer CVD lled-ddargludyddion?

Dyddodiad anwedd cemegol (CVD) yn cyfeirio at y broses o ddyddodi ffilm solet ar wyneb siliconwaffertrwy adwaith cemegol cymysgedd nwy. Yn ôl yr amodau adwaith gwahanol (pwysau, rhagflaenydd), gellir ei rannu'n wahanol fodelau offer.

Ar gyfer pa brosesau y defnyddir y ddau ddyfais hyn?

PECVDOffer (Plasma Enhanced) yw'r mwyaf niferus a'r mwyaf cyffredin a ddefnyddir, a ddefnyddir mewn OX, Nitrid, giât fetel, carbon amorffaidd, ac ati; defnyddir LPCVD (Low Power) fel arfer mewn Nitrid, poly, TEOS.
Beth yw'r egwyddor?
PECVD - proses sy'n cyfuno ynni plasma a CVD yn berffaith. Mae technoleg PECVD yn defnyddio plasma tymheredd isel i ysgogi rhyddhau tywynnu wrth gatod y siambr brosesu (h.y., hambwrdd sampl) o dan bwysau isel. Gall y rhyddhau tywynnu hwn neu ddyfais wresogi arall godi tymheredd y sampl i lefel ragnodedig, ac yna cyflwyno swm rheoledig o nwy prosesu. Mae'r nwy hwn yn mynd trwy gyfres o adweithiau cemegol a plasma, ac yn olaf yn ffurfio ffilm solet ar wyneb y sampl.

LPCVD - Mae dyddodiad anwedd cemegol pwysedd isel (LPCVD) wedi'i gynllunio i leihau pwysau gweithredu nwy'r adwaith yn yr adweithydd i tua 133Pa neu lai.

Beth yw nodweddion pob un?

PECVD - Proses sy'n cyfuno ynni plasma a CVD yn berffaith: 1) Gweithrediad tymheredd isel (gan osgoi difrod tymheredd uchel i'r offer); 2) Twf ffilm cyflym; 3) Ddim yn ffyslyd ynglŷn â deunyddiau, gall OX, nitrid, giât fetel, carbon amorffaidd i gyd dyfu; 4) Mae system fonitro in-situ, a all addasu'r rysáit trwy baramedrau ïon, cyfradd llif nwy, tymheredd a thrwch ffilm.
LPCVD - Bydd gan ffilmiau tenau a adneuwyd gan LPCVD well gorchudd cam, rheolaeth dda ar gyfansoddiad a strwythur, cyfradd ac allbwn dyddodiad uchel. Yn ogystal, nid oes angen nwy cludwr ar LPCVD, felly mae'n lleihau ffynhonnell llygredd gronynnau yn fawr ac fe'i defnyddir yn helaeth mewn diwydiannau lled-ddargludyddion gwerth ychwanegol uchel ar gyfer dyddodiad ffilm denau.

 

Croeso i unrhyw gwsmeriaid o bob cwr o'r byd i ymweld â ni am drafodaeth bellach!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/