Waa maxay faraqa u dhexeeya PECVD iyo LPCVD ee qalabka CVD ee semiconductor-ka?

Kaydinta uumiga kiimikada (CVD) waxaa loola jeedaa habka lagu shubayo filim adag oo dusha sare ee silikoon ahbuskud yariyada oo loo marayo falgal kiimiko ah oo ka yimaada isku darka gaaska. Iyada oo loo eegayo xaaladaha kala duwan ee falgalka (cadaadis, horudhac), waxaa loo qaybin karaa noocyo kala duwan oo qalab ah.

Waa maxay hababka loo isticmaalo labadan qalab?

PECVDQalabka (Plasma Enhanced) waa kan ugu badan uguna badan ee loo isticmaalo, waxaana loo isticmaalaa OX, Nitride, birta albaabka, kaarboon aan qaab lahayn, iwm.; LPCVD (Awood Hoose) waxaa badanaa loo isticmaalaa Nitride, poly, TEOS.
Waa maxay mabda'a?
PECVD - waa hab si fiican isugu dara tamarta balaasmaha iyo CVD. Tiknoolajiyadda PECVD waxay isticmaashaa balaasmaha heerkulka hooseeya si ay u kiciso dheecaan iftiin ah oo ka soo baxa cathode-ka qolka habka (tusaale ahaan, saxaaradda muunadda) iyadoo cadaadis hoose la saarayo. Daadinta dhalaalkan ama qalabka kale ee kululaynta ayaa kor u qaadi kara heerkulka muunadda ilaa heer go'an, ka dibna soo bandhigi kara xaddi la xakameeyey oo gaas habaysan ah. Gaaskan wuxuu maraa taxane falgallo kiimiko iyo balaasma ah, ugu dambayntiina wuxuu sameeyaa filim adag oo dusha sare ee muunadda ah.

LPCVD - Kaydinta uumiga kiimikada ee cadaadiska hooseeya (LPCVD) waxaa loogu talagalay in lagu yareeyo cadaadiska hawlgalka ee gaaska falgalka ee falgalka ilaa 133Pa ama ka yar.

Waa maxay astaamaha mid walba?

PECVD - Hawsha si fiican isugu daraysa tamarta balaasmaha iyo CVD: 1) Hawlgal heerkul hooseeya (ka fogaanshaha dhaawaca heerkulka sare ee qalabka); 2) Kobaca filimka oo degdeg ah; 3) Aan ku habboonayn agabka, OX, Nitride, albaabka birta, kaarboon aan qaab lahayn dhammaantood way kori karaan; 4) Waxaa jira nidaam kormeer oo goobta ah, kaas oo hagaajin kara cuntada iyada oo loo marayo xuduudaha ion, heerka socodka gaaska, heerkulka iyo dhumucda filimka.
LPCVD - Filimada khafiifka ah ee ay kaydiso LPCVD waxay yeelan doonaan daboolid tallaabo oo wanaagsan, hab-dhismeed wanaagsan iyo xakameyn qaab-dhismeed, heerka dhigista oo sarreeya iyo wax soo saar. Intaa waxaa dheer, LPCVD uma baahna gaas side, sidaa darteed waxay si weyn u yareysaa isha wasakheynta walxaha waxaana si weyn loogu isticmaalaa warshadaha semiconductor-ka ee qiimaha sare leh ee dhigista filimada khafiifka ah.

 

Ku soo dhawoow macaamiil kasta oo ka kala yimid daafaha dunida si ay noo soo booqdaan si aan u yeelano dood dheeraad ah!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/