రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) అనేది సిలికాన్ ఉపరితలంపై ఘన పొరను నిక్షేపించే ప్రక్రియను సూచిస్తుంది.పొరవాయు మిశ్రమం యొక్క రసాయన ప్రతిచర్య ద్వారా. విభిన్న ప్రతిచర్య పరిస్థితుల ప్రకారం (పీడనం, పూర్వగామి), దీనిని వివిధ పరికరాల నమూనాలుగా విభజించవచ్చు.
ఈ రెండు పరికరాలు ఏ ప్రక్రియలకు ఉపయోగించబడతాయి?
పిఇసివిడి(ప్లాస్మా ఎన్హాన్స్డ్) పరికరాలు చాలా ఎక్కువగా మరియు సాధారణంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, వీటిని OX, నైట్రైడ్, మెటల్ గేట్, అమార్ఫస్ కార్బన్ మొదలైన వాటిలో ఉపయోగిస్తారు; LPCVD (తక్కువ శక్తి) సాధారణంగా నైట్రైడ్, పాలీ, TEOSలలో ఉపయోగించబడుతుంది.
సూత్రం ఏమిటి?
PECVD - ప్లాస్మా శక్తి మరియు CVD ని సంపూర్ణంగా కలిపే ప్రక్రియ. PECVD సాంకేతికత తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత ప్లాస్మాను ఉపయోగించి తక్కువ పీడనం కింద ప్రాసెస్ చాంబర్ (అంటే, నమూనా ట్రే) యొక్క కాథోడ్ వద్ద గ్లో డిశ్చార్జ్ను ప్రేరేపిస్తుంది. ఈ గ్లో డిశ్చార్జ్ లేదా ఇతర తాపన పరికరం నమూనా యొక్క ఉష్ణోగ్రతను ముందుగా నిర్ణయించిన స్థాయికి పెంచగలదు, ఆపై నియంత్రిత మొత్తంలో ప్రాసెస్ గ్యాస్ను పరిచయం చేస్తుంది. ఈ వాయువు వరుస రసాయన మరియు ప్లాస్మా ప్రతిచర్యలకు లోనవుతుంది మరియు చివరకు నమూనా ఉపరితలంపై ఒక ఘన పొరను ఏర్పరుస్తుంది.
LPCVD - అల్ప పీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (LPCVD) అనేది రియాక్టర్లోని ప్రతిచర్య వాయువు యొక్క ఆపరేటింగ్ పీడనాన్ని దాదాపు 133Pa లేదా అంతకంటే తక్కువకు తగ్గించడానికి రూపొందించబడింది.
ప్రతి దాని లక్షణాలు ఏమిటి?
PECVD - ప్లాస్మా శక్తి మరియు CVD ని సంపూర్ణంగా కలిపే ప్రక్రియ: 1) తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత ఆపరేషన్ (పరికరాలకు అధిక ఉష్ణోగ్రత నష్టాన్ని నివారించడం); 2) వేగవంతమైన ఫిల్మ్ పెరుగుదల; 3) పదార్థాల గురించి పెద్దగా ఆసక్తి చూపకపోవడం, OX, నైట్రైడ్, మెటల్ గేట్, అమార్ఫస్ కార్బన్ అన్నీ పెరుగుతాయి; 4) అయాన్ పారామితులు, గ్యాస్ ప్రవాహ రేటు, ఉష్ణోగ్రత మరియు ఫిల్మ్ మందం ద్వారా రెసిపీని సర్దుబాటు చేయగల ఇన్-సిటు పర్యవేక్షణ వ్యవస్థ ఉంది.
LPCVD - LPCVD ద్వారా డిపాజిట్ చేయబడిన సన్నని ఫిల్మ్లు మెరుగైన స్టెప్ కవరేజ్, మంచి కూర్పు మరియు నిర్మాణ నియంత్రణ, అధిక నిక్షేపణ రేటు మరియు అవుట్పుట్ను కలిగి ఉంటాయి. అదనంగా, LPCVDకి క్యారియర్ గ్యాస్ అవసరం లేదు, కాబట్టి ఇది కణ కాలుష్యం యొక్క మూలాన్ని బాగా తగ్గిస్తుంది మరియు సన్నని ఫిల్మ్ నిక్షేపణ కోసం అధిక విలువ ఆధారిత సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.
ప్రపంచం నలుమూలల నుండి వచ్చే కస్టమర్లు ఎవరైనా తదుపరి చర్చ కోసం మమ్మల్ని సందర్శించడానికి స్వాగతం!
https://www.vet-china.com/ ట్యాగ్:
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
పోస్ట్ సమయం: జూలై-24-2024