రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడిసిలికాన్ ఉపరితలంపై ఘన పొరను నిక్షేపించే ప్రక్రియను సూచిస్తుందివేఫర్వాయు మిశ్రమం యొక్క రసాయన చర్య ద్వారా. విభిన్న చర్య పరిస్థితులను (పీడనం, పూర్వగామి) బట్టి, దీనిని వివిధ పరికర నమూనాలుగా విభజించవచ్చు.
ఈ రెండు పరికరాలను ఏ ప్రక్రియల కోసం ఉపయోగిస్తారు?
PECVD(ప్లాస్మా ఎన్హాన్స్డ్) పరికరాలు అత్యధిక సంఖ్యలో మరియు సర్వసాధారణంగా ఉపయోగించబడతాయి, వీటిని OX, నైట్రైడ్, మెటల్ గేట్, అమార్ఫస్ కార్బన్ మొదలైన వాటిలో వాడతారు; LPCVD (లో పవర్) సాధారణంగా నైట్రైడ్, పాలి, TEOS లలో ఉపయోగించబడుతుంది.
సూత్రం ఏమిటి?
PECVD అనేది ప్లాస్మా శక్తి మరియు CVD లను సంపూర్ణంగా మిళితం చేసే ఒక ప్రక్రియ. PECVD సాంకేతికత, తక్కువ పీడనం వద్ద ప్రాసెస్ ఛాంబర్ (అంటే, శాంపిల్ ట్రే) యొక్క కాథోడ్ వద్ద గ్లో డిశ్చార్జ్ను ప్రేరేపించడానికి అల్ప-ఉష్ణోగ్రత ప్లాస్మాను ఉపయోగిస్తుంది. ఈ గ్లో డిశ్చార్జ్ లేదా ఇతర తాపన పరికరం, శాంపిల్ యొక్క ఉష్ణోగ్రతను ముందుగా నిర్ధారించిన స్థాయికి పెంచి, ఆపై నియంత్రిత పరిమాణంలో ప్రాసెస్ గ్యాస్ను ప్రవేశపెడుతుంది. ఈ గ్యాస్ అనేక రసాయన మరియు ప్లాస్మా చర్యలకు లోనై, చివరకు శాంపిల్ ఉపరితలంపై ఒక ఘన పొరను ఏర్పరుస్తుంది.
LPCVD - తక్కువ పీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (LPCVD) అనేది రియాక్టర్లోని చర్య వాయువు యొక్క నిర్వహణ పీడనాన్ని సుమారు 133Pa లేదా అంతకంటే తక్కువకు తగ్గించడానికి రూపొందించబడింది.
ఒక్కొక్క దాని లక్షణాలు ఏమిటి?
PECVD - ప్లాస్మా శక్తి మరియు CVD లను సంపూర్ణంగా మిళితం చేసే ఒక ప్రక్రియ: 1) తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత వద్ద నిర్వహణ (పరికరాలకు అధిక ఉష్ణోగ్రత నష్టాన్ని నివారించడం); 2) వేగవంతమైన ఫిల్మ్ పెరుగుదల; 3) పదార్థాల విషయంలో పట్టింపు లేదు, OX, నైట్రైడ్, మెటల్ గేట్, అమార్ఫస్ కార్బన్ అన్నీ పెరగగలవు; 4) అయాన్ పారామితులు, గ్యాస్ ప్రవాహ రేటు, ఉష్ణోగ్రత మరియు ఫిల్మ్ మందం ద్వారా రెసిపీని సర్దుబాటు చేయగల ఇన్-సిటు పర్యవేక్షణ వ్యవస్థ ఉంది.
LPCVD - LPCVD ద్వారా నిక్షేపించబడిన పలుచని పొరలు మెరుగైన స్టెప్ కవరేజ్, మంచి కూర్పు మరియు నిర్మాణ నియంత్రణ, అధిక నిక్షేపణ రేటు మరియు అవుట్పుట్ను కలిగి ఉంటాయి. అదనంగా, LPCVDకి క్యారియర్ గ్యాస్ అవసరం లేదు, కాబట్టి ఇది కణ కాలుష్యానికి మూలాన్ని బాగా తగ్గిస్తుంది మరియు అధిక విలువ-జోడించిన సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలలో పలుచని పొరల నిక్షేపణ కోసం విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.
తదుపరి చర్చల కోసం ప్రపంచవ్యాప్తంగా ఉన్న వినియోగదారులందరికీ మా సందర్శనకు స్వాగతం!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
పోస్ట్ చేసిన సమయం: జూలై-24-2024