Himiki bug çökündisi (Ýürek-damar keselleri) kremniýiň ýüzüne berk plýonkany çökdürmek prosesine degişlidirwafergaz garyndysynyň himiki reaksiýasy arkaly. Dürli reaksiýa şertlerine (basynç, prekursor) görä, ony dürli enjam modellerine bölmek bolýar.
Bu iki enjam haýsy prosesler üçin ulanylýar?
PECVD(Plazma güýçlendirilen) enjamlary iň köp sanly we iň köp ulanylýan enjam bolup, OX, nitrid, metal derweze, amorf uglerod we ş.m.-de ulanylýar; LPCVD (Pes kuwwatly) adatça nitrid, poli, TEOS-da ulanylýar.
Prinsip näme?
PECVD - plazma energiýasyny we CVD-ni ajaýyp utgaşdyrýan proses. PECVD tehnologiýasy pes basyş astynda proses kamerasynyň (ýagny nusga tabagynyň) katodynda ýalpyldawuk boşalma döretmek üçin pes temperaturaly plazmany ulanýar. Bu ýalpyldawuk boşalma ýa-da başga bir gyzdyryjy enjam nusganyň temperaturasyny öňünden kesgitlenen derejä çenli ýokarlandyryp, soňra gözegçilik edilýän mukdarda proses gazyny girizip biler. Bu gaz birnäçe himiki we plazma reaksiýalaryndan geçýär we ahyrsoňy nusganyň ýüzünde berk plýonka emele getirýär.
LPCVD - Pes basyşly himiki bug çökündisi (LPCVD) reaktordaky reaksiýa gazynyň iş basyşyny takmynan 133Pa ýa-da ondan pes derejä çenli azaltmak üçin niýetlenendir.
Her biriniň aýratynlyklary näme?
PECVD - Plazma energiýasyny we ÝÜK-ni ajaýyp utgaşdyrýan proses: 1) Pes temperaturada işlemek (enjamlara ýokary temperatura zyýanynyň ýetmeginiň öňüni almak); 2) Plenkanyň çalt ösmegi; 3) Materiallara üns bermeýän, OX, Nitrid, metal derweze, amorf uglerod ösüp bilýär; 4) Ion parametrleri, gaz akymynyň tizligi, temperatura we plyonkanyň galyňlygy arkaly resepti sazlap bilýän in-situ gözegçilik ulgamy bar.
LPCVD - LPCVD tarapyndan ýerleşdirilen inçe plýonkalar has gowy basgançak örtügine, gowy düzüme we gurluş gözegçiligine, ýokary çökündi tizligine we çykyşyna eýe bolar. Mundan başga-da, LPCVD daşaýjy gazy talap etmeýär, şonuň üçin ol bölejikleriň hapalanmagynyň çeşmesini ep-esli azaldýar we inçe plýonka çökündileri üçin ýokary goşmaça gymmatly ýarymgeçiriji senagatynda giňden ulanylýar.
Dünýäniň dürli künjeginden gelen müşderilerimizi goşmaça pikir alyşmak üçin bize gelmegiňize hoş geldiňiz!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 24-nji iýuly