Unsa ang sic coating?

Silikon nga Carbideusa ka gahi nga compound nga adunay silicon ug carbon, ug makita sa kinaiyahan isip talagsaon kaayong mineral nga moissanite. Ang mga partikulo sa silicon carbide mahimong idugtong pinaagi sa sintering aron maporma ang gahi kaayong mga seramiko, nga kaylap nga gigamit sa mga aplikasyon nga nanginahanglan og taas nga kalig-on, labi na sa proseso sa semiconductor.

Pisikal nga istruktura sa SiC

Unsa ang SiC Coating?

Ang SiC coating usa ka dasok, dili dali madaot nga silicon carbide coating nga adunay taas nga resistensya sa kaagnasan ug kainit ug maayo kaayo nga thermal conductivity. Kini nga taas nga kaputli nga SiC coating panguna nga gigamit sa mga industriya sa semiconductor ug electronics aron mapanalipdan ang mga wafer carrier, base ug mga elemento sa pagpainit gikan sa corrosive ug reactive nga mga palibot. Ang SiC coating angay usab alang sa mga vacuum furnace ug sample heating sa taas nga vacuum, reactive ug oxygen nga mga palibot.

Taas nga kaputli nga SiC coating surface

Unsa ang proseso sa pag-coat sa SiC?

Usa ka nipis nga layer sa silicon carbide ang gibutang sa ibabaw sa substrate gamit angCVD (Kemikal nga Pagdeposito sa Singaw)Ang pagdeposito kasagarang gihimo sa temperatura nga 1200-1300°C ug ang thermal expansion behavior sa substrate material kinahanglan nga mohaom sa SiC coating aron maminusan ang thermal stress.

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

CVD SIC Coating Film Crystal Structure

Ang pisikal nga mga kabtangan sa SiC coating kasagarang makita sa taas nga temperatura, katig-a, resistensya sa kaagnasan ug thermal conductivity niini.

Ang kasagarang pisikal nga mga parametro mao ang mosunod:

Katig-aAng SiC coating kasagaran adunay Vickers Hardness nga naa sa range nga 2000-2500 HV, nga naghatag kanila og taas kaayo nga resistensya sa pagkaguba ug impact sa mga aplikasyon sa industriya.

DensidadAng SiC coatings kasagaran adunay densidad nga 3.1-3.2 g/cm³. Ang taas nga densidad nakatampo sa mekanikal nga kusog ug kalig-on sa coating.

Konduktibidad sa kainitAng SiC coatings adunay taas nga thermal conductivity, kasagaran naa sa range nga 120-200 W/mK (sa 20°C). Kini naghatag niini og maayong thermal conductivity sa mga palibot nga taas og temperatura ug naghimo niini nga labi ka angay alang sa mga kagamitan sa heat treatment sa industriya sa semiconductor.

Punto sa pagkatunawAng silicon carbide adunay melting point nga gibana-bana nga 2730°C ug adunay maayo kaayong thermal stability sa grabeng temperatura.

Koepisyent sa Pagpalapad sa InitAng SiC coatings adunay ubos nga linear coefficient of thermal expansion (CTE), kasagaran naa sa range nga 4.0-4.5 µm/mK (sa 25-1000℃). Kini nagpasabot nga ang dimensional stability niini maayo kaayo bisan sa dagkong kalainan sa temperatura.

Pagsukol sa kaagnasanAng SiC coatings kay lig-on kaayo batok sa taya sa kusog nga asido, alkali ug mga palibot nga nag-oxidize, labi na kung mogamit ug kusog nga asido (sama sa HF o HCl), ang ilang resistensya sa taya mas labaw pa kay sa naandan nga mga materyales nga metal.

Substrate sa aplikasyon sa SiC coating

Ang SiC coating kasagarang gigamit aron mapaayo ang resistensya sa corrosion, resistensya sa taas nga temperatura, ug resistensya sa plasma erosion sa substrate. Ang kasagarang gamit sa mga substrate naglakip sa mosunod:

Tipo sa substrate	Rason sa aplikasyon	Kasagaran nga gamit
Grapita	- Gaan nga istruktura, maayo nga thermal conductivity - Apan dali ra madaot sa plasma, nanginahanglan og proteksyon sa SiC coating	Mga piyesa sa vacuum chamber, mga graphite boat, mga plasma etching tray, ug uban pa.
Kwarts (Kwarts/SiO₂)	- Taas nga kaputli apan dali nga madaot - Ang coating nagpalambo sa resistensya sa plasma erosion	Mga piyesa sa CVD/PECVD chamber
Mga seramiko (sama sa alumina Al₂O₃)	- Taas nga kusog ug lig-on nga istruktura - Ang pag-coat mopausbaw sa resistensya sa kaagnasan sa nawong	Lining sa kamara, mga gamit, ug uban pa.
Mga metal (sama sa molybdenum, titanium, ug uban pa)	- Maayo ang thermal conductivity apan dili maayo ang resistensya sa corrosion - Ang pagpahid mopaayo sa kalig-on sa nawong	Espesyal nga mga sangkap sa reaksyon sa proseso
Lawas nga gisinter sa silicon carbide (SiC bulk)	- Para sa mga palibot nga adunay taas nga mga kinahanglanon alang sa komplikado nga mga kondisyon sa pagtrabaho - Ang coating dugang nga nagpalambo sa kaputli ug resistensya sa taya	Mga sangkap sa CVD/ALD chamber nga taas og kalidad

Ang mga produkto nga giputos sa SiC kasagarang gigamit sa mosunod nga mga lugar sa semiconductor

Ang mga produkto sa SiC coating kay kaylap nga gigamit sa pagproseso sa semiconductor, labi na sa taas nga temperatura, taas nga kaagnasan ug kusog nga plasma nga palibot. Ang mosunod mao ang pipila ka mga nag-unang proseso o natad sa aplikasyon ug mubo nga mga paghulagway:

Proseso/natad sa aplikasyon	Mubo nga paghulagway	Function sa Silicon Carbide Coating
Pag-ukit sa plasma (Pag-ukit)	Gamita ang mga gas nga nakabase sa fluorine o chlorine para sa pagbalhin sa sumbanan	Sukli ang pagbanlas sa plasma ug likayi ang kontaminasyon sa tipik ug metal
Pagdeposito sa kemikal nga alisngaw (CVD/PECVD)	Pagdeposito sa oxide, nitride ug uban pang nipis nga mga pelikula	Sukli ang mga corrosive precursor gas ug dugangi ang kinabuhi sa component
Pisikal nga pagdeposito sa alisngaw (PVD) nga lawak	Pagbomba sa mga partikulo nga taas og enerhiya atol sa proseso sa pag-coating	Pagpauswag sa resistensya sa erosyon ug resistensya sa kainit sa reaction chamber
Proseso sa MOCVD (sama sa pagtubo sa epitaxial sa SiC)	Dugay nga reaksyon ubos sa taas nga temperatura ug taas nga hydrogen corrosive nga atmospera	Hupti ang kalig-on sa kagamitan ug likayi ang kontaminasyon sa nagtubo nga mga kristal
Proseso sa pagtambal sa kainit (LPCVD, diffusion, annealing, ug uban pa)	Kasagaran gihimo sa taas nga temperatura ug vacuum/atmospera	Panalipdi ang mga sakayan ug tray nga graphite gikan sa oksihenasyon o kaagnasan
Tigdala/chuck sa wafer (Pagdumala sa wafer)	Base sa grapayt para sa pagbalhin o suporta sa wafer	Bawasan ang pag-ula sa mga partikulo ug likayi ang kontaminasyon sa kontak
Mga sangkap sa lawak sa ALD	Balik-balik ug tukma nga pagkontrol sa pagdeposito sa atomic layer	Ang coating nagpabiling limpyo sa chamber ug adunay taas nga resistensya sa corrosion sa mga precursors

Ngano nga pilion ang VET Energy?

Ang VET Energy usa ka nanguna nga tiggama, innovator ug lider sa mga produkto sa SiC coating sa China, ang mga nag-unang produkto sa SiC coating naglakip sawafer carrier nga adunay SiC coating, giputos sa SiCepitaxial susceptor, Singsing nga grapayt nga giputos sa SiC, Mga parte nga tunga sa bulan nga adunay SiC coating, SiC nga giputos nga carbon-carbon nga komposit, SiC nga giputos nga wafer nga sakayan, Heater nga giputos sa SiC, ug uban pa. Ang VET Energy komitado sa paghatag sa industriya sa semiconductor sa labing maayong teknolohiya ug mga solusyon sa produkto, ug nagsuporta sa mga serbisyo sa pag-customize. Kami kinasingkasing nga nagpaabut nga mahimong imong dugay nga kauban sa China.