Кеуекті кремний карбиді SiC керамикасы

Кеуекті кремний карбиді SiC керамикасы
Кеуекті SiC керамикасы- бұл ультра жоғары тазалыққа, жоғары температураға төзімділікке, термиялық соққыға төзімділікке және химиялық инерттілікке ие басқарылатын кеуекті құрылымы бар жоғары өнімді керамикалық материал. Олар жартылай өткізгіш өндірісі, фотоэлектрлік кремний пластинасын өндіру және үшінші буын жартылай өткізгіш (SiC/GaN) эпитаксиалды процестері сияқты озық салаларда кеңінен қолданылады.

VET Energy компаниясы сүзу, диффузия, катализ және термиялық басқарудың әртүрлі қолдану талаптарын қанағаттандыру үшін кеуек өлшемін дәл бақылауға (0,05–100 мкм) қол жеткізу үшін жоғары тазалықтағы SiC ұнтағын озық күйдіру технологиясымен біріктіріп пайдаланады. Бұл жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік салалар үшін өнімділік деңгейін арттыру, ластануды азайту және процестерді оңтайландыру үшін тамаша таңдау болып табылады.

Біздің негізгі артықшылықтарымыз
✅ Өте жоғары тазалық:
металл қоспалары <0,5ppm, SEMI стандарттарына сәйкес келеді, пластинаның ластануына жол бермейді;
✅ Жоғары температураға төзімділік (1600℃ температурада үздіксіз пайдалану):
CVD, диффузиялық пештер және кремний балқыту сияқты жоғары температуралы орталарға жарамды;
✅ Термиялық соққыға төзімділігі жоғары:
температураның күрт өзгеруіне бейімделеді, бұл жабдықтың тоқтап қалу уақытын азайтады
✅ Химиялық инерттілік (қышқылдарға, сілтілерге және балқытылған металдарға төзімді):
HF және Cl₂ сияқты коррозиялық газдарға төзімді, металл сүзгілердің қызмет ету мерзімінен әлдеқайда асып түседі;
✅ Бақыланатын кеуек құрылымы (0,05-100 мкм):
сұйықтық ағынының тиімділігін арттыра отырып, сатылы сүзуді қолдайды;

Әдеттегі қолданылуы
1. Жартылай өткізгіш өндірісі: CVD/ALD газ сүзгісі, диффузиялық пеш ағынын тарату пластиналары, пайдаланылған газды өңдеу және т.б.
2. Фотоэлектрлік өнеркәсібі: Кремний материалын балқыту сүзгісі, PERC жасуша жабындысы маскалары және т.б.
3. Үшінші буын жартылай өткізгіштері (SiC/GaN): Пластиналық эпитаксиалды алдын ала өңдеу.