G'ovakli kremniy karbid SiC keramikasi

G'ovakli kremniy karbid SiC keramikasi
G'ovakli SiC keramikasiBu yuqori samarali keramik material bo'lib, boshqariladigan g'ovak tuzilishga ega bo'lib, ultra yuqori tozalik, yuqori haroratga chidamlilik, termal zarbalarga chidamlilik va kimyoviy inertlikka ega. Ular yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish, fotovoltaik kremniy plastinkalarini ishlab chiqarish va uchinchi avlod yarimo'tkazgichlar (SiC/GaN) epitaksial jarayonlari kabi ilg'or sohalarda keng qo'llaniladi.

VET Energy yuqori tozalikdagi SiC kukunini ilg'or sinterlash texnologiyasi bilan birgalikda filtrlash, diffuziya, kataliz va issiqlik boshqaruvi uchun turli xil qo'llanilish talablariga javob beradigan aniq teshik o'lchamlarini boshqarishga (0,05–100 μm) erishish uchun ishlatadi. Bu yarimo'tkazgichlar va fotovoltaik sanoati uchun hosildorlikni oshirish, ifloslanishni kamaytirish va jarayonlarni optimallashtirish uchun ideal tanlovdir.

Bizning asosiy afzalliklarimiz
✅ Ultra yuqori tozalik:
metall aralashmalari <0,5ppm, SEMI standartlariga mos keladi, gofret ifloslanishining oldini oladi;
✅ Yuqori haroratga chidamlilik (1600℃ da doimiy foydalanish):
CVD, diffuziya pechlari va kremniy eritish kabi yuqori haroratli muhitlar uchun mos;
✅ Kuchli termal zarbalarga chidamlilik:
haroratning keskin o'zgarishiga moslashadi, bu esa uskunaning ishlamay qolish vaqtini kamaytiradi
✅ Kimyoviy inertlik (kislotalar, ishqorlar va erigan metallarga chidamli):
HF va Cl₂ kabi korroziv gazlarga chidamli bo'lib, metall filtrlarning ishlash muddatidan ancha yuqori;
✅ Nazorat ostidagi g'ovak tuzilishi (0.05-100 um):
suyuqlik oqimi samaradorligini oshirib, bosqichma-bosqich filtrlashni qo'llab-quvvatlaydi;

Odatdagi dastur
1. Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish: CVD/ALD gaz filtrlash, diffuziya pechining oqimini taqsimlash plitalari, chiqindi gazlarni qayta ishlash va boshqalar.
2. Fotovoltaik sanoat: Silikon materialini eritish filtratsiyasi, PERC hujayra qoplama niqoblari va boshqalar.
3. Uchinchi avlod yarimo'tkazgichlari (SiC/GaN): Plastinka epitaksial oldindan ishlov berish.